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연마제,철 이온을 갖는 단분자를 포함하는 촉매,연마 억제제, 및산화제를 포함하는 구리 연마용 슬러리
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제 1 항에서,상기 촉매는, 시안화철, 질화철, 시트르산철, 염화철, 황산철, 옥살산철, 브롬화철, 및 인산철로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 구리 연마용 슬러리
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제 1 항에서, 상기 연마 억제제는, 하나의 리간드를 가지고 금속 이온과 결합할 수 있는 물질인 구리 연마용 슬러리
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제 3 항에서,상기 연마 억제제는, 아르기닌(arginine), 에틸렌디아민테트라아세트 산(ethylenediaminetetraacetic acid, EDTA), 글리신(glycine), 시트르산(citric acid), 디에틸렌트리아민펜타메틸렌포스폰 산(diethylenetriaminepentamethylenephosphonic acid, DTPMPA), 1-히드록시에틸리덴-1(1-Hydroxy Ethylidene-1), 및 1-디포스폰산(1-diphosphonic acid)으로부터 선택되는 적어도 하나인 구리 연마용 슬러리
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제 1 항에서,상기 산화제는, 과산화수소, 과산화황산암모늄(ammonium persulfate), 과산화벤조일(benzoyl peroxide), 과산화칼슘(calcium peroxide), 과산화바륨(barium peroxide), 및 과산화나트륨(sodium peroxide)으로부터 선택되는 적어도 하나인 구리 연마용 슬러리
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제 1 항에서,상기 연마제는 실리카(silica), 지르코니아(zirconia), 알루미나(alumina), 세리아(ceria), 및 티타니아(titania)로부터 선택되는 적어도 하나인 구리 연마용 슬러리
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제 1 항에서,상기 촉매와 상기 산화제는 반응하여 수산화 라디칼을 발생시키는 구리 연마용 슬러리
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8
제 1 항에서,상기 구리 연마용 슬러리의 pH는 8 내지 10인 구리 연마용 슬러리
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제 1 항에서,상기 촉매의 함량은 상기 구리 연마용 슬러리 전체 중량을 기준으로 0
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제 1 항에서,상기 산화제의 함량은 상기 구리 연마용 슬러리 전체 중량을 기준으로 0
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11
제 1 항에서,상기 연마 억제제의 함량은 상기 구리 연마용 슬러리 전체 중량을 기준으로 0
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기판,상기 기판 위에 위치하는 제1 층간 절연막, 그리고상기 제1 층간 절연막 위에 위치하는 적어도 하나의 제1 신호선 및 제1 측벽 절연막을 포함하고,상기 제1 측벽 절연막은, 상기 적어도 하나의 제1 신호선 사이에 위치하고,상기 기판의 표면과 수직을 이루는 제1 방향을 따라 상기 기판의 표면으로부터 상기 적어도 하나의 제1 신호선의 표면까지 측정한 높이는, 상기 기판의 표면과 수직을 이루는 제1 방향을 따라 상기 기판의 표면으로부터 상기 제1 측벽 절연막의 표면까지 측정한 높이와 동일한 표시 장치
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제 12 항에서,상기 적어도 하나의 제1 신호선은 구리(Cu)를 포함하는 표시 장치
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제 12 항에서,상기 적어도 하나의 제1 신호선의 표면과, 상기 제1 측벽 절연막의 표면은 연마된 표면인 표시 장치
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제 12 항에서,상기 적어도 하나의 제1 신호선에서, 상기 제1 신호선의 하면과, 상기 제1 신호선의 측면이 이루는 각도는 90도 이상인 표시 장치
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제 12 항에서,상기 제1 층간 절연막은, 실리콘 산화물 및 실리콘 질화물 중 어느 하나 이상을 포함하는 표시 장치
