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반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치, 방법 및 이를 위한 컴퓨터 판독가능 프로그램

  • 기술번호 : KST2023003814
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치, 방법 및 이를 위한 컴퓨터 판독가능 프로그램이 개시된다. 본 발명에 따른 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치는 웨이퍼를 식각하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치로서, 상기 반도체 식각 장비에 장착된 광반사 분광기(Optical Emission Spectroscopy)로부터 시계열 스펙트럼 데이터를 수집하는 데이터 수집부, 상기 시계열 스펙트럼 데이터 중 특정 파장에서의 데이터를 추출하는 전처리부 및 전처리된 데이터를 TadGAN(Time Series Anomaly Detection using Generative Adversarial Networks) 알고리즘을 기초로 학습하여 식각 종점을 탐지하는 식각 종점 탐지부 및 상기 탐지된 식각 종점과 실제 종점인 Ground Truth를 비교하여 오차가 임계값 보다 클 경우, 상기 반도체 식각 장비의 고장을 판단하는 고장 판단부를 포함한다. 따라서, TadGAN 알고리즘을 기초로 비지도 학습 방식의 시계열 이상 탐지를 통한 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 기술을 제공함으로써 적은 데이터만으로도 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하고 사전 유지 보수를 통해 고장으로 인한 손해를 최소화할 수 있는 이점을 제공한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01J 37/32 (2006.01.01) G06N 3/08 (2023.01.01) G06N 3/04 (2023.01.01)
CPC H01L 21/67288(2013.01) H01L 21/67069(2013.01) H01L 22/26(2013.01) H01J 37/32963(2013.01) G06N 3/088(2013.01) G06N 3/049(2013.01)
출원번호/일자 1020210179329 (2021.12.15)
출원인 숭실대학교산학협력단, 주식회사 프라임솔루션
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0090501 (2023.06.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.12.15)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 숭실대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구
2 주식회사 프라임솔루션 대한민국 경기도 군포시 산본로***번길 *, ***호 (

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임성빈 경기도 성남시 분당구
2 최준규 서울특별시 동작구
3 김보배 서울특별시 동작구
4 홍장식 경기도 군포시 산본로***번길 *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤귀상 대한민국 서울특별시 금천구 디지털로*길 ** ***호 (가산동, 한신IT타워*차)(디앤특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2021-1451647-16
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2021.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2021-1459620-71
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2022.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
웨이퍼를 식각하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치로서,상기 반도체 식각 장비에 장착된 광반사 분광기(OES, Optical Emission Spectroscopy)로부터 시계열 스펙트럼 데이터를 수집하는 데이터 수집부;상기 시계열 스펙트럼 데이터 중 특정 파장에서의 데이터를 추출하는 전처리부; 전처리된 데이터를 TadGAN(Time Series Anomaly Detection using Generative Adversarial Networks) 알고리즘을 기초로 학습하여 상기 웨이퍼의 식각 종점을 탐지하는 식각 종점 탐지부; 및상기 탐지된 식각 종점과 실제 종점인 Ground Truth를 비교하여 오차가 임계값 보다 클 경우, 상기 반도체 식각 장비의 고장을 판단하는 고장 판단부를 포함하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 식각 종점 탐지부는,상기 전처리된 데이터를 미리 설정된 크기의 슬라이딩 윈도우로 분할하여 상기 TadGAN 알고리즘의 훈련 데이터로 입력하는 분할기;상기 훈련 데이터와 랜덤 데이터를 구별하도록 반복 훈련하여 예측 데이터를 생성하는 예측 데이터 생성기;상기 훈련 데이터와 예측 데이터를 비교하여 재구성 오류값을 산출하고, 상기 산출된 재구성 오류값을 기초로 에러값을 계산하는 에러값 계산기; 및상기 계산된 에러값이 미리 설정된 임계값 보다 크면 이상을 탐지하여 상기 이상이 탐지된 구간을 상기 식각 종점으로 탐지하는 식각 종점 탐지기를 포함하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 예측 데이터 생성기는,상기 훈련 데이터와, 상기 랜덤 데이터를 생성기로 바꾼 데이터를 구별하도록 훈련하는 제 1 분별기와,상기 훈련 데이터와, 상기 랜덤 데이터를 인코더로 바꾼 데이터를 구별하도록 훈련하는 제 2 분별기를 포함하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치
4 4
웨이퍼를 식각하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 장치에서의 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 방법으로서,상기 반도체 식각 장비에 장착된 광반사 분광기(Optical Emission Spectroscopy)로부터 시계열 스펙트럼 데이터를 수집하는 단계;상기 시계열 스펙트럼 데이터 중 특정 파장에서의 데이터를 추출하여 전처리하는 단계; 전처리된 데이터를 TadGAN(Time Series Anomaly Detection using Generative Adversarial Networks) 알고리즘을 기초로 학습하여 식각 종점을 탐지하는 단계; 및상기 탐지된 식각 종점과 실제 종점인 Ground Truth를 비교하여 오차가 임계값 보다 클 경우, 상기 반도체 식각 장비의 고장을 판단하는 단계를 포함하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 식각 종점을 탐지하는 단계는,상기 전처리된 데이터를 미리 설정된 크기의 슬라이딩 윈도우로 분할하여 상기 TadGAN 알고리즘의 훈련 데이터로 입력하는 단계;상기 훈련 데이터와 랜덤 데이터를 구별하도록 반복 훈련하여 예측 데이터를 생성하는 단계;상기 훈련 데이터와 예측 데이터를 비교하여 재구성 오류값을 산출하고, 상기 산출된 재구성 오류값을 기초로 에러값을 계산하는 단계; 및상기 계산된 에러값이 미리 설정된 임계값 보다 크면 이상을 탐지하여 상기 이상이 탐지된 구간을 상기 식각 종점으로 탐지하는 단계를 포함하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 예측 데이터를 생성하는 단계는,상기 훈련 데이터와, 상기 랜덤 데이터를 생성기로 바꾼 데이터를 구별하도록 훈련하는 단계; 및상기 훈련 데이터와, 상기 랜덤 데이터를 인코더로 바꾼 데이터를 구별하도록 훈련하는 단계를 포함하는 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 방법
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제 4 항 내지 제 6 항에 따른 반도체 식각 장비의 고장을 탐지하는 방법을 실행하도록 구성된, 컴퓨터로 판독가능한 기록매체에 저장된 컴퓨터 판독가능한 프로그램
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 (주)프라임솔루션 ICT혁신기업기술개발지원사업(R＆D) (2단계 : 기술개발) 반도체 식각장비 실시간 공정진단을 위한 AI기반 4채널 광 스펙트럼 분석플랫폼 개발