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3족 금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하는 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2023003947
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신규한 3족 금속 전구체, 이의 제조방법, 이를 이용하는 박막의 제조방법 및 이를 채용하여 제조되는 박막에 관한 것으로, 상기 3족 금속 전구체는 고유전상수 및 열역학적 안정성을 가지고 우수한 증기압을 나타내어, 우수한 순도의 박막을 제조할 수 있다.
Int. CL C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) C07F 5/00 (2006.01.01)
CPC C23C 16/40(2013.01) C23C 16/45553(2013.01) C07F 5/00(2013.01)
출원번호/일자 1020220122997 (2022.09.28)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0055950 (2023.04.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020210139244   |   2021.10.19
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.09.28)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대전광역시 유성구
2 고용민 대전광역시 유성구
3 정택모 대전광역시 유성구
4 김건환 대전광역시 유성구
5 엄태용 대전광역시 유성구
6 류지연 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2022.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2022-1020386-42
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2023.02.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2023.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2023-0080440-31
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 3족 금속 전구체
2 2
제1항에 있어서,R1, R6 및 R7은 서로 독립적으로 선형C1-C3알킬 또는 분지형C1-C3알킬이며,R2 내지 R5는 서로 독립적으로 수소 또는 선형C1-C3알킬인, 3족 금속 전구체
3 3
제1항에 있어서,상기 3족 금속 전구체는 하기 화학식 2로 표시되는 것인, 3족 금속 전구체
4 4
제3항에 있어서,상기 화학식 2의 R11 내지 R14는 서로 독립적으로 수소 또는 선형C1-C3알킬인, 3족 금속 전구체
5 5
제1항에 있어서,상기 3족 금속 전구체는 하기 화합물로부터 선택되는 것인, 3족 금속 전구체
6 6
하기 화학식 3으로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 4로 표시되는 화합물을 반응시켜 하기 화학식 5로 표시되는 화합물을 제조하는 단계; 및상기 화학식 5로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물을 반응시켜 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 제조하는 단계;를 포함하는 3족 금속 전구체의 제조방법
7 7
하기 화학식 3으로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 7로 표시되는 화합물을 반응시켜 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 제조하는 단계;를 포함하는 3족 금속 전구체의 제조방법
8 8
제6항 또는 제7항에 있어서,상기 화학식 3으로 표시되는 화합물은 하기 화학식 8로 표시되는 화합물과 하기 화학식 9로 표시되는 화합물을 반응시켜 제조되는 것인, 3족 금속 전구체의 제조방법
9 9
제1항 내지 제5항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 3족 금속 전구체를 포함하는 박막증착용 조성물
10 10
a) 챔버 내에 장착된 기판을 승온시키는 단계;b) 상기 챔버 내에 제9항에 따른 박막증착용 조성물을 주입하여 기판에 조성물을 흡착시는 단계; 및c) 상기 조성물이 흡착된 기판에 반응가스를 주입하여 박막을 제조하는 단계;를 포함하는 3족 금속 함유 박막의 제조방법
11 11
제9항에 따른 박막증착용 조성물을 이용하여 제조되는 3족 금속 함유 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영지원비(R＆D) loT 디바이스용 화학소재 기술
2 산업통상자원부 한국화학연구원 소재부품기술개발(R＆D) 반도체 DRAM Flash 및 비메모리 소자 공정용 초고유전 박막 ALD 전구체 기술 개발