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LED(Light Emitting Diode) 광원으로부터 미리 설정된 출력 파형의 광이 조사되도록 제어하는 광원 제어부;상기 광원에서 타겟 샘플과 동일한 거리에 설치된 포토다이오드(photodiode)를 이용하여 상기 광의 세기를 측정하고, 상기 타겟 샘플의 아래에 설치된 코일을 이용하여 컨덕턴스를 측정하는 측정부; 및상기 광의 세기에 기초하여 상기 타겟 샘플의 생성률(generation rate)을 산출하고, 상기 타겟 샘플의 생성률과 시간에 따른 상기 컨덕턴스의 변화율을 이용하여 상기 타겟 샘플의 캐리어 수명을 예측하는 예측부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원 제어부는,상기 광의 세기가 특정 피크점 이상이면 감소 시간(decay time)을 0으로 설정하고, 상기 특정 피크점 미만이면 캐리어 밀도의 감소 시간과 동일하게 설정하여 상기 광의 출력 파형을 제어하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원 제어부는,상기 타겟 샘플의 캐리어 밀도 중 관심있는 밀도 범위에 따라 광량을 설정하여 상기 광의 출력 파형을 제어하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원 제어부는,상기 타겟 샘플의 층에 대한 특성에 기초하여 전면, 벌크 또는 후면으로 분리하기 위해 파장을 선택적으로 설정하여 상기 광의 출력 파형을 제어하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 측정부는,상기 코일에 고주파 전류를 인가하여 상기 타겟 샘플에 와전류(eddy current)를 발생시키고, 상기 와전류의 변화량에 기초하여 상기 타겟 샘플의 컨덕턴스를 측정하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 예측부는,상기 광의 세기를 기준으로 파장에 따른 상기 타겟 샘플의 반사도에 기초하여 상기 광원으로부터 입사되는 상기 타겟 샘플의 입사량을 결정하고, 상기 타겟 샘플의 두께 정보를 기준으로 파장에 따른 흡수 계수(absorption coefficient)에 기초하여 상기 타겟 샘플의 흡수량을 결정하여 상기 생성률을 산출하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 예측부는,상기 컨덕턴스를 기준으로 상기 타겟 샘플의 내부 전하량을 분석하여 캐리어 밀도를 산출하고, 상기 생성률 및 상기 캐리어 밀도에 기초하여 상기 타겟 샘플의 캐리어 수명을 예측하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 장치
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LED(Light Emitting Diode) 광원으로부터 미리 설정된 출력 파형의 광이 조사되도록 제어하는 광원 제어 단계;상기 광원에서 타겟 샘플과 동일한 거리에 설치된 포토다이오드(photodiode)를 이용하여 상기 광의 세기를 측정하고, 상기 타겟 샘플의 아래에 설치된 코일을 이용하여 컨덕턴스를 측정하는 측정 단계; 및상기 광의 세기에 기초하여 상기 타겟 샘플의 생성률(generation rate)을 산출하고, 상기 타겟 샘플의 생성률과 시간에 따른 상기 컨덕턴스의 변화율을 이용하여 상기 타겟 샘플의 캐리어 수명을 예측하는 예측 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 방법
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제 8 항에 있어서,상기 광원 제어 단계는,상기 광의 세기가 특정 피크점 이상이면 감소 시간(decay time)을 0으로 설정하고, 상기 특정 피크점 미만이면 캐리어 밀도의 감소 시간과 동일하게 설정하여 상기 광의 출력 파형을 제어하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 방법
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제 8 항에 있어서,상기 광원 제어 단계는,상기 타겟 샘플의 캐리어 밀도 중 관심있는 밀도 범위에 따라 광량을 설정하여 상기 광의 출력 파형을 제어하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 방법
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제 8 항에 있어서,상기 광원 제어 단계는,상기 타겟 샘플의 층에 대한 특성에 기초하여 전면, 벌크 또는 후면으로 분리하기 위해 파장을 선택적으로 설정하여 상기 광의 출력 파형을 제어하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 방법
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제 8 항에 있어서,상기 측정 단계는,상기 코일에 고주파 전류를 인가하여 상기 타겟 샘플에 와전류(eddy current)를 발생시키고, 상기 와전류의 변화량에 기초하여 상기 타겟 샘플의 컨덕턴스를 측정하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 방법
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제 8항에 있어서,상기 예측 단계는,상기 광의 세기를 기준으로 파장에 따른 상기 타겟 샘플의 반사도에 기초하여 상기 광원으로부터 입사되는 상기 타겟 샘플의 입사량을 결정하고, 상기 타겟 샘플의 두께 정보를 기준으로 파장에 따른 흡수 계수(absorption coefficient)에 기초하여 상기 타겟 샘플의 흡수량을 결정하여 상기 생성률을 산출하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 측정 방법
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제 13 항에 있어서,상기 예측 단계는,상기 컨덕턴스를 기준으로 상기 타겟 샘플의 내부 전하량을 분석하여 캐리어 밀도를 산출하고, 상기 생성률 및 상기 캐리어 밀도에 기초하여 상기 타겟 샘플의 캐리어 수명을 예측하는 것을 특징으로 하는 캐리어 수명 예측 방법
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