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제1 측에서부터 굴곡 변형될 수 있는 제1 최소곡률반경과 제2 측에서부터 굴곡 변형될 수 있는 제2 최소곡률반경이 서로 다르게 형성된 베이스부; 및상기 베이스부의 일면에 구비되고, 소자가 점착되는 점착부;를 포함하는 전사필름
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제1항에 있어서, 상기 베이스부는, 상기 제1 최소곡률반경이 상기 제2 최소곡률반경보다 크게 형성되고, 피킹(Picking) 공정 시에는 상기 제1 측에서부터 굴곡 변형되면서 소자가 피킹되고, 플레이싱(Placing) 공정 시에는 상기 제2 측에서부터 굴곡 변형되면서 소자가 플레이싱되는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1항에 있어서, 상기 베이스부는,탄성 변형 가능하고, 일면에 상기 점착부가 구비된 변형부; 및상기 변형부의 타면에서 외측으로 돌출 형성되고, 상기 제1 측 방향으로 경사지게 형성되며, 복수로 구비되어 소정 간격 이격 배치된 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제3항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 제1 측에서부터 굴곡 변형되어 복수의 상기 지지부 간의 간섭에 의해 지지되는 강성이 상기 제2 측에서부터 굴곡 변형되어 복수의 상기 지지부 간의 간섭에 의해 지지되는 강성보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1항에 있어서, 상기 베이스부는,탄성 변형 가능하고, 일면에 상기 점착부가 구비된 제1 변형부;탄성 변형 가능하고, 상기 제1 변형부의 타면에서 상기 제1 변형부와 이격 배치된 제2 변형부; 및상기 제1 변형부와 상기 제2 변형부 간을 연결하고, 상기 제1 측 방향으로 경사지게 형성되며, 복수로 구비되어 소정 간격 이격 배치된 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제5항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 제1 측에서부터 굴곡 변형되어 상기 지지부에 의해 지지되는 강성이 상기 제2 측에서부터 굴곡 변형되어 상기 지지부에 의해 지지되는 강성보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1항에 있어서, 상기 베이스부는,탄성 변형 가능하고, 일면에 상기 점착부가 구비되며, 타면에서 외측으로 돌출된 복수의 제1 돌기부가 형성된 제1 변형부; 및탄성 변형 가능하고, 외측으로 돌출된 복수의 제2 돌기부가 형성되며, 상기 제1 돌기부와 상기 제2 돌기부가 교대로 위치하도록 배치된 제2 변형부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
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8
제7항에 있어서, 상기 제1 돌기부는,상기 제2 측 방향에 위치한 제2 돌기부와 밀접하여 배치되고, 상기 제1 측 방향에 위치한 제2 돌기부와는 소정 간격 이격 배치된 것을 특징으로 하는 전사필름
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제8항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 제1 측에서부터 굴곡 변형되면 상기 제1 돌기부는 밀접하여 배치된 제2 돌기부와 함께 가까워지는 방향으로 이동하고, 상기 제2 측에서부터 굴곡 변형되면 상기 제1 돌기부는 밀접하여 배치된 제2 돌기부와 함께 멀어지는 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 전사필름
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10
제7항에 있어서, 상기 제1 돌기부는 상기 제1 측 방향으로 제1 경사면이 형성되고, 상기 제2 돌기부는 상기 제1 경사면과 마주보도록 상기 제2 측 방향으로 제2 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 전사필름
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11
제1항에 있어서, 상기 베이스부는,탄성 변형 가능하고, 일면에 상기 점착부가 구비된 변형부; 및상기 변형부의 길이 방향으로 배치되고, 복수로 구비되어 상기 변형부의 폭 방향으로 소정 간격 이격 배치된 강성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제11항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 변형부의 길이 방향인 상기 제1 측에서의 굴곡 변형에 대한 강성은 상기 강성부에 의해 보강되어 상기 변형부의 폭 방향인 상기 제2 측에서의 굴곡 변형에 대한 강성보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 전사필름
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13
제11항에 있어서, 상기 베이스부는,상기 변형부의 폭 방향으로 배치되고, 복수로 마련되어 상기 변형부의 길이 방향으로 소정 간격 이격 배치된 보조 강성부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전사필름
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14
제13항에 있어서, 상기 강성부는,상기 보조 강성부보다 굽힘 변형에 대한 강성이 크도록 형성되어, 상기 강성부가 구비된 상기 변형부의 길이 방향인 상기 제1 측에서의 굴곡 변형에 대한 강성이 상기 보조 강성부가 구비된 상기 변형부의 폭 방향인 상기 제2 측에서의 굴곡 변형에 대한 강성보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1항 내지 제14항 중 어느 하나의 전사필름을 마련하는 전사필름 마련단계;소스기판에 배치된 소자를 상기 전사필름의 점착부에 밀착시킨 후 상기 전사필름을 제1 측에서부터 굴곡 변형시켜 상기 소자를 상기 점착부에 전사시키는 피킹단계; 및상기 점착부에 점착된 상기 소자를 타깃기판에 밀착시킨 후 상기 전사필름을 제2 측에서부터 굴곡 변형시켜 상기 소자를 상기 타깃기판에 전사시키는 플레이싱단계;를 포함하는 전사필름을 이용한 전사방법
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