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진공 척에 고정되어 진공 척과 함께 회전하는 공작물의 편심량을 보정하기 위한 충격 액튜에이터에 있어서, 회전하는 상태의 공작물의 측면에 직접적으로 충격을 가하여 미소 변위를 발생시키는 충격부; 충격부와 마주 보도록 위치되어 충격에 의한 반력을 흡수하는 더미 이동부;충격부와 더미 이동부를 연결하며, 충격부와 더미 이동부를 왕복 직선 운동시키는 가진부;충격부와 더미 이동부 상호 간 탄성적으로 연결하는 탄성 연결부; 및각각의 구성요소가 수용되도록 구성된 수용 공간을 포함하고,수용 공간은 충격부와 더미 이동부가 탄성력에 의해 통과되도록 구성된 복수의 개구를 포함하는, 충격 액튜에이터
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제 1 항에 있어서,더미 이동부는 더미 매스를 포함하는 것을 특징으로 하는 충격 액튜에이터
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제 1 항에 있어서, 가진부는충격부와 더미 이동부 중 어느 하나와 연결되며, 외주면에 코일이 감긴 원통형의 코일 홀더;충격부와 더미 이동부 중 나머지 하나와 연결되고, 내주면에 영구 자석이 위치되며, 코일 홀더가 내부 공간에 삽입되는 원통형의 마그네틱 하우징을 포함하되,코일에 교번 전류가 가해지면, 코일 홀더와 마그네틱 하우징은 왕복 직선 운동을 하는 것을 특징으로 하는 충격 액튜에이터
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제 3 항에 있어서, 충격 액튜에이터는지지 플레이트;코일 홀더가 고정되는 코일 홀더 브라켓;마그네틱 하우징이 고정되는 마그네틱 하우징 브라켓;지지 플레이트에 고정되며, 상기 왕복 직선 운동 방향을 따라 연장된 가이드 레일;코일 홀더 브라켓에 고정되며, 가이드 레일을 따라 슬라이딩되는 제 1 슬라이딩 블록; 및마그네틱 하우징 브라켓에 고정되며, 가이드 레일을 따라 슬라이딩되는 제 2 슬라이딩 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 충격 액튜에이터
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제 4 항에 있어서, 탄성 연결부는 양 단이 각각 코일 홀더 브라켓과 마그네틱 하우징 브라켓에 연결된 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 충격 액튜에이터
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제 5 항에 있어서, 충격 액튜에이터는양 단이 마그네틱 하우징 브라켓과 지지 플레이트에 연결된 비틀림 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 충격 액튜에이터
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스핀들에 연결된 진공 척에 고정되어 진공 척과 함께 회전하는 공작물의 편심량을 보정하기 위한 편심량 자동 보정 시스템에 있어서,공작물의 일 측에 위치되어 회전하는 상태의 공작물의 외주면에 왕복 직선 운동에 의한 직접적인 충격을 가하여 미소 변위를 발생시키는 충격부, 충격부와 마주 보도록 위치되어 충격에 의한 반력을 흡수하는 더미 이동부 및 각각의 구성요소를 수용하도록 구성된 수용 공간 - 수용 공간은 충격부와 더미 이동부가 탄성력에 의해 통과되도록 구성된 복수의 개구를 포함함 - 을 포함하는 충격 액튜에이터;공작물의 일 측에 위치되어 회전하는 공작물의 외주면 회전 변위를 측정하는 변위 측정기;스핀들의 회전 각도를 측정하는 회전 각도 측정기;외주면 회전 변위와 회전 각도를 바탕으로 공작물의 편심량을 계산하는 편심량 계산부;편심량 계산부에 의해 계산된 편심량을 감소시킬 충격 액튜에이터의 충격력을 계산하는 충격력 계산부; 및충격력 계산부에 의해 계산된 충격력을 가하도록 충격 액튜에이터를 구동하는 충격 액튜에이터 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 편심량 자동 보정 시스템
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제 7 항에 있어서, 충격 액튜에이터는충격 액튜에이터 구동부는 공작물의 편심량이 발생되는 회전 각도에서만 공작물에 충격을 가하도록 충격 액튜에이터를 구동하는 것을 특징으로 하는 편심량 자동 보정 시스템
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제 7 항에 있어서, 충격 액튜에이터는충격부와 더미 이동부를 연결하며, 충격부와 더미 이동부를 왕복 직선 운동시키는 가진부; 및충격부와 더미 이동부 상호 간 탄성적으로 연결하는 탄성 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 편심량 자동 보정 시스템
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제 7 항에 있어서, 더미 이동부는 더미 매스를 포함하는 것을 특징으로 하는 편심량 자동 보정 시스템
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제 9 항에 있어서, 가진부는충격부와 더미 이동부 중 어느 하나와 연결되며, 외주면에 코일이 감긴 원통형의 코일 홀더;충격부와 더미 이동부 중 나머지 하나와 연결되고, 내주면에 영구 자석이 위치되며, 코일 홀더가 내부 공간에 삽입되는 원통형의 마그네틱 하우징을 포함하되,코일에 교번 전류가 가해지면, 코일 홀더와 마그네틱 하우징은 왕복 직선 운동을 하는 것을 특징으로 하는 편심량 자동 보정 시스템
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제 11 항에 있어서, 충격 액튜에이터는지지 플레이트;코일 홀더가 고정되는 코일 홀더 브라켓;마그네틱 하우징이 고정되는 마그네틱 하우징 브라켓;지지 플레이트에 고정되며, 상기 왕복 직선 운동 방향을 따라 연장된 가이드 레일;코일 홀더 브라켓에 고정되며, 가이드 레일을 따라 슬라이딩되는 제 1 슬라이딩 블록; 및마그네틱 하우징 브라켓에 고정되며, 가이드 레일을 따라 슬라이딩되는 제 2 슬라이딩 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 편심량 자동 보정 시스템
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스핀들에 연결된 진공 척에 고정되어 진공 척과 함께 회전하는 공작물의 편심량을 보정하기 위한 편심량 자동 보정 방법에 있어서,(a) 스핀들의 회전 각도를 측정하는 회전 각도 측정기와 공작물의 일 측에 위치된 변위 측정기로, 회전하는 공작물의 회전 각도에 따른 외주면 회전 변위를 측정하는 단계;(b) 외주면 회전 변위와 회전 각도를 바탕으로 공작물의 편심량을 계산하는 단계;(c) 편심량 계산부에 의해 계산된 편심량을 감소시킬 충격 액튜에이터의 충격력을 계산하는 단계; 및 (d) 계산된 충격력을 왕복 직선 운동에 의해 회전하는 상태의 공작물의 측면에 충격을 가하여 미소 변위를 발생시키는 충격부, 충격부와 마주 보도록 위치되어 충격에 의한 반력을 흡수하는 더미 이동부 및 각각의 구성요소를 수용하도록 구성된 수용 공간 - 수용 공간은 충격부와 더미 이동부가 탄성력에 의해 통과되도록 구성된 복수의 개구를 포함함 - 을 포함하는 충격 액튜에이터를 구동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 편심량 자동 보정 방법
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제 10 항에 있어서, (d) 단계는공작물의 편심량이 발생되는 회전 각도에서만 공작물에 충격을 가하도록 충격 액튜에이터를 구동시키는 것을 특징으로 하는 편심량 자동 보정 방법
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명령어를 포함하는 비-일시적 기록매체에 저장된 컴퓨터 프로그램에 있어서,명령어는 제 13 항 또는 제 14 항에 따른 방법을 수행하도록 구성된 비-일시적 기록매체에 저장된 컴퓨터 프로그램
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