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신규한 다성분계 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법

  • 기술번호 : KST2023006350
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 화학기상증착 또는 용액공정을 통하여 박막을 제조함에 있어, 열적 안정성과 휘발성이 개선되고, 낮은 온도에서 쉽게 양질의 삼원계 금속 박막, 삼원계 금속 산화물 박막 또는 삼원계 금속 칼코겐 박막을 제조할 수 있는 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL C07F 19/00 (2006.01.01) C23C 18/12 (2006.01.01) C23C 18/08 (2006.01.01)
CPC C07F 19/00(2013.01) C23C 18/1204(2013.01) C23C 18/08(2013.01)
출원번호/일자 1020220039694 (2022.03.30)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-2570721-0000 (2023.08.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20230825) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.03.30)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창균 대전광역시 유성구
2 신선영 대전광역시 유성구
3 신로사 대전광역시 유성구
4 정택모 대전광역시 유성구
5 임종선 대전광역시 유성구
6 송우석 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 공간 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 ***, *층(둔산 *동, 산업은행B/D)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2022-0343151-38
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2023.01.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2023.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2023-0107427-00
4 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination
2023.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2023-0187651-74
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2023.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2023-0063180-11
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2023.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0323389-10
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2023.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2023-0544033-08
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2023.05.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2023-0544055-02
9 등록결정서
Decision to grant
2023.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0750737-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 [화학식 A] 또는 [화학식 B]로 표시되는 유기 금속 화합물
2 2
제1항에 있어서,상기 A1 및 A2는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, P+(R1R2R3R4) 인 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
3 3
제2항에 있어서,상기 R1 내지 R4는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, 치환 또는 비치환의 C6-C20의 아릴기; 및 치환 또는 비치환의 C2-C20의 헤테로아릴기; 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
4 4
제3항에 있어서,상기 R1 내지 R4는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
5 5
제1항에 있어서,상기 M은 Ni, Co, Fe, Ru, Rh, Pd, Os, Ir 및 Pt 중에서 선택되는 어느 하나의 금속 원소인 것을 특징으로 하는 유기 금속 화합물
6 6
제1항 내지 제5항 중에서 선택되는 어느 하나의 유기 금속 화합물을 금속 전구체로 이용하여 금속 칼코겐 박막을 제조하는 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 금속 칼코겐 박막을 제조하는 공정은 용액 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 금속 칼코겐 박막을 제조하는 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 금속 칼코겐 박막은 금속 디칼코겐 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코겐 박막을 제조하는 방법
9 9
제1항 내지 제5항 중에서 선택되는 어느 하나의 유기 금속 화합물을 포함하는 용액공정용 조성물
10 10
제9항에 있어서,상기 조성물은 유기 용매를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 용액공정용 조성물
11 11
하기 화합물 M로 표시되는 할로겐화 금속 화합물; 하기 화합물 C1로 표시되는 몰리브덴 칼코겐화물; 및 화합물 C2로 표시되는 텅스텐 칼코겐화물;을 각각 반응물로 사용하여 화학식 A 또는 화학식 B로 표시되는 유기 금속 화합물을 제조하는 것을 특징으로 하는, 화학식 A 또는 화학식 B로 표시되는 유기 금속 화합물의 제조방법에 있어서, 상기 화합물 M로 표시되는 할로겐화 금속 화합물;과 상기 화합물 C1로 표시되는 몰리브덴 칼코겐화물; 및 화합물 C2로 표시되는 텅스텐 칼코겐화물;의 반응이후에 얻어진 복합 착물을 , A1 및 A2를 포함하는 염; 또는 B를 포함하는 염;과 반응시켜 양이 온 교환반응이 이루어짐으로써, 상기 화학식 A 또는 화학식 B로 표시되는 화합물이 얻어지는 것을 특징으로 하는, 청구항 1의 화학식 A 또는 화학식 B로 표 시되는 유기 금속 화합물의 제조방법
12 12
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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2 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원(R&D) IoT 디바이스용 화학소재 기술