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비드 리플로우를 이용한 나노갭 구조물 및 나노갭 구조물의 제작 방법

  • 기술번호 : KST2023005511
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 비드 리플로우를 이용한 나노갭 구조물 및 나노갭 구조물의 제작 방법이 개시된다. 비드를 리플로우하여 비드를 옆으로 퍼지도록 함으로써 1차 금속과 2차 금속 사이에 형성되는 나노 사이즈의 갭을 조절하는 과정이 진행된다. 비드의 리플로우의 시간이 진행되는 정도에 따라 달라지는 나노 사이즈의 갭을 가지는 링 구조물이 제작된다.
Int. CL G01N 21/552 (2014.01.01) G01N 21/47 (2006.01.01) B22F 1/054 (2022.01.01) B22F 1/0655 (2022.01.01) B22F 9/16 (2006.01.01) C23F 1/02 (2006.01.01)
CPC G01N 21/554(2013.01) G01N 21/47(2013.01) B22F 1/054(2013.01) B22F 1/0655(2013.01) B22F 9/16(2013.01) C23F 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020220008060 (2022.01.19)
출원인 단국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0111968 (2023.07.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.01.19)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 단국대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 수지구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승기 서울특별시 동작구
2 박재형 경기도 용인시 수지구
3 김형민 경기도 파주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2022-0070659-94
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2022.09.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
링 구조물에 있어서,상기 링 구조물의 중앙에 디스크 형태의 1차 금속이 배치되고,상기 1차 금속에서 나노 사이즈의 갭만큼 이격된 위치에 2차 금속이 배치되며,상기 나노 사이즈의 갭만큼의 폭을 가지는 링이 형성되고,상기 나노 사이즈의 갭은, 링 구조물의 제작 과정에서 사용되는 비드의 리플로우의 진행 시간에 따라 달라지는 링 구조물
2 2
제1항에 있어서,상기 나노 사이즈의 갭은, 링 구조물을 제작할 때 사용되는 비드가 옆으로 흐르는 리플로우의 진행 시간에 따라 달라지는 링 구조물
3 3
제1항에 있어서,비드의 리플로우의 진행 시간이 증가할수록 상기 나노 사이즈의 갭은 증가하는 링 구조물
4 4
제1항에 있어서,상기 1차 금속과 2차 금속은 전도성을 가지며, 서로 다른 재료이거나 또는 서로 동일한 재료인 링 구조물
5 5
링 구조물의 제작 방법에 있어서,기판의 표면 또는 광섬유의 코어층의 단면에 1차 금속을 증착하는 단계;상기 증착된 1차 금속의 표면에 비드를 폐쇄 패킹하는 단계;상기 폐쇄 패킹을 통해 배치된 비드들을 식각하는 단계;상기 1차 금속을 비드의 폭만큼 식각하는 단계;상기 비드를 리플로우하여 상기 비드를 옆으로 퍼지도록 하는 단계;상기 리플로우된 비드의 상단과 상기 리플로우를 통해 비드들 사이의 갭만큼 노출된 기판의 표면 또는 광섬유의 코어층에 2차 금속을 증착하는 단계;상기 비드를 제거함으로써 1차 금속과 2차 금속 사이의 나노 사이즈의 갭이 형성된 링 구조물을 추출하는 단계를 포함하고,상기 링 구조물의 중앙에 디스크 형태의 1차 금속이 배치되고, 1차 금속과 2차 금속 사이에 나노 사이즈의 갭만큼의 링이 형성되는 링 구조물의 제작 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 나노 사이즈의 갭은, 상기 비드의 리플로우의 진행 시간에 따라 달라지는 링 구조물의 제작 방법
7 7
제5항에 있어서,상기 나노 사이즈의 갭은, 상기 비드의 리플로우를 통해 상기 비드들 사이의 갭이 감소하는 링 구조물의 제작 방법
8 8
제5항에 있어서,상기 비드의 리플로우의 진행 시간이 증가할수록 상기 나노 사이즈의 갭은 증가하는 링 구조물의 제작 방법
9 9
제5항에 있어서,상기 1차 금속과 2차 금속은 전도성을 가지며, 서로 다른 재료이거나 또는 서로 동일한 재료인 링 구조물의 제작 방법
10 10
링 구조물이 적용된 센서에 있어서,상기 센서는 기판의 표면 또는 광섬유의 단면에 위치한 링 구조물을 통해 측정 대상을 센싱하고,상기 링 구조물은,상기 링 구조물의 중앙에 디스크 형태의 1차 금속이 배치되고,상기 1차 금속에서 나노 사이즈의 갭만큼 이격된 위치에 2차 금속이 배치되며,상기 나노 사이즈의 갭만큼의 폭을 가지는 링이 형성되고,상기 나노 사이즈의 갭은, 링 구조물의 제작 과정에서 사용되는 비드의 리플로우의 진행 시간에 따라 달라지는 센서
11 11
제10항에 있어서,상기 나노 사이즈의 갭은, 링 구조물을 제작할 때 사용되는 비드가 옆으로 흐르는 리플로우의 진행 시간에 따라 달라지는 센서
12 12
제10항에 있어서,비드의 리플로우의 진행 시간이 증가할수록 상기 나노 사이즈의 갭은 증가하는 센서
13 13
제10항에 있어서,상기 1차 금속과 2차 금속은 전도성을 가지며, 서로 다른 재료이거나 또는 서로 동일한 재료인 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 단국대학교 첨단융합기술개발사업/BRIDGE융합연구개발사업 미세유체 칩과 결합된 나노갭 플라즈모닉 기반 광섬유를 이용한 SERS 및 LSPR 멀티 모달 액체생검 센싱 시스템의 개발