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VCSEL 어레이에 있어서,m개의 행과 n개의 열을 가지고, 각 열마다 병렬 또는 직렬로 연결된 VCSEL을 포함하며,상기 VCSEL은,제1 극성 도펀트로 도핑된 제1 기판;상기 제1 기판 상에 위치하며, 복수의 DBR(Distributed Bragg Reflector) 페어를 포함하는 제1 반사부;상기 제1 반사부의 상부에 위치하며, 복수의 DBR 페어를 포함하는 제2 반사부;상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부의 사이에 위치하여, 상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부 중 어느 하나에서 생성된 정공과 나머지 하나에서 생성된 전자가 재결합되는 캐비티층;상기 캐비티층 및 상기 제1 반사부나 상기 제2 반사부 사이에 위치하여, 출력될 레이저의 특성 및 개구부의 직경을 결정하는 산화막층;상기 제2 반사부 상에 코팅되어, 상기 제1 반사부, 상기 제2 반사부, 상기 캐비티층 및 상기 산화막층을 외부로부터 보호하는 절연막;상기 제2 반사부와 전기적으로 연결되어, 상기 제2 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제1 전극; 및상기 제1 기판의 하단에 위치하며, 상기 제1 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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제1항에 있어서,상기 제2 반사부는,상기 제1 반사부와 다른 극성 도펀트로 도핑된 반도체층으로 구현되는 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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제1항에 있어서,상기 절연막은,상기 상기 제2 반사부와 상기 제1 전극이 전기적으로 연결될 수 있도록 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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제2항에 있어서,상기 제1 기판은,n형 도펀트로 도핑된 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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제2항에 있어서,상기 제1 기판은,p형 도펀트로 도핑된 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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VCSEL 어레이에 있어서,m개의 행과 n개의 열을 가지고, 각 열마다 병렬 또는 직렬로 연결된 VCSEL을 포함하며,상기 VCSEL은,무도핑 기판;상기 무도핑 기판 상에 위치하며, 제1 극성 도펀트로 도핑된 제1 기판;상기 제1 기판 상에 위치하며, 복수의 DBR(Distributed Bragg Reflector) 페어를 포함하는 제1 반사부;상기 제1 반사부의 상부에 위치하며, 복수의 DBR 페어를 포함하는 제2 반사부;상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부의 사이에 위치하여, 상기 제1 반사부 및 상기 제2 반사부 중 어느 하나에서 생성된 정공과 나머지 하나에서 생성된 전자가 재결합되는 캐비티층;상기 캐비티층 및 상기 제1 반사부나 상기 제2 반사부 사이에 위치하여, 출력될 레이저의 특성 및 개구부의 직경을 결정하는 산화막층;상기 제2 반사부와 전기적으로 연결되어, 상기 제2 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제1 전극;상기 제1 기판 상에서 상기 제1 반사부가 위치하지 않은 나머지 영역에 위치하며, 상기 제1 반사부로 전원이 공급될 수 있도록 하는 제2 전극; 및상기 제2 반사부 및 상기 제2 전극 상에 코팅되어, 상기 제1 반사부, 상기 제2 반사부, 상기 캐비티층, 상기 산화막층 및 상기 제2 전극을 외부로부터 보호하는 절연막을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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제6항에 있어서,상기 절연막은,상기 상기 제2 반사부와 상기 제1 전극이 전기적으로 연결될 수 있도록 제1 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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제7항에 있어서,상기 절연막은,상기 제2 전극이 외부로 드러날 수 있도록 하는 제2 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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제6항에 있어서,기 설정된 열의 VCSEL은 인접한 다른 열의 VCSEL과 격리(Isolation)되어 있는 것을 특징으로 하는 VCSEL 어레이
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