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하부면에 팁이 부착되고, 상부면에 거울이 부착되는 원자힘 현미경용 수정진동자 캔틸레버로서,상기 수정진동자 캔틸레버는,하부면에 상기 팁이 부착되는 하부 수정진동자;상부면에 상기 거울이 부착되는 상부 수정진동자; 및상기 하부 수정진동자 및 상기 상부 수정진동자 사이에 개재되는 수정 스페이서;를 포함하는 원자힘 현미경용 수정진동자 캔틸레버
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제1항에 있어서, 상기 수정 스페이서는,상기 팁과 상기 거울에 대해서 이격되게 설치되는 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 수정진동자 캔틸레버
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제2항에 있어서,상기 하부 수정진동자 및 상부 수정진동자는 서로 대향하는 일단부의 하부면과 상부면에 상기 팁과 상기 거울이 부착된 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 수정진동자 캔틸레버
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제3항에 있어서,상기 수정 스페이서는 상기 하부 수정진동자 및 상부 진동자의 타단부에 개재되는 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 수정진동자 캔틸레버
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수정진동자 캔틸레버;상기 수정진동자 캔틸레버의 하부면에 부착되는 팁; 및상기 수정진동자 캔틸레버의 상부면에 부착되는 거울;을 포함하고상기 수정진동자 캔틸레버는,하부면에 상기 팁이 부착되는 하부 수정진동자;상부면에 상기 거울이 부착되는 상부 수정진동자; 및상기 하부 수정진동자 및 상기 상부 수정진동자 사이에 개재되는 수정 스페이서;를 포함하는 원자힘 현미경용 프로브
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제5항에 있어서, 상기 수정 스페이서는,상기 팁과 상기 거울에 대해서 이격되게 설치되는 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 프로브
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제6항에 있어서,상기 하부 수정진동자 및 상부 진동자는 서로 대향하는 일단부의 하부면과 상부면에 상기 팁과 상기 거울이 부착된 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 프로브
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제7항에 있어서,상기 수정 스페이서는 상기 하부 수정진동자 및 상부 진동자의 타단부에 개재되는 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 프로브
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제5항에 있어서,상기 팁의 소재는 금속 또는 유전체인 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 프로브
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제9항에 있어서,상기 금속은 텅스텐, 금, 은 또는 Pt/Ir을 포함하고,상기 유전체는 보로실리케이트, 수정 또는 알루미나실리케이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 프로브
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11
제9항에 있어서,상기 팁은 에칭이나 기계적 당김 방식으로 제조한 것을 특징으로 하는 원자힘 현미경용 프로브
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