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펠리클 성능 평가 시스템에 있어서, 진공챔버 내의 이온과 활성종의 밀도 비율를 분석하는 사중극자 질량분석기; 상기 진공챔버 내의 플라즈마 밀도를 측정하는 플라즈마 밀도 분석기; 상기 사중극자 질량분석기 및 상기 플라즈마 밀도 분석기에 연결되어 플라즈마 내에 포함되는 이온 밀도와 활성종의 밀도를 분석하는 플라즈마 공정 분석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 플라즈마에 의하여 상기 펠리클에 발생하는 결함을 평가하는 결함 평가부를 더 포함하고, 상기 결함 평가부는 열적 특성, 기계적 특성, 광학적 특성 중 적어도 어느 하나를 평가하여 상기 펠리클에 발생하는 결함을 평가하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 플라즈마 밀도 분석기는 송수신안테나 내장 센서의 마이크로웨이브를 분석하여 플라즈마 밀도를 측정하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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제 1 항에 있어서, 플라즈마로부터 발생되는 광의 파장 및 세기를 분석하는 광방출 분광기를 더 포함하고, 상기 플라즈마 공정 분석부는 상기 광방출 분광기에서 분석하는 광의 파장에 따른 세기가 감소하고, 상기 플라즈마 밀도 분석기에서 분석하는 플라즈마 밀도에 변화가 없는 경우에 광방출 감지 센서의 측정 오류를 보상하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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제 4 항에 있어서, 상기 플라즈마 공정 분석부는 상기 광방출 분광기에서 분석하는 광의 파장에 따른 세기가 감소하고, 상기 플라즈마 밀도 분석기에서 분석하는 플라즈마 밀도에 변화가 발생하는 경우에 플라즈마 공정의 외부변수인 플라즈마 발생을 위한 인가 전력, 가스 압력, 가스 유량비, 인가 전력 비율 중 적어도 하나를 제어하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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제 5 항에 있어서, 진공챔버 내의 온도를 분석하는 온도 분석기;를 더 포함하고, 상기 온도 분석기에 의하여 진공챔버 또는 기판 지지부의 온도가 사전 설정된 온도 범위를 벗어나는 것으로 판단되는 경우에 상기 플라즈마 공정 분석부는 플라즈마 공정의 외부변수인 플라즈마 발생을 위한 인가 전력 또는 가스 압력를 제어하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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제 2 항에 있어서, 상기 송수신안테나 내장 센서는 가변 주파수의 마이크로웨이브를 송신하고 플라즈마를 투과하는 마이크로웨이브를 수신하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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제 2 항에 있어서, 상기 송수신안테나 내장 센서는 가변 주파수의 마이크로웨이브를 송신하고 플라즈마로부터 반사되는 마이크로웨이브를 수신하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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펠리클 성능 평가 시스템에 있어서, 진공챔버 내의 플라즈마로부터 발생되는 광의 파장 및 세기를 분석하는 광방출 분광기; 상기 진공챔버 내의 플라즈마 밀도를 측정하는 플라즈마 밀도 분석기; 상기 광방출 분광기 및 상기 플라즈마 밀도 분석기에 연결되어 플라즈마 내에 포함되는 이온과 활성종의 밀도를 종합적으로 분석하는 플라즈마 공정 분석부를 포함하고, 상기 플라즈마 공정 분석부는 극자외선 노광공정에서 극자외선 광에 의해서 생성되는 플라즈마를 진단하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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제 9 항에 있어서, 상기 진공챔버 내의 이온과 활성종의 밀도 분포를 분석하는 사중극자 질량분석기를 더 포함하고, 상기 플라즈마 공정 분석부는 상기 광방출 분광기, 상기 플라즈마 밀도 분석기, 상기 사중극자 질량분석기에 연결되어 플라즈마 내에 포함되는 이온과 활성종의 밀도를 종합적으로 분석하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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펠리클 성능 평가 시스템에 있어서, 진공챔버 내의 이온과 활성종의 밀도 비율를 분석하는 사중극자 질량분석기; 상기 진공 챔버 내의 플라즈마 밀도를 측정하는 플라즈마 밀도 분석기; 상기 사중극자 질량분석기 및 상기 플라즈마 밀도 분석기에 연결되어 플라즈마 내에 포함되는 이온 밀도와 활성종의 밀도를 분석하는 플라즈마 공정 분석부; 상기 플라즈마에 의하여 상기 펠리클에 발생하는 결함을 평가하는 결함 평가부;를 포함하고, 상기 결함 평가부는 열적 특성, 기계적 특성, 광학적 특성 중 적어도 어느 하나를 평가하여 상기 펠리클에 발생하는 결함을 평가하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 시스템
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펠리클 성능 평가 방법에 있어서, 사중극자 질량분석기에서 진공챔버 내의 이온과 활성종의 밀도 분포를 분석하는 단계; 플라즈마 밀도 분석기에서 상기 진공챔버 내의 플라즈마 밀도를 측정하는 단계; 광방출 분광기에서 플라즈마로부터 발생하는 광의 파장 및 세기를 분석하는 단계; 플라즈마 공정 분석부에서 상기 사중극자 질량분석기 및 상기 플라즈마 밀도 분석기에 연결되어 플라즈마 내에 포함되는 이온 밀도와 활성종의 밀도를 분석하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 방법
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펠리클 성능 평가 방법에 있어서, 진공챔버 내에 펠리클을 위치시키고 플라즈마를 생성하는 단계; 사중극자 질량분석기에서 상기 플라즈마 내의 이온과 활성종의 밀도 분포를 분석하는 단계; 플라즈마 밀도 분석기에서 상기 진공챔버 내의 상기 플라즈마 밀도를 측정하는 단계; 광방출 분광기에서 상기 플라즈마로부터 발생하는 광의 파장 및 세기를 분석하는 단계; 플라즈마 공정 분석부에서 상기 사중극자 질량분석기 및 상기 플라즈마 밀도 분석기에 연결되어 상기 플라즈마 내에 포함되는 이온 밀도와 활성종의 밀도를 분석하는 단계; 상기 플라즈마에 의하여 상기 펠리클에 발생하는 결함을 평가하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 성능 평가 방법
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제 12 항 또는 제 13 항의 펠리클 성능 평가 방법을 실행시키기 위하여 저장매체에 기록되는 컴퓨터프로그램
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