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신규한 몰리브데넘 유기금속화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법

  • 기술번호 : KST2023003904
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 몰리브데넘 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 화학기상증착 또는 용액공정을 통하여 박막을 제조함에 있어, 열적 안정성과 휘발성이 개선되고, 낮은 온도에서 쉽게 양질의 금속 박막 또는 금속 산화물 박막을 제조할 수 있는 몰리브데넘 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL C07F 11/00 (2006.01.01) C23C 16/18 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01)
CPC C07F 11/005(2013.01) C23C 16/18(2013.01) C23C 16/45553(2013.01) C23C 16/30(2013.01)
출원번호/일자 1020220007948 (2022.01.19)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0111911 (2023.07.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.01.19)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대전광역시 유성구
2 류지연 대전광역시 유성구
3 이성광 대전광역시 유성구
4 박보근 대전광역시 유성구
5 김창균 대전광역시 유성구
6 엄태용 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 공간 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 ***, *층(둔산 *동, 산업은행B/D)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2022.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2022-0069876-60
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2022.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
하기 [화학식 A] 로 표시되는 유기 금속 화합물
2 2
제1항에 있어서,상기 R1 내지 R4는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
3 3
제2항에 있어서,상기 R1 및 R3은 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3 중에서 선택되는 어느 하나이고,상기 R2 및 R4는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, CH3 및 C2H5 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
4 4
제1항에 있어서,상기 R5 및 R6은 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, C1-C2의 선형 알킬기; C1-C2의 선형 할로겐화된 알킬기; C3-C6의 분지형 또는 고리형 알킬기; 및 C3-C6의 분지형 또는 고리형 할로겐화된 알킬기; 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
5 5
제4항에 있어서,상기 R5 및 R6은 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, C3-C6의 분지형 또는 고리형 알킬기; 및 C3-C6의 분지형 또는 고리형 할로겐화된 알킬기; 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
6 6
제1항에 있어서,상기 화학식 A에서의 이미도 리간드내 상기 치환기 R5 와 R6은 서로 동일하고; 상기 치환기 R1 및 R2를 포함하는 알콕시 카복사마이드 리간드와 치환기 R3 및 R4을 포함하는 알콕시 카복사마이드 리간드는 서로 동일한 구조인 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
7 7
제1항 내지 제6항 중에서 선택되는 어느 하나의 유기 금속 화합물을 금속 전구체로 이용하여 몰리브덴 박막을 제조하거나; 또는 몰리브덴 산화물 박막을 제조;하는 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 몰리브덴 박막을 제조하거나; 또는 몰리브덴 산화물 박막을 제조하는 공정은 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD) 또는 용액 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 몰리브덴 박막 또는 몰리브덴 산화물 박막을 제조하는 방법
9 9
하기 화합물 C로 표시되는 몰리브덴 화합물; 및,화합물 D1로 표시되는 화합물 및 화합물 D2로 표시되는 화합물;을 각각 반응물로 사용하여 화학식 A 로 표시되는 유기 금속 화합물을 제조하는 것을 특징으로 하는, 청구항 1의 화학식 A 로 표시되는 유기 금속 화합물의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원(R＆D) IoT 디바이스용 화학소재 기술
2 과학기술정보통신부 한국화학연구원 나노·소재기술개발(R＆D) 고이동도 산화물반도체 소재 개발을 위한 원자층 증착용 신규 유기금속전구체 기술 개발
3 산업통상자원부 주식회사 메카로 소재부품기술개발(R＆D) 반도체 배선 공정용 금속박막 ALD 전구체 기술개발