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소자 전사 공정이 진행된 기판을 촬영하여 정상 작동할 소자 및 비정상 작동할 소자의 학습영상을 획득하는 학습영상 획득단계; 상기 학습영상을 인공지능 학습하는 학습단계; 제1시점에 획득되고 상기 학습영상이 포함되지 않은 테스트 영상을 인공지능 학습된 기준에 따라 정상 작동할 소자 또는 비정상 작동할 소자로 판정하고, 소자를 리페어하는데 소요되는 제1총리페어 비용을 산출하는 산출단계; 그리고 상기 제1시점보다 이후인 제2시점에 새로이 소자 전사 공정이 진행된 기판으로부터 획득되는 획득 영상을 상기 인공지능 학습된 기준에 따라 정상 작동할 소자 또는 비정상 작동할 소자로 판정하는 판정단계를 포함하며, 상기 학습단계는 상기 판정단계에서의 판정에 따라 소자를 리페어하는데 소요되는 제2총리페어 비용이 상기 제1총리페어 비용보다 작아지게 판정하도록 학습되는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제1항에 있어서, 상기 제1총리페어 비용 및 상기 제2총리페어 비용은 각각, 실제로는 비정상 작동할 소자를 정상 작동할 소자로 오판정하여 발생하는 제1위정상 리페어 비용과, 실제로는 정상 작동할 소자를 비정상 작동할 소자로 오판정하여 발생하는 제1위비정상 리페어 비용과, 실제로 비정상 작동할 소자를 비정상 작동할 소자로 판정하여 발생하는 제1정상 리페어 비용을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제2항에 있어서, 상기 학습단계는 정상 작동할 소자 및 비정상 작동할 소자로 구성되는 혼동 행렬(Confusion Matrix)을 생성하는 혼동 행렬 생성 단계와, 상기 혼동 행렬과, 상기 제1위정상 리페어 비용, 상기 제1위비정상 리페어 비용 및 상기 제1정상 리페어 비용을 포함하는 복수 개의 리페어 비용 함수를 생성하는 리페어 비용 함수 생성 단계를 가지고, 상기 제1총리페어 비용 및 상기 제2총리페어 비용은 상기 리페어 비용 함수의 총합인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제3항에 있어서, 상기 혼동 행렬은 상기 판정단계에서, 실제로는 정상 작동할 소자를 비정상 작동할 소자로 오판정하거나, 실제로는 비정상 작동할 소자를 정상 작동할 소자로 오판정하거나 , 실제로 정상 작동할 소자를 정상 작동할 소자로 판정하거나, 실제로 비정상 작동할 소자를 비정상 작동할 소자로 판정하는 경우의 수를 나타내는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제3항에 있어서, 상기 리페어 비용 함수는 상기 제1위정상 리페어 비용, 상기 제1위비정상 리페어 비용 및 상기 제1정상 리페어 비용이 상기 혼동 행렬에 포함된 리페어 비용 행렬인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제2항에 있어서, 상기 학습단계는 상기 제2총리페어 비용 중 제1위정상 판정 수를 상기 제1총리페어 비용 중 제1위정상 판정 수보다 작게 판정하도록 학습되는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제2항에 있어서, 상기 제1위정상 리페어 비용은 소자 전사 공정이 진행된 기판을 리플로우하는 리플로우 공정 이후에 수행되고, 전사된 비정상 소자를 제거하고, 새로운 접속소재를 형성한 후, 상기 접속소재에 새로운 정상 소자를 전사하는 리페어 비용인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제2항에 있어서, 상기 제1위비정상 리페어 비용은 소자 전사 공정이 진행된 기판을 리플로우하는 리플로우 공정 이전에 수행되고, 전사된 정상 소자를 제거하고, 새로운 정상 소자를 전사하는 리페어 비용인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제2항에 있어서, 상기 제1정상 리페어 비용은 소자 전사 공정이 진행된 기판을 리플로우하는 리플로우 공정 이전에 수행되고, 전사된 비정상 소자를 제거하고, 새로운 정상 소자를 전사하는 리페어 비용인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제1항에 있어서, 상기 학습영상 획득단계에서는 소자가 비전사된 학습영상을 더 획득하고, 상기 산출단계에서는 소자 비전사를 더 판정하여, 상기 제1총리페어 비용이 소자가 비전사된 곳에 새로운 정상 소자를 전사하는데 소요되는 비용을 포함하도록 산출하고, 상기 판정단계에서는 소자 비전사를 더 판정하여, 상기 제2총리페어 비용이 소자가 비전사된 곳에 새로운 정상 소자를 전사하는데 소요되는 비용을 포함하도록 산출하는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제10항에 있어서, 상기 제1총리페어 비용 및 상기 제2총리페어 비용은 각각, 실제로는 소자 비전사를 정상 작동할 소자로 오판정하여 발생하는 제2위정상 리페어 비용과, 실제로는 정상 작동할 소자를 소자 비전사로 