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반도체 강관 장비에 고정된 파이프의 내부 표면을 연마하기 위해 상기 파이프의 내부로 삽입되는 전선에 구비되는 전극의 위치를 측정하기 위한 파이프 내부 연마용 전극 위치 측정장치에 있어서,상기 파이프와 인접하게 배치되며 투명재질의 더미용 파이프;상기 더미용 파이프의 내부로 삽입되는 더미용 전선에 구비되는 더미용 전극;상기 전극이 구비되는 전선 및 상기 더미용 전극이 구비되는 상기 더미용 전선이 양단에 감긴 보빈; 및상기 보빈에 감긴 상기 전선 및 상기 더미용 전선을 상기 파이프 및 더미용 파이프의 내부로 공급하기 위해 상기 보빈을 회전시키는 보빈 회전수단을 포함하되,상기 보빈이 회전 시 상기 더미용 파이프의 내부로 삽입되는 더미용 전선의 끝단에 구비되는 상기 더미용 전극의 위치를 통해 상기 파이프의 내부로 삽입되는 전극의 위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 파이프 내부 연마용 전극 위치 측정장치
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청구항 1에 있어서,상기 파이프와 상기 더미용 파이프는 동일한 길이와 직경을 가지며,상기 전선과 상기 더미용 전선은 상기 파이프와 상기 더미용 파이프의 일측에서 내부로 삽입되고,상기 파이프와 상기 더미용 파이프의 내부로 공급되는 전해액은 상기 파이프와 상기 더미용 파이프의 타측에서 공급되며,상기 전극과 상기 더미용 전극은 동일한 크기와 무게를 가지는 것을 특징으로 하는 파이프 내부 연마용 전극 위치 측정장치
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청구항 1에 있어서,상기 보빈은 원통형상을 가지고, 상기 보빈은 상기 보빈 회전수단과 회전축에 의해 연결되어 상기 회전축을 중심으로 회전하며,상기 보빈 회전수단은 상기 보빈을 상기 전선 및 상기 더미용 전선이 감긴 방향의 반대방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 파이프 내부 연마용 전극 위치 측정장치
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청구항 1에 있어서,상기 파이프 및 상기 더미용 파이프와 이격되게 구비되며, 상기 파이프 및 상기 더미용 파이프의 내부로 공급되는 상기 전극 및 상기 더미용 전극의 위치를 상기 파이프 및 상기 더미용 파이프의 외측에서 측정하는 센서부를 더 포함하는 파이프 내부 연마용 전극 위치 측정장치
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청구항 4에 있어서,상기 보빈에 감긴 상기 전선과 연결되며 상기 전선에 음극 전압을 인가하는 전압 인가수단을 더 포함하는 파이프 내부 연마용 전극 위치 측정장치
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