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내부에 반도체 원료를 장입하고 상기 반도체 원료를 용융하는 밀폐구조의 도가니;상기 도가니의 외부를 감싸는 구조이고 유도전류로 가열되며, 하단에 전극이 구비되어 전력이 인가되는 도체 발열체; 및상기 도체 발열체의 측면을 둘러싸고 상기 도체 발열체를 가열하는 가열코일을 포함하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제1항에 있어서,상기 도가니는 이리듐 재질인 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제1항에 있어서,상기 도체 발열체는 그라파이트 재질인 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제1항에 있어서,상기 도체 발열체는 상기 도가니 두께의 2배 이상의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제1항에 있어서,상기 도체 발열체는 밑면과 측면의 두께가 같은 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제1항에 있어서, 상기 도가니는 도가니 내부와 외부를 관통하며 세워진 슬릿을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제6항에 있어서, 상기 도체 발열체는 상부의 상기 슬릿 위치에 개구를 구비한 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제7항에 있어서,상기 슬릿과 상기 개구는 상기 도가니의 중앙에 위치한 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제1항에 있어서,상기 전극은 평행하게 배열된 한 쌍의 선형 전극인 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제1항에 있어서, 상기 전극은 병렬로 연결된 다수의 전극인 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제1항에 있어서,상기 도가니와 상기 도체 발열체는 탈착식인 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제11항에 있어서, 상기 도체 발열체는 덮개를 가진 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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제12항에 있어서,상기 덮개는 이리듐 소재인 것을 특징으로 하는 EFG용 잉곳 성장장치
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