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제1 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 및 제2 MEMS를 포함하는 거울 쌍의 동기화 장치로서, 상기 제1 MEMS를 구동시키기 위한 제1 구동 신호를 발생시키는 제1 구동신호 발생기;상기 제2 MEMS를 구동시키기 위한 제2 구동 신호를 발생시키는 제2 구동신호 발생기;상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 위상을 동기화하는 제1 동기화부; 및상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 진폭을 동기화하는 제2 동기화부를 포함하는, 동기화 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 동기화 장치는, 상기 위상 동기화를 위한 1차 주파수 스위핑의 시퀀스 및 상기 진폭 동기화를 위한 2차 주파수 스위핑의 시퀀스를 생성하여 상기 제1 구동신호 발생기 및 상기 제2 구동신호 발생기로 각각 전달하는 주파수 스위핑부를 더 포함하는, 동기화 장치
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청구항 2에 있어서, 상기 제1 구동 신호 발생기는, 제1 진폭 신호를 생성하는 제1 진폭 생성부;제1 위상 신호를 생성하는 제1 위상 생성부;상기 주파수 스위핑부에서 생성되는 시퀀스 값에 따라 제1 주파수 신호를 생성하는 제1 주파수 생성부; 및상기 제1 진폭 신호, 상기 제1 위상 신호, 및 상기 제1 주파수 신호에 기반하여 상기 제1 구동 신호를 생성하는 제1 신호 발생부를 포함하는, 동기화 장치
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청구항 3에 있어서, 상기 제2 구동 신호 발생기는, 제2 진폭 신호를 생성하는 제2 진폭 생성부;제2 위상 신호를 생성하는 제2 위상 생성부;상기 주파수 스위핑부에서 생성되는 시퀀스 값에 따라 제2 주파수 신호를 생성하는 제2 주파수 생성부; 및상기 제2 진폭 신호, 상기 제2 위상 신호, 및 상기 제2 주파수 신호에 기반하여 상기 제2 구동 신호를 생성하는 제2 신호 발생부를 포함하는, 동기화 장치
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청구항 4에 있어서, 상기 제1 동기화부는, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 위상 평균을 산출하고, 상기 위상 평균과 상기 제1 구동 신호의 위상 간 차이인 제1 위상차를 산출하며, 상기 위상 평균과 상기 제2 구동 신호의 위상 간 차이인 제2 위상차를 산출하는, 동기화 장치
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청구항 5에 있어서, 상기 제1 위상 생성부는, 상기 1차 주파수 스위핑의 다음 번째 시퀀스에서 상기 제1 위상차에 기반하여 보정된 제1 위상 신호를 생성하고, 상기 제2 위상 생성부는, 상기 1차 주파수 스위핑의 다음 번째 시퀀스에서 상기 제2 위상차에 기반하여 보정된 제2 위상 신호를 생성하는, 동기화 장치
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청구항 6에 있어서, 상기 제1 주파수 생성부 및 상기 제2 주파수 생성부는, 상기 다음 번째 시퀀스 값에 기반하여 제1 주파수 신호 및 제2 주파수 신호를 각각 생성하고, 상기 제1 구동신호 발생기는, 상기 1차 주파수 스위핑의 다음 번째 시퀀스에서 상기 제1 진폭 신호, 상기 보정된 제1 위상 신호, 및 상기 제1 주파수 신호에 기반하여 제1 구동 신호를 생성한 후 상기 제1 동기화부로 전달하며, 상기 제2 구동신호 발생기는, 상기 1차 주파수 스위핑의 다음 번째 시퀀스에서 상기 제2 진폭 신호, 상기 보정된 제2 위상 신호, 및 상기 제2 주파수 신호에 기반하여 제2 구동 신호를 생성한 후 상기 제1 동기화부로 전달하는, 동기화 장치
