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마이크로웨이브 플라즈마 발생부, 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부와 연결된 질소산화물 배출부, 상기 질소산화물 배출부와 연결된 질소산화물 냉각부, 상기 질소산화물 냉각부에 연결된 질소산화물 변환부, 및 상기 질소산화물 변환부에 연결된 플라즈마 활성종 용존 반응부를 포함하고,상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부는 공기 및 산소 가스가 주입되며,상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부는 산소 가스 발생부를 더 포함하고,상기 산소 가스 발생부는 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부 내의 질소가스와 산소가스의 비율이 1: 2 내지 4가 되도록 산소 가스를 주입하는 것이고,상기 플라즈마 활성종은 퍼옥시나이트라이트(ONOO-)이며,상기 질소산화물 변환부는 오존 발생부를 포함하는, 마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 플라즈마 활성수 제조 시스템
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제1항에 있어서,상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부는 TE20 모드 마이크로 웨이브 플라즈마 토치를 이용한 것인 플라즈마 활성수 제조 시스템
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제1항에 있어서,상기 질소산화물 냉각부는 열교환기를 포함하고,상기 플라즈마 활성종 용존 반응부는 미세 버블 형성부 및/또는 압력 조절부를 포함하는 것인, 플라즈마 활성수 제조 시스템
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플라즈마 활성수의 제조방법으로서,a) 공기 및 산소 가스를 중공형 관으로 주입하는 단계;b) 상기 중공형 관 내부로 마이크로 웨이브 플라즈마를 조사하여 질소산화물을 제조하는 단계;c) 생성된 질소산화물을 냉각시키는 단계;d) 상기 c) 단계의 질소산화물 중 퍼옥시나이트라이트(ONOO-)를 제외한 질소산화물을 퍼옥시나이트라이트로 변환시키는 단계; 및e) 상기 퍼옥시나이트라이트를 물에 녹여 용존수를 제조하는 단계;를 포함하고,상기 d) 단계는 오존 가스를 공급하여 퍼옥시나이트라이트로 변환시키는 것이며,상기 a) 단계는 공기와 산소 가스의 총량을 기준으로, 질소가스와 산소가스의 부피 비율이 1: 2 내지 4가 되도록 산소 가스를 주입하는 것인, 플라즈마 활성수 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 e) 단계 후, 미반응 가스를 제거하는 단계를 더 포함하는 플라즈마 활성수 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 미반응 가스를 제거하는 단계는 우레아를 이용하여 퍼옥시나이트라이트 외의 질소산화물을 제거하는 것인 플라즈마 활성수 제조방법
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