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제 12 항에서,상기 적어도 하나의 제1 신호선과 상기 제1 측벽 절연막 위에 위치하는 제2 층간 절연막, 및상기 제2 층간 절연막 위에 위치하는 적어도 하나의 제2 신호선 및 제2 측벽 절연막을 더 포함하고,상기 제2 측벽 절연막은, 상기 적어도 하나의 제2 신호선 사이에 위치하고,상기 기판의 표면과 수직을 이루는 제1 방향을 따라 상기 기판의 표면으로부터 상기 적어도 하나의 제2 신호선의 표면까지 측정한 높이는, 상기 기판의 표면과 수직을 이루는 제1 방향을 따라 상기 기판의 표면으로부터 상기 제2 측벽 절연막의 표면까지 측정한 높이와 동일한 표시 장치
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제 17 항에서,상기 적어도 하나의 제2 신호선은 구리(Cu)를 포함하는 표시 장치
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제 17 항에서,상기 적어도 하나의 제2 신호선의 표면과, 상기 제2 측벽 절연막의 표면은 연마된 표면인 표시 장치
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제 17 항에서,상기 적어도 하나의 제2 신호선에서, 상기 제2 신호선의 하면과, 상기 제2 신호선의 측면이 이루는 각도는 90도 이상인 표시 장치
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기판 위에 제1 층간 절연막을 형성하는 단계,상기 제1 층간 절연막 위에, 적어도 하나의 함몰부를 포함하는 제1 측벽 절연막을 형성하는 단계,상기 제1 층간 절연막 및 상기 제1 측벽 절연막 위에, 적어도 하나의 함몰부를 덮도록 제1 도전층을 형성하는 단계,상기 제1 도전층과 상기 제1 측벽 절연막을 연마하여 적어도 하나의 제1 신호선을 형성하는 단계를 포함하고,상기 기판의 표면과 수직을 이루는 제1 방향을 따라 상기 기판의 표면으로부터 상기 적어도 하나의 제1 신호선의 표면까지 측정한 높이는, 상기 기판의 표면과 수직을 이루는 제1 방향을 따라 상기 기판의 표면으로부터 상기 제1 측벽 절연막의 표면까지 측정한 높이와 동일한 표시 장치의 제조 방법
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제 21 항에서,상기 적어도 하나의 제1 신호선은 구리(Cu)를 포함하고,상기 제1 도전층 상부를 연마하는 단계는, 연마제, 철 이온을 갖는 단분자를 포함하는 촉매, 연마 억제제, 및 산화제를 포함하는 구리 연마용 슬러리를 이용하여 이루어지는 표시 장치의 제조 방법
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제 22 항에서,상기 제1 층간 절연막의 표면을 평탄화 하는 단계를 더 포함하고,상기 제1 층간 절연막의 표면을 평탄화하는 단계는, 상기 구리 연마용 슬러리를 이용하지 않는 표시 장치의 제조 방법
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제 21 항에서,상기 제1 도전층 상부를 연마하는 단계에 의해, 상기 적어도 하나의 신호선과, 상기 제1 측벽 절연막의 표면이 연마되는 표시 장치의 제조 방법
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제 21 항에서,상기 적어도 하나의 제1 신호선과, 상기 제1 측벽 절연막 상에 제2 층간 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 제2 층간 절연막을 형성하는 단계는 추가의 평탄화 공정을 포함하지 않는 표시 장치의 제조 방법
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제 25 항에서,상기 제2 층간 절연막 위에, 적어도 하나의 함몰부를 포함하는 제2 측벽 절연막을 형성하는 단계, 및상기 제2 층간 절연막 및 상기 제2 측벽 절연막 위에, 적어도 하나의 함몰부를 덮도록 제2 도전층을 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 제2 도전층 상부를 연마하여 적어도 하나의 제2 신호선을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 기판의 표면과 수직을 이루는 제1 방향을 따라 상기 기판의 표면으로부터 상기 적어도 하나의 제2 신호선의 표면까지 측정한 높이는, 상기 기판의 표면과 수직을 이루는 제1 방향을 따라 상기 기판의 표면으로부터 상기 제2 측벽 절연막의 표면까지 측정한 높이와 동일한 표시 장치의 제조 방법
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제 26 항에서,상기 적어도 하나의 제2 신호선은 구리(Cu)를 포함하고,상기 제2 도전층 상부를 연마하는 단계는, 연마제, 철 이온을 갖는 단분자를 포함하는 촉매, 연마 억제제, 및 산화제를 포함하는 구리 연마용 슬러리를 이용하여 이루어지는 표시 장치의 제조 방법
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제 26 항에서,상기 제2 도전층 상부를 연마하는 단계에 의해, 상기 적어도 하나의 신호선과, 상기 제2 측벽 절연막의 표면이 연마되는 표시 장치의 제조 방법
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