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청구항 7에 있어서, 상기 제1 동기화부는, 상기 1차 주파수 스위핑의 시퀀스 값이 기 설정된 값에 도달하는 경우, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 위상 동기화를 완료하는, 동기화 장치
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청구항 4에 있어서, 상기 제2 동기화부는, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 진폭 평균을 산출하고, 상기 진폭 평균과 상기 제1 구동 신호의 진폭 간 차이인 제1 진폭차를 산출하며, 상기 진폭 평균과 상기 제2 구동 신호의 진폭 간 차이인 제2 진폭차를 산출하는, 동기화 장치
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청구항 9에 있어서, 상기 제1 진폭 생성부는, 상기 2차 주파수 스위핑의 시퀀스에서 상기 제1 진폭차에 기반하여 보정된 제1 진폭 신호를 생성하고, 상기 제2 진폭 생성부는,상기 2차 주파수 스위핑의 시퀀스에서 상기 제2 진폭차에 기반하여 보정된 제2 진폭 신호를 생성하는, 동기화 장치
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청구항 10에 있어서, 상기 제1 주파수 생성부 및 상기 제2 주파수 생성부는, 상기 2차 주파수 스위핑의 시퀀스 값에 기반하여 제1 주파수 신호 및 제2 주파수 신호를 각각 생성하고, 상기 제1 구동신호 발생기는, 상기 2차 주파수 스위핑의 시퀀스에서 상기 보정된 제1 진폭 신호, 상기 제1 위상 신호, 및 상기 제1 주파수 신호에 기반하여 제1 구동 신호를 생성한 후 상기 제2 동기화부로 전달하며, 상기 제2 구동신호 발생기는, 상기 2차 주파수 스위핑의 시퀀스에서 상기 보정된 제2 진폭 신호, 상기 제2 위상 신호, 및 상기 제2 주파수 신호에 기반하여 제2 구동 신호를 생성한 후 상기 제2 동기화부로 전달하는, 동기화 장치
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청구항 11에 있어서, 상기 제2 동기화부는, 상기 2차 주파수 스위핑의 시퀀스 값이 기 설정된 값에 도달하는 경우, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 진폭 동기화를 완료하는, 동기화 장치
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13
제1 구동신호 발생기에서, 제1 MEMS를 구동시키기 위한 제1 구동 신호를 발생시키는 단계;제2 구동신호 발생기에서, 상기 제1 MEMS와 거울 쌍을 이루는 제2 MEMS를 구동시키기 위한 제2 구동 신호를 발생시키는 단계;제1 동기화부에서, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 위상을 동기화하는 단계; 및제2 동기화부에서, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 진폭을 동기화하는 단계를 포함하는, 동기화 방법
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청구항 13에 있어서, 상기 동기화 방법은, 주파수 스위핑부에서, 1차 주파수 스위핑의 첫 번째 시퀀스 값을 상기 제1 구동신호 발생기 및 상기 제2 구동신호 발생기로 각각 전달하는 단계를 더 포함하는, 동기화 방법
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청구항 14에 있어서, 상기 위상을 동기화하는 단계는, 상기 제1 동기화부에서, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 위상 평균을 산출하는 단계;상기 제1 동기화부에서, 상기 위상 평균과 상기 제1 구동 신호의 위상 간 차이인 제1 위상차를 산출하는 단계; 및상기 제1 동기화부에서, 상기 위상 평균과 상기 제2 구동 신호의 위상 간 차이인 제2 위상차를 산출하는 단계를 포함하는, 동기화 방법
