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신규한 유기 비스무트 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법

  • 기술번호 : KST2023003914
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 비스무트 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 열적 안정성과 낮은 온도에서 쉽게 양질의 비스무트 박막, 비스무트 산화물 박막 또는 비스무트 칼코겐화물 박막을 제조할 수 있는 유기 비스무트 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL C07F 9/94 (2006.01.01) C23C 16/18 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01)
CPC C07F 9/94(2013.01) C23C 16/18(2013.01) C23C 16/45553(2013.01) C23C 16/407(2013.01) C23C 16/305(2013.01)
출원번호/일자 1020230006824 (2023.01.17)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-2548034-0000 (2023.06.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20230628) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2023.01.17)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대전광역시 유성구
2 류지연 대전광역시 유성구
3 박동성 대전광역시 유성구
4 임종선 대전광역시 유성구
5 송영은 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 공간 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 ***, *층(둔산 *동, 산업은행B/D)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2023.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2023-0063953-83
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2023.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2023-0124371-85
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2023.02.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2023.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2023-0055861-63
5 등록결정서
Decision to grant
2023.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0283392-19
6 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2023.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2023-5012708-68
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번호 청구항
1 1
하기 [화학식 A] 로 표시되는 유기 비스무트 화합물
2 2
제1항에 있어서,상기 R1, R3, 및 R5는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, C1-C6의 선형, 분지형 또는 고리형 알킬기; 인 것을 특징으로 하는 유기 비스무트 화합물
3 3
제1항에 있어서,상기 R1, R3, 및 R5는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, 수소, 중수소, CH3, C2H5, n-C3H7, CH(CH3)2 및 C(CH3)3중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 비스무트 화합물
4 4
제1항에 있어서,상기 R2, R4 및 R6는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, C1-C6의 선형, 분지형 또는 고리형 알킬기;인 것을 특징으로 하는 유기 비스무트 화합물
5 5
제1항에 있어서,상기 R2, R4 및 R6는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, CH3, C2H5, n-C3H7, CH(CH3)2 및 C(CH3)3 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 비스무트 화합물
6 6
제1항에 있어서,상기 화학식 A 내 중심원자인 비스무트에 배위되는, 세 개의 이미도티오 산 리간드는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 유기 비스무트 화합물
7 7
제1항 내지 제6항 중에서 선택되는 어느 한 항에 기재된 유기 비스무트 화합물을 전구체로 이용하여 비스무트 함유 박막을 제조하는 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 비스무트 함유 박막을 제조하는 공정은 화학기상 증착법(CVD) 또는 원자층 증착법(ALD) 또는 용액 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 비스무트 함유 박막을 제조하는 방법
9 9
하기 화합물 B로 표시되는 비스무트 화합물; 하기 화합물 C1으로 표시되는 이미도티오 산 화합물; 화합물 C2으로 표시되는 이미도티오 산 화합물; 및 화합물 C3으로 표시되는 이미도티오 산 화합물을 각각 반응물로 사용하여 화학식 A 로 표시되는 유기 비스무트 화합물을 제조하는 것을 특징으로 하는, 청구항 1의 화학식 A 로 표시되는 유기 비스무트 화합물의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.