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기판;상기 기판 상에 배치된 VCSEL 어레이;상기 VCSEL 어레이로부터 기 설정된 반경 내 배치되어 상기 VCSEL 어레이의 동작을 제어하는 스위치; 및 하우징을 포함하고,상기 VCSEL 어레이는 m개의 행과 n개의 열을 가지고, 각 열마다 병렬로 연결된 VCSEL을 포함하며,상기 VCSEL은,제1 극성 도펀트로 도핑된 제1 기판;상기 제1 기판 상에 위치하며, 복수의 DBR(Distributed Bragg Reflector) 페어를 포함하는 제1 반사부;상기 제1 반사부의 상부에 위치하며, 복수의 DBR 페어를 포함하는 제2 반사부;상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부의 사이에 위치하여, 상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부 중 어느 하나에서 생성된 정공과 나머지 하나에서 생성된 전자가 재결합되는 캐비티층;상기 캐비티층 및 상기 제1 반사부나 상기 제2 반사부 사이에 위치하여, 출력될 레이저의 특성 및 개구부의 직경을 결정하는 산화막층;상기 제2 반사부 상에 코팅되어, 상기 제1 반사부, 상기 제2 반사부, 상기 캐비티층 및 상기 산화막층을 외부로부터 보호하는 절연막;상기 제2 반사부와 전기적으로 연결되어, 상기 제2 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제1 전극; 및상기 제1 기판의 하단에 위치하며, 상기 제1 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제1항에 있어서,상기 스위치는,n개 만큼 포함되는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제1항에 있어서,상기 제1 전극은,각 열에 배치된 VCSEL의 공통전극으로 구현되는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제2항 또는 제3항에 있어서,각 스위치는,상기 제1 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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기판;상기 기판 상에 배치된 VCSEL 어레이;상기 VCSEL 어레이로부터 기 설정된 반경 내 배치되어 상기 VCSEL 어레이의 동작을 제어하는 스위치; 및 하우징을 포함하고,상기 VCSEL 어레이는 m개의 행과 n개의 열을 가지고, 각 열마다 직렬로 연결된 VCSEL을 포함하며,상기 VCSEL은,제1 극성 도펀트로 도핑된 제1 기판;상기 제1 기판 상에 위치하며, 복수의 DBR(Distributed Bragg Reflector) 페어를 포함하는 제1 반사부;상기 제1 반사부의 상부에 위치하며, 복수의 DBR 페어를 포함하는 제2 반사부;상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부의 사이에 위치하여, 상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부 중 어느 하나에서 생성된 정공과 나머지 하나에서 생성된 전자가 재결합되는 캐비티층;상기 캐비티층 및 상기 제1 반사부나 상기 제2 반사부 사이에 위치하여, 출력될 레이저의 특성 및 개구부의 직경을 결정하는 산화막층;상기 제2 반사부 상에 코팅되어, 상기 제1 반사부, 상기 제2 반사부, 상기 캐비티층 및 상기 산화막층을 외부로부터 보호하는 절연막;상기 제2 반사부와 전기적으로 연결되어, 상기 제2 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제1 전극; 및상기 제1 기판의 하단에 위치하며, 상기 제1 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제5항에 있어서,상기 스위치는,n개 만큼 포함되는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제5항에 있어서,상기 제1 전극은,각 열에 배치된 VCSEL의 공통전극으로 구현되는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제6항 또는 제7항에 있어서,상기 스위치는,상기 제1 전극에 와이어본딩되는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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기판;상기 기판 상에 배치된 VCSEL 어레이;상기 VCSEL 어레이로부터 기 설정된 반경 내 배치되어 상기 VCSEL 어레이의 동작을 제어하는 스위치; 및 하우징을 포함하고,상기 VCSEL 어레이는 m개의 행과 n개의 열을 가지고, 각 열마다 병렬로 연결된 VCSEL을 포함하며,상기 VCSEL은,무도핑 기판;상기 무도핑 기판 상에 위치하며, 제1 극성 도펀트로 도핑된 제1 기판;상기 제1 기판 상에 위치하며, 복수의 DBR(Distributed Bragg Reflector) 페어를 포함하는 제1 반사부;상기 제1 반사부의 상부에 위치하며, 복수의 DBR 페어를 포함하는 제2 반사부;상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부의 사이에 위치하여, 상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부 중 어느 하나에서 생성된 정공과 나머지 하나에서 생성된 전자가 재결합되는 캐비티층;상기 캐비티층 및 상기 제1 반사부나 상기 제2 반사부 사이에 위치하여, 출력될 레이저의 특성 및 개구부의 직경을 결정하는 산화막층;상기 제2 반사부와 전기적으로 연결되어, 상기 제2 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제1 전극;상기 제1 기판 상에서 상기 제1 반사부가 위치하지 않은 나머지 영역에 위치하며, 상기 제1 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제2 전극; 및상기 제2 반사부 및 상기 제2 전극 상에 코팅되어, 상기 제1 반사부, 상기 제2 반사부, 상기 캐비티층, 상기 산화막층 및 상기 제2 전극을 외부로부터 보호하는 절연막을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제9항에 있어서,상기 하우징은,단차를 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제10항에 있어서,상기 VCSEL 어레이로부터 출력되는 광의 경로를 변환하며, 상기 단차에 안착되어 지지되는 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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기판;상기 기판 상에 배치된 VCSEL 어레이;상기 VCSEL 어레이로부터 기 설정된 반경 내 배치되어 상기 VCSEL 어레이의 동작을 제어하는 스위치; 및 하우징을 포함하고,상기 VCSEL 어레이는 m개의 행과 n개의 열을 가지고, 각 열마다 직렬로 연결된 VCSEL을 포함하며,상기 VCSEL은,무도핑 기판;상기 무도핑 기판 상에 위치하며, 제1 극성 도펀트로 도핑된 제1 기판;상기 제1 기판 상에 위치하며, 복수의 DBR(Distributed Bragg Reflector) 페어를 포함하는 제1 반사부;상기 제1 반사부의 상부에 위치하며, 복수의 DBR 페어를 포함하는 제2 반사부;상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부의 사이에 위치하여, 상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부 중 어느 하나에서 생성된 정공과 나머지 하나에서 생성된 전자가 재결합되는 캐비티층;상기 캐비티층 및 상기 제1 반사부나 상기 제2 반사부 사이에 위치하여, 출력될 레이저의 특성 및 개구부의 직경을 결정하는 산화막층;상기 제2 반사부와 전기적으로 연결되어, 상기 제2 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제1 전극;상기 제1 기판 상에서 상기 제1 반사부가 위치하지 않은 나머지 영역에 위치하며, 상기 제1 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제2 전극; 및상기 제2 반사부 및 상기 제2 전극 상에 코팅되어, 상기 제1 반사부, 상기 제2 반사부, 상기 캐비티층, 상기 산화막층 및 상기 제2 전극을 외부로부터 보호하는 절연막을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제12항에 있어서,상기 제2 반사부는,상기 제1 반사부와 다른 극성 도펀트로 도핑된 반도체층으로 구현되는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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제12항에 있어서,상기 절연막은,상기 상기 제2 반사부와 상기 제1 전극이 전기적으로 연결될 수 있도록 제1 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 패키지
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