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벌크 물질의 표면 상에 금속 박막을 증착하는 단계;상기 금속 박막과 함께 상기 벌크 물질의 표면으로부터 2차원 물질을 박리하는 단계; 및 상기 2차원 물질을 기판으로 전사하는 단계;를 포함하고,상기 금속 박막의 내부 응력을 제어하여 상기 박리되는 2차원 물질의 층수가 제어되는 것인, 층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속 박막의 내부 응력이 감소할수록 상기 박리되는 2차원 물질의 층수가 증가하는 것인,층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 금속 박막의 내부 응력(σf)은 하기 식 1 로 표시되고, 하기 식 2 로서 표시되는 총 누적 변형 에너지(Utotal)가 상기 2차원 물질 사이의 결합 에너지(γ)에 도달하게 되면 상기 2차원 물질의 박리가 발생하는 것인, 층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법:[식 1](상기 식 1 에서,γ는 2 차원 물질 사이의 결합 에너지이고,UTotal 는 총 누적 변형 에너지임)[식 2](상기 식 2 에서, vs 및 vf 는 각각 벌크 물질 및 금속 박막의 푸아송 비(Poisson's ratio)이고,Ys 및 Yf 는 각각 벌크 물질 및 금속 박막의 영률(Young's modulus)이고,ts 및 tf 는 각각 벌크 물질 및 금속 박막의 두께이고,dspall 는 균열 깊이임)
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제 1 항에 있어서,상기 금속 박막을 제거하는 단계를 추가 포함하는 것인, 층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법
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제 4 항에 있어서,상기 금속 박막을 제거하는 단계는 금속 에칭제에 상기 금속 박막을 함침하여 수행되는 것인,층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속 박막을 증착하는 단계는 전자빔증착(E-beam evaporation), 열증착, 진공열증착, 플라즈마증착, 스퍼터링(Sputtering), 원자층증착(ALD), 화학기상증착(CVD), 물리기상증착(PVD) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 방법에 의해 수행되는 것인,층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속은 Ag, Au, Cu, Pd및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인,층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 2차원 물질은 전이금속 칼코겐화합물, 그래핀, 플루오르그래핀, 산화그래핀, 육방정계 질화붕소(h-BN), BCN(boron carbon nitride), 흑린, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인,층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐 화합물은 하기 화학식 1 로서 표기되는 물질을 포함하는 것인, 층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법:[화학식 1]MX2(상기 화학식 1 에서, M 은 Mo, W, Te, Re, V, Nb, Ta, Ti, Zr, Hf, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, 또는 Pt에서 선택되는 전이금속이고,X는 S, Se 또는 Te에서 선택되는 칼코겐 원소임)
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제 1 항에 있어서,상기 박리는 고온 박리 테이프(thermal release tape, TRT)를 이용하여 수행되는 것인,층수가 제어된 2차원 물질의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 따른 제조 방법에 의해 제조된, 층수가 제어된 2 차원 물질
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한 쌍의 2차원 물질; 및제 11 항에 따른 층수가 제어된 2 차원 물질;을 포함하고, 상기 층수가 제어된 2 차원 물질은 상기 한 쌍의 2차원 물질의 중간 층에 배치되는 것인,2차원 물질의 이종접합 구조체
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제 12 항에 따른 2차원 물질의 이종접합 구조체를 포함하는 광검출 소자
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