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벌크 결정을 준비하는 단계;상기 벌크 결정 상에 금속층을 형성한 후 상기 금속층 상에 열박리 테이프(thermal release tape)를 부착하는 단계;상기 벌크 결정으로부터 상기 금속층 및 열박리 테이프가 부착된 2차원 소재를 박리하는 단계; 상기 금속층 및 열박리 테이프가 부착된 2차원 소재를 기판 상에 전사하는 단계; 및상기 2차원 소재가 전사된 기판으로부터 상기 열박리 테이프 및 금속층을 제거하는 단계;를 포함하는 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 벌크 결정은, 그라파이트(graphite), 전이 금속 디칼코게나이드(transition metal dichalcogenide; TMD), 육방정 보론 나이트라이드(hexagonal boron nitride, h-BN) 및 BP (흑린, Black Phosphorus) 중 적어도 하나를 포함하는 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속층은, 금, 은, 구리, 철, 니켈, 코발트, 알루미늄 및 팔라듐 중 적어도 하나를 포함하는 금속을 이용하여 형성되는 것인 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속층을 형성하는 단계는, 열 증착 장비 및 전자빔 증착 장비 중 적어도 하나를 이용하여 증착하는 방법으로 수행되는 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속층 및 열박리 테이프가 부착된 2차원 소재를 박리하는 단계에서,상기 벌크 결정 내 각 층간의 결합 에너지, 그리고 상기 벌크 결정과 상기 금속층 간의 결합 에너지의 차이는 30meV/atom 이하인 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 박리된 2차원 소재의 평균 두께는 0
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제1항에 있어서,상기 열박리 테이프 및 금속층을 제거하는 단계에서,상기 열박리 테이프는 100 내지 150℃의 열을 가하여 수행되는 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열박리 테이프 및 금속층을 제거하는 단계에서,상기 금속층의 제거는 은, 구리, 철, 니켈, 코발트, 알루미늄 및 팔라듐 중 적어도 하나를 이용하여 수행되는 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 금속층의 제거는 KI(아이오딘화 칼륨)/I2(아이오딘) 용액 및 골드 에천트(Gold etchant) 중 적어도 하나를 이용하여 수행하는 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 벌크 결정으로 그라파이트를 이용하는 경우,상기 금속층은 금인 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 2차원 소재는 이셀레늄화 몰리브덴(Molybdenum Diselenide, MoSe2) 또는 이황화 몰리브덴(Molybdenum Disulfide, MoS2)인 탑 다운 방식을 이용한 2차원 소재의 제조 방법
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