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신규한 유기 인듐 화합물 및 이를 이용한 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2023003915
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열적 안정성과 휘발성이 개선된 신규한 유기 인듐 화합물에 관한 것으로, 상기 유기 인듐 화합물은 인듐함유 박막의 제조시 낮은 온도에서 쉽게 박막을 제조할 수 있다.
Int. CL C07F 5/00 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C07F 5/00(2013.01) C23C 16/407(2013.01) C23C 16/45553(2013.01)
출원번호/일자 1020220153603 (2022.11.16)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-2548031-0000 (2023.06.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20230628) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.11.16)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대전광역시 유성구
2 류지연 대전광역시 유성구
3 박동성 대전광역시 유성구
4 임종선 대전광역시 유성구
5 정지승 대전광역시 유성구
6 송영은 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 공간 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 ***, *층(둔산 *동, 산업은행B/D)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2022.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2022-1220862-10
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
 2023.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2023-0123333-82
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2023.02.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2023.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2023-0054925-18
5 등록결정서
Decision to grant		 2023.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0270474-61
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 [화학식 A] 로 표시되는 유기 인듐 화합물
2 2
제1항에 있어서,상기 R1 및 R2 는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, C1-C6 의 선형, 분지형 또는 고리형 알킬기; 인 것을 특징으로 하는 유기 인듐 화합물
3 3
제2항에 있어서,상기 R1 및 R2 은 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 인듐 화합물
4 4
제1항에 있어서,상기 n은 1 또는 2 의 정수인 것을 특징으로 하는 유기 인듐 화합물
5 5
제1항에 있어서,상기 R3은 C1-C6의 선형, 분지형 또는 고리형 알킬기; 또는 C1-C6 의 선형, 분지형 또는 고리형 플루오르화된 알킬기;인 것을 특징으로 하는 유기 인듐 화합물
6 6
제5항에 있어서,상기 R3은 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 인듐 화합물
7 7
제1항에 있어서,상기 n은 2 이며,상기 화학식 A 내 중심원자인 인듐에 배위되는, 두 개의 리간드()는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 유기 인듐 화합물
8 8
제1항 내지 제7항 중에서 선택되는 어느 한 항에 기재된 유기 인듐 화합물을 전구체로 이용하여 인듐 함유 박막을 제조하는 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 인듐 함유 박막을 제조하는 공정은 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD) 또는 용액 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 인듐 함유 박막을 제조하는 방법
10 10
하기 화합물 B로 표시되는 인듐 화합물; 및 하기 화합물 C로 표시되는 이미도티오 산화합물;을 각각 반응물로 사용하여 화학식 A 로 표시되는 유기 인듐 화합물을 제조하는 것을 특징으로 하는, 청구항 1의 화학식 A 로 표시되는 유기 인듐 화합물의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국화학연구원 미래소재디스커버리지원 반데르발스 소재 박막 형성용 단일원 전구체 및 금속 전구체 합성 기술 개발
2 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원(소부장회계) IoT 디바이스용 화학소재 기술