오판정하여 발생하는 제1위비전사 리페어 비용과, 실제로는 비정상 작동할 소자를 소자 비전사로 오판정하여 발생하는 제2위비전사 리페어 비용과, 실제로는 소자 비전사를 비정상 작동할 소자로 오판정하여 발생하는 제2위비정상 판정 리페어 비용과, 실제로 소자 비전사를 소자 비전사로 판정하여 발생하는 제3정상 판정 리페어 비용을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제11항에 있어서, 상기 학습단계에서, 상기 혼동 행렬은 상기 소자 비전사를 더 포함하여 생성되고, 상기 리페어 비용 함수는 상기 제2위정상 리페어 비용, 상기 제1위비전사 리페어 비용, 상기 제2위비전사 리페어 비용, 상기 제2위비정상 리페어 비용 및 상기 제3정상 리페어 비용을 더 포함하도록 생성되는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제11항에 있어서, 상기 학습단계는 상기 제2총리페어 비용 중 제2위정상 판정 수를 상기 제1총리페어 비용 중 제2위정상 판정 수보다 작게 판정하도록 학습되는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제11항에 있어서, 상기 제2위정상 리페어 비용은 소자 전사 공정이 진행된 기판을 리플로우하는 리플로우 공정 이후에 수행되고, 접속소재를 형성한 후, 상기 접속소재에 새로운 정상 소자를 전사하는 리페어 비용인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제11항에 있어서, 상기 제1위비전사 리페어 비용은 소자 전사 공정이 진행된 기판을 리플로우하는 리플로우 공정 이전에 수행되고, 기존 정상 소자를 제거하고, 새로운 정상 소자를 전사하는 리페어 비용인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제11항에 있어서, 상기 제2위비전사 리페어 비용은 소자 전사 공정이 진행된 기판을 리플로우하는 리플로우 공정 이전에 수행되고, 기존 비정상 소자를 제거하고, 새로운 정상 소자를 전사하는 리페어 비용인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제11항에 있어서, 상기 제2위비정상 리페어 비용 및 상기 제3정상 리페어 비용은 소자 전사 공정이 진행된 기판을 리플로우하는 리플로우 공정 이전에 수행되고, 소자 비전사 부분에 새로운 정상 소자를 전사하는 리페어 비용인 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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18
제1항에 있어서, 상기 학습영상 획득단계는 기판에 전사된 각각의 소자에 대해 전류를 공급하지 않은 전류 오프 소자 영상과, 전류를 공급한 전류 온 소자 영상을 획득하고 짝을 지어 페어 영상을 획득하는 페어 영상 획득 단계와, 상기 각 페어 영상의 전류 오프 소자 영상 및 전류 온 소자 영상의 이미지 차분을 계산하는 차분 계산 단계와, 상기 이미지 차분이 미리 설정된 기준 차분을 초과하면 해당 페어 영상을 정상 작동할 소자의 학습영상으로 분류하고, 상기 이미지 차분이 상기 기준 차분 이하면 해당 페어 영상을 비정상 작동할 소자의 학습영상으로 분류하는 분류단계를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제1항에 있어서, 상기 판정단계 이후에, 소자 전사 공정이 진행된 기판을 리플로우하고, 상기 기판에 전류를 공급하여 소자의 작동을 검사하는 검사단계를 더 포함하고, 상기 검사단계에서 비정상 작동하는 소자 검출 시, 상기 비정상 작동 소자에 전류를 공급하지 않은 전류 오프 소자 영상과, 전류를 공급한 전류 온 소자 영상을 추가로 획득하고 짝을 지어 추가 페어 영상을 획득하고, 상기 학습영상에 포함시키는 것을 특징으로 하는 소자 검사 방법
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제1항 내지 제19항 중 어느 하나의 항에 기재된 소자 검사 방법을 수행하는 소자 검사 장치로서, 소자 전사 공정이 진행된 기판을 촬영하여 정상 작동할 소자 및 비정상 작동할 소자의 학습영상을 획득하는 학습영상 획득부; 상기 학습영상을 인공지능 학습하는 학습부; 제1시점에 획득되고 상기 학습영상이 포함되지 않은 테스트 영상을 인공지능 학습된 기준에 따라 정상 작동할 소자 또는 비정상 작동할 소자로 판정하고, 소자를 리페어하는데 소요되는 제1총리페어 비용을 산출하는 산출부; 그리고 상기 제1시점보다 이후인 제2시점에 새로이 소자 전사 공정이 진행된 기판으로부터 획득되는 획득 영상을 상기 인공지능 학습된 기준에 따라 정상 작동할 소자 또는 비정상 작동할 소자로 판정하는 판정부를 포함하며, 상기 학습부는, 소자를 리페어하는데 소요되는 제2총리페어 비용이 상기 제1총리페어 비용보다 작아지게 상기 판정부가 판정하도록 학습되는 것을 특징으로 하는 소자 검사 장치
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