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표면 스캐너에 있어서, 광원 및 부분영상을 수광하는 검출기를 포함하는 간섭계(100);상기 광원의 빛을 선편광으로 변환하는 파장판(110);상기 선편광이 순차적으로 통과되도록 배열된 제 1 PBS(120), 제 1, 2 영상렌즈(130, 140), 및 제 2 PBS(150);상기 제 2 PBS(150)를 통과한 빛을 구면파로 변환하고, 반사경(10)을 향하는 대물렌즈(170);상기 반사경(10)에서 반사된 빛이 상기 제 2 PBS(150)에서 반사되어 입사되는 회전프리즘(220);상기 회전프리즘(220)을 일정 각도씩 회전시키는 회전모터(250);상기 회전프리즘(220)을 통과한 빛이 입사되어 확장되거나 제 1 반사경(180)에서 반사된 빛이 입사되어 축소되는 빔축소부(200);상기 빔축소부(200)를 통과한 빛을 상기 제 1 PBS(120)측으로 반사시키는 상기 제 1 반사경(180); 상기 제 1 반사경(180)을 직선방향으로 이동시키는 선형모터(260); 및상기 회전프리즘(220)을 회전시키면서 그리고, 상기 제 1 반사경(180)을 이동시키면서 생성된 상기 검출기의 상기 부분영상(20)을 정합하여 상기 반사경(10)의 전체 표면 영상을 생성하는 전체영상 생성수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔축소부를 이용한 표면 스캐너
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 파장판(110)은 회전 가능한 λ/4 파장판인 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔축소부를 이용한 표면 스캐너
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제 1 항에 있어서, 상기 회전프리즘(220)은 도브(Dove) 프리즘 또는 페칸(Pechan) 프리즘인 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔축소부를 이용한 표면 스캐너
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제 1 항에 있어서, 상기 파장판(110), 상기 제 1 PBS(120), 상기 제 1, 2 영상렌즈(130, 140), 상기 제 2 PBS(150), 및 상기 대물렌즈(170)는 직선상에 배열되는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔축소부를 이용한 표면 스캐너
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 PBS(150)에서 반사된 빛을 상기 회전프리즘(220)측으로 반사하는 제 2 반사경(210)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔축소부를 이용한 표면 스캐너
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제 1 항에 있어서, 상기 회전프리즘(220)에 입사하는 빛의 광축과 상기 회전프리즘(220)의 회전축은 일치하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔축소부를 이용한 표면 스캐너
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