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진동자;상기 진동자에 마련되는 제1전극; 및상기 제1전극과 이격되어 상기 진동자에 마련되는 다공성의 금속 유기 골격체를 포함하되,상기 다공성의 금속 유기 골격체의 유기 링커에는 소수성 작용기가 마련되는 다공성 금속 유기 골격체 구조의 가스센서
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제1항에 있어서,상기 제1전극과 이격되어 상기 진동자에 마련되는 제2전극을 더 포함하되,상기 다공성의 금속 유기 골격체는 상기 제2전극 상에 마련되는 다공성 금속 유기 골격체 구조의 가스센서
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제1항에 있어서,상기 다공성의 금속 유기 골격체는 역오팔 구조로 마련되는 다공성 금속 유기 골격체 구조의 가스센서
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제1전극이 마련되어 있는 진동자를 준비하는 진동자 준비과정;상기 제1전극과 이격되게 상기 진동자 상에 복수의 나노비드들을 적층하는 나노비드 적층과정;금속 유기 골격체가 분산되어 있는 용액-이하 금속 유기 골격체 분산액이라 함-을 준비하는 금속 유기 골격체 분산액 준비과정;상기 금속 유기 골격체 분산액을 상기 복수의 나노비드들 사이의 공간에 주입하는 금속 유기 골격체 분산액 주입과정; 및상기 금속 유기 골격체 분산액 주입과정 이후에 수행되는 건조과정을 포함하는 다공성 금속 유기 골격체 구조의 가스센서 제조방법
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제4항에 있어서,상기 나노비드 적층과정 이전에 수행되며, 상기 제1전극과 이격되게 상기 진동자 상에 제2전극을 마련하는 제2전극 마련과정을 더 포함하되,상기 복수의 나노비드들은 상기 제2전극 상에 적층되는 다공성 금속 유기 골격체 구조의 가스센서 제조방법
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제4항에 있어서,상기 나노비드 적층과정은 적어도 1회 이상의 Langmuir Blodgett 방법에 의해 수행되는 다공성 금속 유기 골격체 구조의 가스센서 제조방법
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제4항에 있어서,상기 금속 유기 골격체 분산액 주입과정은상기 금속 유기 골격체 분산액을 유기용매에 희석하는 희석과정; 및상기 유기용매에 희석된 상기 금속 유기 골격체 분산액을 상기 복수의 나노비드들 사이의 상기 공간에 스며들게 하는 침투과정을 포함하는 다공성 금속 유기 골격체 구조의 가스센서 제조방법
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제4항에 있어서,상기 금속 유기 골격체 분산액 준비과정은 상기 금속 유기 골격체 분산액의 상기 금속 유기 골격체를 소수성화 하는 소수성화 과정을 더 포함하는 다공성 금속 유기 골격체 구조의 가스센서 제조방법
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