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불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟으로,상기 스퍼터링 타겟은상기 불소고분자 타겟;상기 백킹플레이트;상기 백킹플레이트 상부의 불소고분자 타겟에서 플라즈마가 발생하지 않는 중앙을 체결하는 고정장치인 중앙부 나사;상기 백킹플레이트 상부의 불소고분자 타겟에서 플라즈마가 발생하지 않는 가장자리에 설치된 나사 구멍이 구비된 가장자리 가이드; 및상기 나사 구멍이 구비된 가이드 상부에 설치되고, 상기 가이드 나사 구멍을 통과하여 상기 불소고분자 타겟의 가장자리를 체결하는 고정장치인 외곽부 나사;를 포함하고상기 스퍼터링 타겟은 상기 중앙부 나사 및 상기 외곽부 나사로 상기 불소고분자 타겟의 중앙과 가장자리를 각각 체결하여 상기 불소고분자 타겟을 상기 백킹플레이트에 물리적 접합하여 형성되며,상기 스퍼터링 타겟의 상기 불소고분자 타겟과 상기 백킹플레이트를 재사용할 수 있고, 상기 불소고분자 타겟의 접합비용을 최소화하고, 상기 불소고분자 타겟 접합시 밀착성이 증진되어, 상기 불소고분자 타겟의 열변형에 의한 상기 불소고분자 타겟의 분리를 방지하여, 장시간 안정적인 스퍼터링 공정이 가능한 것을 특징으로 하는불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 1 항에 있어서,상기 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟의 형상은 원형, 사각형, 다각형, 마름모형, 및 타원형으로 이루어진 형상에서 하나 이상 선택된 형상인 것을 특징으로 하는 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 1 항에 있어서,상기 불소고분자 타겟은 하기 화학식 1의 Polytetrafluoroethylene(PTFE), 화학식 2의 Fluorinated ethylene-propylene(FEP), 화학식 3의 Polyvinilidene fluoride(PVDF), 화학식 4의 Perfluorinated benzene(PFB), 화학식 5의 Teflon AF, 화학식 6의 Cytop, 또는 화학식 7의 Perfluoroalkoxy alkanes(PFA)을 포함하는 것을 특징으로 하는불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 1 항에 있어서,상기 불소고분자 타겟(20)은 전도성 입자, 전도성 고분자 및 금속으로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 도전성의 기능화제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 4 항에 있어서,상기 전도성 입자는 활성탄소, 카본블랙, 카본나노튜브, 그래핀, 및 카본화이버로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 4 항에 있어서,상기 전도성 고분자는 폴리아세틸렌, 폴리피롤, 폴리머릭 설퍼 나이트라이드(SN)x, 및 구리 도금 폴리스테렌으로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 4 항에 있어서,상기 금속은 구리, 니켈, 아연, 은, 팔라듐, 및 코발트로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 1 항에 있어서,상기 중앙부 나사의 형상은 원형, 사각형, 다각형, 마름모형, 및 타원형으로 이루어진 형상에서 하나 이상 선택된 형상이고, 직경은 2 ~ 200 mm 이고, 길이는 2 ~ 200 mm 이며,상기 외곽부 나사의 형상은 원형, 사각형, 다각형, 마름모형, 및 타원형으로 이루어진 형상에서 하나 이상 선택된 형상이고, 직경은 2 ~ 200 mm 이고, 길이는 2 ~ 200 mm 인 것을 특징으로 하는 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 1 항에 있어서,상기 가장자리 가이드의 소재는 금속, 플라스틱, 및 세라믹으로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 1 항에 있어서,상기 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟은상기 백킹플레이트 상부의 불소고분자 타겟에서 플라즈마가 발생하지 않는 중앙에 설치된 상기 중앙부 나사의 나사 구멍이 구비된 중앙부 가이드를 더 포함하고,상기 중앙부 나사는 상기 중앙부 가이드 나사 구멍을 통과하여 상기 불소고분자 타겟의 중앙을 체결하는 것을 특징으로 하는불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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제 10 항에 있어서,상기 중앙부 가이드의 소재는 금속, 플라스틱, 및 세라믹으로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합을 위한 고정장치가 구비된 스퍼터링 타겟
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스퍼터링 타겟의 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 물리적 접합방법으로,상기 백킹플레이트 상부의 불소고분자 타겟에서 플라즈마가 발생하지 않는 가장자리에 나사 구멍이 구비된 가장자리 가이드를 설치하는 단계;상기 백킹플레이트 상부의 불소고분자 타겟에서 플라즈마가 발생하지 않는 중앙을 고정장치인 중앙부 나사로 체결하는 단계; 및상기 가장자리 가이드의 나사 구멍을 통과하여 상기 불소고분자 타겟의 가장자리를 고정장치인 외곽부 나사로 체결하여 스퍼터링 타겟을 형성하는 단계;를 포함하고상기 스퍼터링 타겟은 상기 중앙부 나사 및 상기 외곽부 나사로 상기 불소고분자 타겟의 중앙과 가장자리를 각각 체결하여 상기 불소고분자 타겟을 상기 백킹플레이트에 물리적 접합하여 형성되며,상기 스퍼터링 타겟의 상기 불소고분자 타겟과 상기 백킹플레이트를 재사용할 수 있고, 상기 불소고분자 타겟의 접합비용을 최소화하고, 상기 불소고분자 타겟 접합시 밀착성이 증진되어, 상기 불소고분자 타겟의 열변형에 의한 상기 불소고분자 타겟의 분리를 방지하여, 장시간 안정적인 스퍼터링 공정이 가능한 것을 특징으로 하는스퍼터링 타겟의 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 접합방법
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제 12 항에 있어서,상기 스퍼터링 타겟의 형상은 원형, 사각형, 다각형, 마름모형, 및 타원형으로 이루어진 형상에서 하나 이상 선택된 형상인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟의 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 접합방법
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제 12 항에 있어서,상기 중앙부 나사의 형상은 원형, 사각형, 다각형, 마름모형, 및 타원형으로 이루어진 형상에서 하나 이상 선택된 형상이고, 직경은 2 ~ 200 mm 이고, 길이는 2 ~ 200 mm 이며,상기 외곽부 나사의 형상은 원형, 사각형, 다각형, 마름모형, 및 타원형으로 이루어진 형상에서 하나 이상 선택된 형상이고, 직경은 2 ~ 200 mm 이고, 길이는 2 ~ 200 mm 인 것을 특징으로 하는스퍼터링 타겟의 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 접합방법
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제 12 항에 있어서,상기 스퍼터링 타겟의 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 접합방법은상기 백킹플레이트 상부의 불소고분자 타겟에서 플라즈마가 발생하지 않는 중앙에 설치된 상기 중앙부 나사의 나사 구멍이 구비된 중앙부 가이드를 더 포함하고,상기 중앙부 나사는 상기 중앙부 가이드 나사 구멍을 통과하여 상기 불소고분자 타겟의 중앙을 체결하는 것을 특징으로 하는스퍼터링 타겟의 불소고분자 타겟과 백킹플레이트의 접합방법
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