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하부 물질막;상기 하부 물질막 상의 상부 물질막;상기 하부 물질막 및 상기 상부 물질막 사이의 2차원 전자 가스;상기 상부 물질막 상의 소스 전극;상기 상부 물질막 상의 드레인 전극; 및상기 상부 물질막 상의 게이트 전극을 포함하고,상기 상부 물질막은 상기 소스 전극과 접하는 제1 부분, 상기 게이트 전극과 접하는 제2 부분 및 상기 드레인 전극과 접하는 제3 부분을 포함하고,상기 상부 물질막의 상기 제2 부분의 두께는 상기 상부 물질막의 상기 제1 부분의 두께 및 상기 상부 물질막의 상기 제3 부분의 두께보다 큰 전자 소자
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제1 항에 있어서,상기 상부 물질막은 알루미늄 산화물, 하프늄 산화물 또는 아연 황화물을 포함하는 전자 소자
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제1 항에 있어서,상기 하부 물질막은 아연 산화물을 포함하는 전자 소자
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제3 항에 있어서,상기 하부 물질막의 두께는 2
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제1 항에 있어서,상기 게이트 전극은 크롬을 포함하고,상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 티타늄을 포함하는 전자 소자
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제1 항에 있어서,상기 소스 전극은 상기 2차원 전자 가스에 오믹 컨택되는 전자 소자
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제1 항에 있어서,상기 상부 물질막의 상기 제2 부분은 상기 상부 물질막의 상기 제1 및 제3 부분들 사이에 배치되는 전자 소자
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제7 항에 있어서,상기 상부 물질막의 상기 제1 부분의 상면의 레벨 및 상기 상부 물질막의 상기 제3 부분의 상면의 레벨은 상기 상부 물질막의 상기 제2 부분의 상면의 레벨보다 낮은 전자 소자
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아연 산화물막;상기 아연 산화물막 상의 알루미늄 산화물막;상기 아연 산화물막 및 상기 알루미늄 산화물막 사이의 2차원 전자 가스;상기 알루미늄 산화물막 상의 소스 전극;상기 알루미늄 산화물막 상의 드레인 전극; 및상기 알루미늄 산화물막 상의 게이트 전극을 포함하고,상기 알루미늄 산화물막은 상기 소스 전극과 접하는 제1 부분 및 상기 게이트 전극과 접하는 제2 부분을 포함하고,상기 알루미늄 산화물막의 상기 제2 부분의 두께는 상기 알루미늄 산화물막의 상기 제1 부분의 두께보다 큰 전자 소자
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제9 항에 있어서,상기 소스 전극은 상기 2차원 전자 가스에 오믹 컨택되는 전자 소자
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제9 항에 있어서,상기 알루미늄 산화물막은 저항으로 작용하여 전압 강하를 발생시키는 전자 소자
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제9 항에 있어서,상기 알루미늄 산화물막은 상기 드레인 전극과 접하는 제3 부분을 더 포함하고,상기 알루미늄 산화물막의 상기 제2 부분의 상기 두께는 상기 알루미늄 산화물막의 상기 제3 부분의 두께보다 큰 전자 소자
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제12 항에 있어서,상기 알루미늄 산화물막의 상기 제1 부분의 상기 두께, 상기 알루미늄 산화물막의 상기 제2 부분의 상기 두께 및 상기 알루미늄 산화물막의 상기 제3 부분의 상기 두께의 조절에 따라 전압 강하가 조절되는 전자 소자
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제12 항에 있어서,상기 알루미늄 산화물막의 상기 제1 부분의 상기 두께 및 상기 알루미늄 산화물막의 상기 제3 부분의 상기 두께가 상기 알루미늄 산화물막의 상기 제2 부분의 상기 두께보다 얇음에 따라 전압 강하가 감소되는 전자 소자
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제9 항에 있어서,상기 2차원 전자 가스는 노멀리 온 채널인 전자 소자
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제15 항에 있어서,상기 2차원 전자 가스는 상기 게이트 전극과 상기 소스 전극 사이의 전위차가 문턱 전압보다 커지면 오프되는 전자 소자
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하부 물질막;상기 하부 물질막 상의 상부 물질막;상기 하부 물질막 및 상기 상부 물질막 사이의 2차원 전자 가스;상기 상부 물질막 상의 소스 전극;상기 상부 물질막 상의 드레인 전극; 및상기 상부 물질막 상의 게이트 전극을 포함하고,상기 상부 물질막은 상기 소스 전극과 접하는 제1 부분 및 상기 게이트 전극과 접하는 제2 부분을 포함하고, 상기 상부 물질막의 상기 제2 부분의 두께는 상기 상부 물질막의 상기 제1 부분의 두께보다 크고,상기 소스 전극은 상기 2차원 전자 가스에 오믹 컨택되는 전자 소자
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제17 항에 있어서,상기 상부 물질막은 알루미늄 산화물막, 하프늄 산화물막 또는 아연 황화물막인 전자 소자
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제17 항에 있어서,상기 하부 물질막은 아연 산화물을 포함하고,상기 하부 물질막의 두께는 2
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제17 항에 있어서,상기 상부 물질막의 상기 제1 부분의 상기 두께가 상기 상부 물질막의 상기 제2 부분의 상기 두께보다 얇음에 따라 상기 2차원 전자 가스의 문턱 전압이 상대적으로 낮은 전자 소자
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