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FPM에 있어서, 다수의 LED광원이 구비되며, 대물렌즈를 투과하여 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 복수의 LED 제1빔을 조사하는 제1LED 어레이로 구성된 제1패널을 갖는 제1조명기; 및다수의 LED광원이 구비되며, 상기 제1조명기에 의한 조사 후, 측정대상물에 복수의 LED 제2빔을 조사하는 제2LED 어레이로 구성되고, 중앙홀에 상기 대물렌즈가 위치되는 제2패널을 갖는 제2조명기;를 포함하고, 상기 제2LED 어레이는 플렉시블 LED 어레이로 구성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 LED 어레이를 이용한 반사형 FPM
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제 1항에 있어서, 상기 제2조명기는, 상기 대물렌즈가 삽입되어 장착되는 관통홀을 갖는 장착단과, 상기 장착단의 하부면 외측에 원주방향을 따라 하부측으로 돌출되도록 구성되는 돌출단을 포함하고, 상기 플렉시블 LED 어레이는 상기 돌출단의 내면에 원주방향을 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 LED 어레이를 이용한 반사형 FPM
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제 2항에 있어서, 상기 플렉시블 LED 어레이를 구성하는 제2LED 광원들 각각은 상기 대물렌즈는 내측방향으로 조사되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 LED 어레이를 이용한 반사형 FPM
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제 3항에 있어서, 상기 측정대상물은 상기 플렉시블 LED 어레이를 구성하는 제2LED 광원의 분산각(divergence angle) 내에 위치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 LED 어레이를 이용한 반사형 FPM
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제 1항에 있어서, LED 제1빔과 제2빔이 조사된 측정대상물에서 나오는 빔을 수집하도록 구성된 렌즈; 및상기 렌즈로부터 광을 수광하고 복수의 제1빔 및 제2빔 각각에 대한 이미지를 취득하는 광검출기;을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 LED 어레이를 이용한 반사형 FPM
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제 5항에 있어서, 상기 제1패널의 중심점에 위치된 광원부터 순차적으로 반경이 작은 제1LED 어레이 상의 광원들이 순차적으로 조사된 후, 플렉시블 LED어레이 상의 광원이 조사되도록 제어하는 LED제어부를 더 포함하고, 상기 광검출기는 각각의 빔에 대한 이미지를 취득하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 LED 어레이를 이용한 반사형 FPM
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제 6항에 있어서, 상기 이미지 각각을 스펙트럼 도메인에 위치시켜 스티칭하여 상기 측정대상물의 위상정보를 갖는 합성 이미지를 산출하는 분석수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 LED 어레이를 이용한 반사형 FPM
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제 1항에 있어서, 상기 제1빔은 상기 제1조명기에서 조사되어 광학계를 통과하여 빔스플리터에 의해 반사된 후, 대물렌즈를 거쳐 측정대상물에 입사되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 LED 어레이를 이용한 반사형 FPM
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