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1
표면 프로파일을 가지는 센싱 패턴을 포함하는, 센싱 패턴층; 및상기 센싱 패턴을 덮는, 전도층;을 포함하되,상기 센싱 패턴층의 센싱 패턴은,복수의 볼록부와 오목부가 교번하는 상기 표면 프로파일을 가지고,압력 센싱 시에, 상기 표면 프로파일은, 접촉 면적이 증가하는, 압력 센서
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2 |
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제1 항에 있어서,상기 센싱 패턴층의 센싱 패턴은, 일정한 패턴 폭으로, 상기 센싱 패턴층의 중심을 향하여 나선형으로 연장하거나,또는, 상기 센싱 패턴층의 센싱 패턴은, 복수의 동심원을 포함하되, 상기 복수의 동심원은, 원 중심에서 원주 방향으로 반경이 점차 증가하되, 상기 원 중심에서 상기 반경 방향으로 일정한 패턴 폭을 가지거나,또는, 상기 센싱 패턴층의 센싱 패턴은, 일 측에서 타 측으로 감소하는 패턴 폭을 가지는, 압력 센서
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3 |
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제1 항에 있어서, 상기 볼록부는, 상측의 폭이 하측의 폭보다 좁고, 경사를 가지되,상기 압력 센싱 시에, 상기 볼록부는, 상기 오목부를 향하여 눕되, 상기 센싱 패턴층의 중심을 향하여 눕는, 압력 센서
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제1 항에 있어서, 1
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제1 항에 있어서, 상기 센싱 패턴층은, 유연성 고분자 물질로 이루어지되,상기 유연성 고분자 물질은, 폴리디메틸실록산(PDMS, polydimethylsiloxane)을 포함하고,상기 전도층은, 전도성 고분자 물질로 이루어지되,상기 전도성 고분자 물질은, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜) 폴리스티렌 설포네이트(PEDOT:PSS, poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate)를 포함하는, 압력 센서
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소정 형상을 가지는, 패턴 틀을 준비하는 단계;유연성 고분자 물질에, 상기 패턴 틀을 접촉시켜, 상기 소정 형상의 역상 표면 프로파일을 가지는 센싱 패턴을 포함하는, 센싱 패턴층을 형성하는 단계; 및상기 센싱 패턴층 상에 전도성 고분자 물질을 제공하여, 상기 센싱 패턴을 덮는, 전도층을 형성하는 단계;를 포함하되,상기 센싱 패턴층을 형성하는 단계에서, 상기 센싱 패턴은,복수의 볼록부와 오목부가 교번하는 상기 표면 프로파일을 가지고,압력 센싱 시에, 상기 표면 프로파일은, 접촉 면적이 증가하는, 압력 센서 제조방법
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7
제6 항에 있어서, 상기 패턴 틀을 준비하는 단계는,프린팅 소스를 준비하는 단계;3차원 프린터의 재료 수용부에, 상기 프린팅 소스를 제공하고, 상기 3차원 프린터의 노즐을 통하여, 상기 재료 수용부에 수용된 상기 프린팅 소스를 3차원으로 프린팅하여, 3차원 구조의 베이스 패턴 틀을 제조하는 단계; 및상기 베이스 패턴 틀을 소정 온도에서 소정 시간으로 가압하여, 평면적 형상의 상기 패턴 틀을 제조하는 단계;를 포함하되,상기 센싱 패턴 틀을 제조하는 단계에서, 상기 패턴 틀은,복수의 볼록부와 오목부가 교번하는 상기 소정 형상을 가지는, 압력 센서 제조방법
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8
제7 항에 있어서,상기 베이스 패턴 틀을 제조하는 단계에서, 상기 베이스 패턴 틀은, 원뿔 형상 또는 돔 형상 중에서 선택되는 어느 하나의 형상으로 제조되고,상기 베이스 패턴 틀을 이루는 각 층은, 높이가 조절되되,상기 베이스 패턴 틀의 각 층의 높이는, 0
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9
제7 항에 있어서, 상기 패턴 틀을 제조하는 단계에서, 상기 소정 온도의 범위는, 상기 프린팅 소스의 유리 전이 온도 이상 이되, 상기 소정 온도는, 110 ℃ 이상 내지 130 ℃ 이하이고,상기 소정 시간의 범위는,30 초 이상 내지 60 초 이하이고,상기 가압의 범위는, 1 kg 이상 내지 3 kg 이하인, 압력 센서 제조방법
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10
제9 항에 있어서, 상기 패턴 틀을 제조하는 단계는,상기 베이스 패턴 틀을 상기 가압한 상태에서, 상기 유리 전이 온도 미만으로 냉각시키는 단계를 더 포함하고, 상기 패턴 틀을 제조하는 단계에서, 상기 가압 전의 베이스 패턴 틀의 각 층의 높이와, 상기 가압 후의 패턴 틀의 패턴 폭은, 일정하게 유지되는, 압력 센서 제조방법
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11
제7 항에 있어서, 상기 프린팅 소스를 준비하는 단계에서, 상기 프린팅 소스는, 생분해성 플라스틱이되,상기 생분해성 플라스틱은 폴리젖산(PLA: polylactic acid)을 포함하는, 압력 센서 제조방법
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제6 항에 있어서,상기 센싱 패턴층을 형성하는 단계의 상기 표면 프로파일에서, 인접한 볼록부 사이의 거리는, 상기 패턴 틀의 패턴 폭과 동일한, 압력 센서 제조방법
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13
제6 항에 있어서, 상기 센싱 패턴층을 형성하는 단계에서, 상기 유연성 고분자 물질은, 액상으로 제공되되,상기 액상의 유연성 고분자 물질은, 상기 패턴 틀의 소정 형상에 밀착 접촉되어, 상기 복수의 볼록부 및 오목부가 교번하며, 상기 소정 형상의 역상 표면 프로파일을 가지는 상기 센싱 패턴을 형성하는, 압력 센서 제조방법
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제13 항에 있어서, 상기 센싱 패턴층을 형성하는 단계는, 진공 분위기에서 수행되는, 압력 센서 제조방법
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