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전사필름 및 이를 이용한 전사방법

  • 기술번호 : KST2023004099
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 소자의 피킹(Picking) 공정 및 플레이싱(Placing) 공정 모두에 사용될 수 있는 전사필름 및 이를 이용한 전사방법에 관한 것으로, 상기 전사필름은 제1 측에서부터 굴곡 변형될 수 있는 제1 최소곡률반경과 제2 측에서부터 굴곡 변형될 수 있는 제2 최소곡률반경이 서로 다르게 형성된 베이스부와, 상기 베이스부의 일면에 구비되고 소자가 점착되는 점착부를 포함한다. 이러한 구성으로, 굴곡 변형시키는 방향에 따라 달라지는 최소곡률반경에 따라 소자와의 점착 영역을 달리하여 하나의 전사필름으로 피킹 공정과 플레이싱 공정 모두를 수행할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/52 (2006.01.01)
CPC H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/67144(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 2221/68368(2013.01)
출원번호/일자 1020210182355 (2021.12.20)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0093594 (2023.06.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.12.20)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김찬 대전광역시 중구
2 김광섭 대전광역시 유성구
3 윤민아 서울특별시 동작구
4 김재현 대전광역시 유성구
5 김경식 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 정안 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로 ***, ***호(논현동,썬라이더빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2021-1469846-61
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2022.06.29 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2022.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2023-0102482-54
4 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2023.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2023-5078042-31
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2023.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0539236-98
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2023.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2023-0864130-45
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2023.08.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2023-0864131-91
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번호 청구항
1 1
제1 측에서부터 굴곡 변형될 수 있는 제1 최소곡률반경과 제2 측에서부터 굴곡 변형될 수 있는 제2 최소곡률반경이 서로 다르게 형성된 베이스부; 및상기 베이스부의 일면에 구비되고, 소자가 점착되는 점착부;를 포함하는 전사필름
2 2
제1항에 있어서, 상기 베이스부는, 상기 제1 최소곡률반경이 상기 제2 최소곡률반경보다 크게 형성되고, 피킹(Picking) 공정 시에는 상기 제1 측에서부터 굴곡 변형되면서 소자가 피킹되고, 플레이싱(Placing) 공정 시에는 상기 제2 측에서부터 굴곡 변형되면서 소자가 플레이싱되는 것을 특징으로 하는 전사필름
3 3
제1항에 있어서, 상기 베이스부는,탄성 변형 가능하고, 일면에 상기 점착부가 구비된 변형부; 및상기 변형부의 타면에서 외측으로 돌출 형성되고, 상기 제1 측 방향으로 경사지게 형성되며, 복수로 구비되어 소정 간격 이격 배치된 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
4 4
제3항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 제1 측에서부터 굴곡 변형되어 복수의 상기 지지부 간의 간섭에 의해 지지되는 강성이 상기 제2 측에서부터 굴곡 변형되어 복수의 상기 지지부 간의 간섭에 의해 지지되는 강성보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 전사필름
5 5
제1항에 있어서, 상기 베이스부는,탄성 변형 가능하고, 일면에 상기 점착부가 구비된 제1 변형부;탄성 변형 가능하고, 상기 제1 변형부의 타면에서 상기 제1 변형부와 이격 배치된 제2 변형부; 및상기 제1 변형부와 상기 제2 변형부 간을 연결하고, 상기 제1 측 방향으로 경사지게 형성되며, 복수로 구비되어 소정 간격 이격 배치된 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
6 6
제5항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 제1 측에서부터 굴곡 변형되어 상기 지지부에 의해 지지되는 강성이 상기 제2 측에서부터 굴곡 변형되어 상기 지지부에 의해 지지되는 강성보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 전사필름
7 7
제1항에 있어서, 상기 베이스부는,탄성 변형 가능하고, 일면에 상기 점착부가 구비되며, 타면에서 외측으로 돌출된 복수의 제1 돌기부가 형성된 제1 변형부; 및탄성 변형 가능하고, 외측으로 돌출된 복수의 제2 돌기부가 형성되며, 상기 제1 돌기부와 상기 제2 돌기부가 교대로 위치하도록 배치된 제2 변형부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
8 8
제7항에 있어서, 상기 제1 돌기부는,상기 제2 측 방향에 위치한 제2 돌기부와 밀접하여 배치되고, 상기 제1 측 방향에 위치한 제2 돌기부와는 소정 간격 이격 배치된 것을 특징으로 하는 전사필름
9 9
제8항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 제1 측에서부터 굴곡 변형되면 상기 제1 돌기부는 밀접하여 배치된 제2 돌기부와 함께 가까워지는 방향으로 이동하고, 상기 제2 측에서부터 굴곡 변형되면 상기 제1 돌기부는 밀접하여 배치된 제2 돌기부와 함께 멀어지는 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 전사필름
10 10
제7항에 있어서, 상기 제1 돌기부는 상기 제1 측 방향으로 제1 경사면이 형성되고, 상기 제2 돌기부는 상기 제1 경사면과 마주보도록 상기 제2 측 방향으로 제2 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 전사필름
11 11
제1항에 있어서, 상기 베이스부는,탄성 변형 가능하고, 일면에 상기 점착부가 구비된 변형부; 및상기 변형부의 길이 방향으로 배치되고, 복수로 구비되어 상기 변형부의 폭 방향으로 소정 간격 이격 배치된 강성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
12 12
제11항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 변형부의 길이 방향인 상기 제1 측에서의 굴곡 변형에 대한 강성은 상기 강성부에 의해 보강되어 상기 변형부의 폭 방향인 상기 제2 측에서의 굴곡 변형에 대한 강성보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 전사필름
13 13
제11항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 변형부의 폭 방향으로 배치되고, 복수로 마련되어 상기 변형부의 길이 방향으로 소정 간격 이격 배치된 보조 강성부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
14 14
제13항에 있어서, 상기 강성부는,상기 보조 강성부보다 굽힘 변형에 대한 강성이 크도록 형성되어, 상기 강성부가 구비된 상기 변형부의 길이 방향인 상기 제1 측에서의 굴곡 변형에 대한 강성이 상기 보조 강성부가 구비된 상기 변형부의 폭 방향인 상기 제2 측에서의 굴곡 변형에 대한 강성보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 전사필름
15 15
제1항 내지 제14항 중 어느 하나의 전사필름을 마련하는 전사필름 마련단계;소스기판에 배치된 소자를 상기 전사필름의 점착부에 밀착시킨 후 상기 전사필름을 제1 측에서부터 굴곡 변형시켜 상기 소자를 상기 점착부에 전사시키는 피킹단계; 및상기 점착부에 점착된 상기 소자를 타깃기판에 밀착시킨 후 상기 전사필름을 제2 측에서부터 굴곡 변형시켜 상기 소자를 상기 타깃기판에 전사시키는 플레이싱단계;를 포함하는 전사필름을 이용한 전사방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국기계연구원 전자부품산업기술개발(R&D) 자유곡면 자동차 윈도우용 해상도 200 PPI이상 투명도 70 이상 능동구동형 MicroLED 디스플레이 핵심 기술 개발
2 산업통상자원부 한국기계연구원 신재생에너지핵심기술개발 초소형 태양광 cell 기반 25% 이상 모빌리티형 박막 태양광모듈 개발