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스테이지에 놓인 기판을 롤 스탬프가 접촉하여 가압하기 전에 상기 롤 스탬프와 상기 기판의 평행도를 검출하기 위한 장치로써, 상기 기판 방향으로 수직하게 평행광을 조사하는 광원부;상기 기판과 상기 광원부 사이에 위치하되 상기 롤 스탬프보다는 높게 위치하여, 상기 평행광을 상기 기판으로 향하는 수직광과 상기 롤 스탬프 방향의 수평광으로 분리하고, 상기 롤 스탬프 및 상기 기판에서 반사되어 되돌아오는 롤반사광 및 기판반사광을 광 위치 검출부로 보내는 광분리부;상기 광분리부의 일측에 위치하여, 상기 수평광을 상기 롤 스탬프로 향하도록 경로를 바꾸고, 상기 롤반사광을 상기 광분리부로 되돌리는 반사부; 및상기 광분리부의 타측에 위치하여, 상기 롤 반사광 및 상기 기판 반사광을 받아 위치를 검출하는 상기 광 위치 검출부; 를 포함하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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스테이지에 놓인 기판을 롤 스탬프가 접촉하여 가압하기 전에 상기 롤 스탬프와 상기 기판의 평행도를 검출하기 위한 장치로써, 상기 기판 방향으로 수직하게 평행광을 조사하는 광원부;상기 기판과 상기 광원부 사이에 위치하여, 상기 평행광을 상기 기판으로 향하는 수직광과 일측에 위치한 상기 롤 스탬프로 향하는 수평광으로 분리하고, 상기 롤 스탬프 및 상기 기판에서 반사되어 되돌아오는 롤반사광 및 기판반사광을 광 위치 검출부로 보내는 광분리부;상기 광분리부의 타측에 위치하여, 상기 롤 반사광 및 상기 기판 반사광을 받아 위치를 검출하는 상기 광 위치 검출부; 를 포함하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 광 위치 검출부는, 검출된 상기 롤 반사광 및 상기 기판 반사광의 위치를 비교하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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제 1 항에 있어서,상기 롤 반사광의 양을 조절하도록 상기 반사부와 상기 롤 스탬프 사이 또는 상기 반사부와 상기 광분리부 사이에 조리개가 배치되는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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제 2 항에 있어서,상기 롤 반사광의 양을 조절하도록 상기 롤 스탬프와 상기 광분리부 사이에 조리개가 배치되는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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스테이지에 놓인 기판을 제 1 롤 스탬프 및 제 2 롤 스탬프가 접촉하여 가압하기 전에 상기 롤 스탬프와 상기 기판의 평행도를 검출하기 위한 장치로써, 상기 제 1 롤 스탬프 방향으로 수직하게 평행광을 조사하는 광원부;상기 제 1 롤 스탬프와 상기 광원부 사이에 위치하여, 상기 평행광을 상기 제 1 롤 스탬프로 향하는 수직광과 상기 제 2 롤 스탬프 방향의 수평광으로 분리하고, 상기 제 1 롤 스탬프 및 상기 제 2 롤 스탬프에서 반사되어 되돌아오는 제 1 롤반사광 및 제 2 롤반사광을 광 위치 검출부로 보내는 광분리부;상기 제 2 롤 스탬프 위에 위치하여, 상기 수평광을 상기 제 2 롤 스탬프로 향하도록 경로를 바꾸고, 상기 제 2 롤반사광을 상기 광분리부로 되돌리는 반사부; 및상기 광분리부의 타측에 위치하여, 상기 제 1 롤반사광 및 상기 제 2 롤반사광을 받아 위치를 검출하는 상기 광 위치 검출부; 를 포함하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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스테이지에 놓인 기판을 제 1 롤 스탬프 및 제 2 롤 스탬프가 접촉하여 가압하기 전에 상기 롤 스탬프와 상기 기판의 평행도를 검출하기 위한 장치로써, 상기 제 1 롤 스탬프의 측면을 향해 평행광을 조사하는 광원부;상기 제 1 롤 스탬프와 상기 광원부 사이에 위치하여, 상기 평행광을 상기 제 1 롤 스탬프로 향하는 수직광과 상기 제 2 롤 스탬프 방향의 수평광으로 분리하고, 상기 제 1 롤 스탬프 및 상기 제 2 롤 스탬프에서 반사되어 되돌아오는 제 1 롤반사광 및 제 2 롤반사광을 광 위치 검출부로 보내는 광분리부;상기 제 2 롤 스탬프 측면에 위치하여, 상기 수평광을 상기 제 2 롤 스탬프로 향하도록 경로를 바꾸고, 상기 제 2 롤반사광을 상기 광분리부로 되돌리는 반사부; 및상기 광분리부의 타측에 위치하여, 상기 제 1 롤반사광 및 상기 제 2 롤반사광을 받아 위치를 검출하는 상기 광 위치 검출부; 를 포함하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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제 6 항에 있어서,상기 광 위치 검출부는, 제 1 롤반사광 및 상기 제 2 롤반사광의 위치를 비교하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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제 1 항, 제 2 항 및 제 6 항, 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 광원부는, 제1렌즈와 상기 제1렌즈의 초점거리에 배치된 광원으로 구성되어 상기 광원의 광을 상기 평행광으로 조사하는,상기 롤반사광 및 상기 기판반사광이 상기 광 위치 검출부로 모아지도록 상기 광분리부와 상기 광 위치 검출부 사이에 제2렌즈가 배치되는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치
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스테이지에 놓인 기판을 롤 스탬프가 접촉하여 가압하기 전에 상기 롤 스탬프와 상기 기판의 평행도를 검출하고, 상기 롤 스탬프와 상기 기판을 수평하게 정렬하기 위한 방법으로써,(a) 광원부에서 상기 기판 방향으로 수직하게 평행광을 조사하는 단계;(b) 상기 광분리부에서 분리된 수직광이 상기 기판에 수직으로 조사되도록 정렬하는 단계;(c) 상기 광분리부에서 분리된 수평광이 상기 롤 스탬프에 수직으로 조사되도록 정렬하는 단계; 및(d) 상기 롤 스탬프에서 반사된 롤반사광을 광 위치 검출부로 모아 상기 롤 스탬프의 평행도를 정렬하는 단계; 를 포함하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치를 이용한 평행도 정렬방법
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제 10 항에 있어서,상기 (b) 단계에서, 상기 기판에서 반사된 상기 기판반사광이 상기 광분리부를 통해 광 위치 검출부로 모이고, 상기 광 위치 검출부에 한 점으로 모인 상기 기판반사광이 상기 광 위치 검출부의 중심에 오도록 정렬하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치를 이용한 평행도 정렬방법
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제 10 항에 있어서,상기 (c) 단계에서, 상기 롤 스탬프를 제거한 상태에서 상기 롤 스탬프 위에 배치한 반사부를 통해 상기 기판에 반사된 롤반사광이 상기 광분리부를 통해 상기 광 위치 검출부로 모이고, 상기 롤반사광이 상기 광 위치 검출부의 중심에 오도록 정렬하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치를 이용한 평행도 정렬방법
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제 10 항에 있어서,상기 (d) 단계에서, 상기 롤 스탬프에 반사된 롤반사광이 상기 광분리부를 통해 상기 광 위치 검출부로 모이고, 상기 롤반사광이 상기 광 위치 검출부의 중심에 위치하도록 상기 롤 스탬프의 수평 경사도를 조절하여 상기 롤 스탬프의 평행도를 정렬하는,롤과 기판 간의 평행도 검출장치를 이용한 평행도 정렬방법
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