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몸체; 및상기 몸체의 표면에 복수 개 형성된 나노 크기의 제 1 돌기부를 포함하고,5 L/min의 유량으로 공기를 공급하면서, 7 kV의 DC 음전압을 인가하여 측정되는 음이온 발생 농도가 15 Х 105 ions/cm3 이상인 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 5 L/min의 유량으로 공기를 공급하면서, 7 kV의 DC 음전압을 인가하여 측정되는 음이온 발생 농도는 15 Х 105 ions/cm3 내지 1 Х 108 ions/cm3인 전극
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제 1 항에 있어서, 음이온 발생 시 잔류오존농도가 70 ppb 미만인 전극
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 음이온 발생 시 적용되는 전기장은 500 V/m 내지 500000 V/m인 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 몸체는 철, 텅스텐, 은, 구리, 금, 니켈, 코발트, 아연, 몰리브덴 또는 이들의 합금으로 이루어진 전이금속을 포함하는 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 몸체는 핀(pin) 형태인 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 돌기부는 곡률 반경이 1 nm 내지 10 ㎛인 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 돌기부는 철, 텅스텐, 은, 구리, 금, 니켈, 코발트, 아연, 몰리브덴 또는 이들의 합금으로 이루어진 전이금속을 포함하는 전극
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9
제 1 항에 있어서, 상기 몸체의 표면에 형성된 복수 개의 제 1 돌기부 사이에 제 2 돌기부를 더 포함하는 전극
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제 1 항에 따른 전극의 제조방법에 관한 것으로,몸체의 표면에 나노 크기의 제 1 돌기부를 복수 개 형성하는 제 1 형성 단계를 포함하며,5 L/min의 유량으로 공기를 공급하면서, 7 kV의 DC 음전압을 인가하여 측정되는 음이온 발생 농도가 15 Х 105 ions/cm3 이상인 전극의 제조방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제 1 형성 단계는 식각을 통해 수행되는 전극의 제조방법
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제 11 항에 있어서, 상기 식각은 습식 식각, 광학적 식각 및 물리적 식각 중 선택된 하나 이상으로 수행되는 전극의 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 습식 식각은 몸체를 식각 용액에 함침시킨 후, 초음파를 인가하여 수행되는 전극의 제조방법
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제 13 항에 있어서, 상기 초음파 인가 시간은 10 초 내지 1 시간인 전극의 제조방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제 1 형성 단계 이후, 상기 몸체의 표면에 형성된 복수 개의 제 1 돌기부 사이에 제 2 돌기부를 형성하는 제 2 형성 단계를 더 포함하는 전극의 제조방법
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제 1 항에 따른 전극을 포함하는 정전기 방전 시스템
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