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베이스판 상에 복수개의 원기둥이 형성된 마이크로 구조체를 제작하는 포토리소그래피단계;상기 마이크로 구조체에 열을 가하여 상기 원기둥의 상단을 볼록하게 하는 리플로우단계;액체상의 신축성 소재로 상단이 볼록한 원기둥이 형성된 마이크로 구조체를 몰딩하여 음각 구조물을 제작하는 제1몰딩단계;액체상의 신축성 소재로 상기 음각 구조물을 몰딩하여 마이크로렌즈 어레이 필름을 제작하는 제2몰딩단계; 및 기판 상에 마이크로렌즈 어레이 필름을 구비시켜 이미징소자를 제작하는 이미징소자제작단계;를 포함하는 곤충 눈 모사를 통해 암시야 및 명시야에서 측정이 가능한 마이크로렌즈 어레이 기반 이미징 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 이미징소자제작단계는, 상기 기판과 마이크로렌즈 어레이 필름 사이에 액체를 주입 및 배출시키는 액체조절부를 더 구비시키고,상기 액체조절부를 통해 상기 마이크로렌즈 어레이 필름의 팽창 및 수축이 이루어지는 곤충 눈 모사를 통해 암시야 및 명시야에서 측정이 가능한 마이크로렌즈 어레이 기반 이미징 소자의 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 액체조절부는, 상기 기판과 마이크로렌즈 어레이 필름 사이 일측에 구비되고, 상기 기판과 마이크로렌즈 어레이 필름 사이로 액체를 주입하는 주입부; 및 상기 기판과 마이크로렌즈 어레이 필름 사이 타측에 구비되고, 상기 기판과 마이크로렌즈 어레이 필름 사이에 주입된 액체가 배출되는 배출부;를 포함하는 곤충 눈 모사를 통해 암시야 및 명시야에서 측정이 가능한 마이크로렌즈 어레이 기반 이미징 소자의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 주입부는, 제1액체가 저장된 제1저장부와, 제2액체가 저장된 제2저장부 및 상기 제1저장부와 제2저장부 및 기판과 마이크로렌즈 어레이 필름 사이 일측을 서로 연결하는 연결부를 포함하는 곤충 눈 모사를 통해 암시야 및 명시야에서 측정이 가능한 마이크로렌즈 어레이 기반 이미징 소자의 제조 방법
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