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청구항 15에 있어서, 상기 위상을 동기화하는 단계는, 상기 제1 구동신호 발생기에서, 상기 1차 주파수 스위핑의 다음 번째 시퀀스에서 상기 제1 위상차에 기반하여 보정된 제1 위상 신호를 생성하고, 제1 진폭 신호, 상기 보정된 제1 위상 신호, 및 상기 다음 번째 시퀀스에 따른 제1 주파수 신호에 기반하여 제1 구동 신호를 생성하며, 생성된 상기 제1 구동 신호를 상기 제1 동기화부로 전달하는 단계; 및상기 제2 구동신호 발생기에서, 상기 1차 주파수 스위핑의 다음 번째 시퀀스에서 상기 제2 위상차에 기반하여 보정된 제2 위상 신호를 생성하고, 제2 진폭 신호, 상기 보정된 제2 위상 신호, 및 상기 다음 번째 시퀀스에 따른 제2 주파수 신호에 기반하여 제2 구동 신호를 생성하며, 생성된 상기 제2 구동 신호를 상기 제1 동기화부로 전달하는 단계를 더 포함하는, 동기화 방법
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청구항 16에 있어서, 상기 위상을 동기화하는 단계는, 상기 제1 동기화부에서, 상기 1차 주파수 스위핑의 시퀀스 값이 기 설정된 값에 도달하는 경우, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 위상 동기화를 완료하는 단계를 더 포함하는, 동기화 방법
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청구항 17에 있어서, 상기 진폭을 동기화하는 단계는, 상기 주파수 스위핑부에서, 2차 주파수 스위핑의 첫 번째 시퀀스 값을 상기 제1 구동신호 발생기 및 상기 제2 구동신호 발생기로 각각 전달하여 제1 구동 신호 및 제2 구동 신호를 발생시키도록 하는 단계;상기 제2 동기화부에서, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 진폭 평균을 산출하는 단계;상기 제2 동기화부에서, 상기 진폭 평균과 상기 제1 구동 신호의 진폭 간 차이인 제1 진폭차를 산출하는 단계; 및상기 제2 동기화부에서, 상기 진폭 평균과 상기 제2 구동 신호의 진폭 간 차이인 제2 진폭차를 산출하는 단계를 포함하는, 동기화 방법
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청구항 18에 있어서, 상기 진폭을 동기화하는 단계는, 상기 제1 구동신호 발생기에서, 상기 2차 주파수 스위핑의 다음 번째 시퀀스에서 상기 제1 진폭차에 기반하여 보정된 제1 진폭 신호를 생성하고, 상기 보정된 제1 진폭 신호, 동기화 된 제1 위상 신호, 및 상기 다음 번째 시퀀스에 따른 제1 주파수 신호에 기반하여 제1 구동 신호를 생성하며, 생성된 상기 제1 구동 신호를 상기 제2 동기화부로 전달하는 단계; 및상기 제2 구동신호 발생기에서, 상기 2차 주파수 스위핑의 다음 번째 시퀀스에서 상기 제2 진폭차에 기반하여 보정된 제2 진폭 신호를 생성하고, 상기 보정된 제2 진폭 신호, 동기화 된 제2 위상 신호, 및 상기 다음 번째 시퀀스에 따른 제2 주파수 신호에 기반하여 제2 구동 신호를 생성하며, 생성된 상기 제2 구동 신호를 상기 제2 동기화부로 전달하는 단계를 더 포함하는, 동기화 방법
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청구항 19에 있어서, 상기 진폭을 동기화하는 단계는, 상기 제2 동기화부에서, 상기 2차 주파수 스위핑의 시퀀스 값이 기 설정된 값에 도달하는 경우, 상기 제1 구동 신호 및 상기 제2 구동 신호의 진폭 동기화를 완료하는 단계를 더 포함하는, 동기화 방법
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펄스 레이저를 타겟 대상으로 송출하기 위한 제1 MEMS;상기 제1 MEMS와 거울 쌍을 구성하며, 상기 타겟 대상에서 반사되는 펄스 레이저를 수신하기 위한 제2 MEMS; 및상기 제1 MEMS와 상기 제2 MEMS를 동기화하는 청구항 1 내지 청구항 12 중 어느 하나의 항에 기재된 동기화 장치를 포함하는, 거리 측정 장치
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