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이종금속 칼코게나이드 박막형성을 위한 용액공정용 조성물, 및 이를 이용한 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2023007240
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다성분계 유기 금속 화합물을 포함하는, 이종금속 칼코게나이드 박막형성을 위한 용액공정용 조성물에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 용액공정을 통하여 박막을 제조함에 있어, 열적 안정성과 낮은 온도에서 쉽게 양질의 이종금속 칼코겐화물 박막을 제조할 수 있는 다성분계 유기 금속 화합물을 포함하는 용액공정용 조성물 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL C23C 18/12 (2006.01.01) C23C 18/04 (2006.01.01) G01J 1/42 (2006.01.01) H01L 31/09 (2006.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01)
CPC C23C 18/1204(2013.01) C23C 18/04(2013.01) G01J 1/42(2013.01) H01L 31/09(2013.01) H01L 31/0321(2013.01)
출원번호/일자 1020220112847 (2022.09.06)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-2573398-0000 (2023.08.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20230830) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.09.06)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송우석 대전광역시 유성구
2 송다솜 대전광역시 유성구
3 김창균 대전광역시 유성구
4 이선숙 대전광역시 유성구
5 안기석 대전광역시 유성구
6 임종선 대전광역시 유성구
7 명성 대전광역시 유성구
8 임순민 대전광역시 유성구
9 지슬기 대전광역시 유성구
10 신로사 대전광역시 유성구
11 전혜윤 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 공간 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 ***, *층(둔산 *동, 산업은행B/D)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2022-0938807-70
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2023.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2023-0106934-68
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2023.02.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2023.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2023-0063078-62
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2023.04.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0317643-16
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2023.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2023-0423605-54
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2023.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2023-0423617-02
8 등록결정서
Decision to grant
2023.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0753934-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 [화학식 A] 또는 [화학식 B]로 표시되는 유기 금속 화합물을 포함하는, 이종금속 칼코게나이드 박막형성을 위한 용액공정용 조성물
2 2
제1항에 있어서,상기 A1 및 A2는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, P+(R1R2R3R4) 인 것을 특징으로 하는 용액 공정용 조성물
3 3
제2항에 있어서,상기 R1 내지 R4는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, 치환 또는 비치환의 C6-C20의 아릴기; 및 치환 또는 비치환의 C2-C20의 헤테로아릴기; 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 용액 공정용 조성물
4 4
제3항에 있어서,상기 R1 내지 R4는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 용액 공정용 조성물
5 5
제1항에 있어서,상기 M은 Ni, Co, Fe, Ru, Rh, Pd, Os, Ir 및 Pt 중에서 선택되는 어느 하나의 금속 원소인 것을 특징으로 하는 용액 공정용 조성물
6 6
제1항에 있어서,상기 용액 공정용 조성물은 유기 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 공정용 조성물
7 7
제6항에 있어서,전체 조성물을 기준으로, 상기 [화학식 A] 또는 [화학식 B]로 표시되는 유기 금속 화합물을 0
8 8
(a) 제1항 내지 제7항 중에서 선택되는 어느 하나의 용액 공정용 조성물을 기판에 코팅하는 단계; 및(b) 상기 용액 공정용 조성물이 코팅된 기판을 열처리 또는 외부의 에너지를 인가하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 (b) 단계에서, 상기 열처리 하는 단계는 300 내지 700 ℃의 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 이종금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
10 10
제8항에 있어서,상기 (a) 단계 이전에, 상기 기판은 기판의 표면을 친수성 처리한 것을 특징으로 하는 이종금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
11 11
제8항에 따른 이종금속 칼코게나이드 박막의 제조방법에 의해 제조된, 이종금속 칼코게나이드 박막
12 12
제11항의 이종금속 칼코게나이드 박막을 포함하는 광센서
13 13
제11항의 이종금속 칼코게나이드 박막을 포함하는 전자 소자(electronic device)
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국화학연구원 나노소재기술개발 원자레벨 커스터마이징을 통한 파장선택형 2차원 삼원계 반데르발스 층상소재 개발
2 과학기술정보통신부 한국화학연구원 미래소재디스커버리지원 반데르발스 소재 박막 형성용 단일원 전구체 및 금속 전구체 합성 기술 개발
3 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원(소부장회계) IoT 디바이스용 화학소재 기술