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센서 내 구조물들 간의 간격을 형성하기 위한 장치에 있어서,질량체 전극(mass electrode)을 구비하는 질량체 구조물(mass structure);상기 질량체 구조물의 움직임에 대하여 복원력을 제공하는 제1 탄성체;상기 제1 탄성체를 고정하는 제1 앵커(anchor);상기 질량체 전극과 이격되어 배치되는 카운터 전극(counter electrode);상기 카운터 전극의 움직임에 대하여 복원력을 제공하는 제2 탄성체;상기 제2 탄성체를 고정하는 제2 앵커; 및구동력에 의한 상기 카운터 전극의 이동을 제한하기 위한 이동 제한부를 포함하는 장치
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제1항에 있어서,상기 구동력은,상기 제1 앵커 및 상기 제2 앵커에 인가된 전기적 신호에 의해 상기 카운터 전극과 상기 질량체 전극 간에 발생한 전기적 인력이거나 또는 상기 카운터 전극을 이동시키기 위해 물리적으로 인가된 기계적인 힘인,장치
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제1항에 있어서,상기 이동 제한부는,상기 이동 제한부의 걸쇠를 이용하거나 또는 상기 카운터 전극에 기계적 힘을 인가하여 결정된 최종 이동 위치에서의 상기 카운터 전극의 위치를 고정시키는,장치
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제1항에 있어서,상기 이동 제한부는,상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 간의 간격을 설계할 때 상기 카운터 전극의 이동을 제한하기 위한 스토퍼(stopper)이거나 또는 상기 제2 앵커의 일부를 이용하는,장치
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제1항에 있어서,상기 제2 탄성체는,변위 방향에 따라 강성이 상이한 비등방성이고,제3 탄성체 및 제4 탄성체를 포함하는,장치
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제5항에 있어서,상기 제3 탄성체는,카운터 전극이, 카운터 전극과 질량체 전극 간의 간격이 좁아지는 방향으로 이동하는 경우에 이용되는,장치
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제5항에 있어서,상기 제4 탄성체는,카운터 전극이, 카운터 전극과 질량체 전극 간의 간격이 넓어지는 방향으로 이동하는 경우에 이용되고,상기 제3 탄성체의 강성은,상기 제4 탄성체의 강성보다 약한,장치
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제1항에 있어서,상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 간의 간격은,상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 사이에 발생한 정전용량의 크기와 반비례하는,장치
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제1항에 있어서,상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 간의 간격은,상기 카운터 전극의 이동 전 간격보다 상기 카운터 전극의 이동 후 간격이 더 작은,장치
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센서 내 구조물들 간의 간격을 형성하기 위한 방법에 있어서,질량체 구조물의 질량체 전극과 카운터 전극 간에, 상기 카운터 전극이 이동하기 전의 간격인 초기 간격을 형성하는 단계;구동력을 발생시키는 것에 의해 상기 카운터 전극을 이동시키는 단계; 및이동 제한부를 이용하여 상기 카운터 전극의 이동을 제한하는 것에 의해, 상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 간의 최종 간격을 형성하는 단계를 포함하는,방법
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제10항에 있어서,상기 카운터 전극은,앵커들에 전기적 신호가 인가된 경우, 상기 카운터 전극과 상기 질량체 전극 간에 발생한 상기 구동력에 의해 상기 질량체 전극과의 간격이 가까워지도록 이동하는,방법
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제10항에 있어서,상기 이동 제한부는,상기 이동 제한부의 걸쇠를 이용하거나 또는, 상기 카운터 전극에 기계적 힘을 인가하여 상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 간의 간격이 상기 최종 간격에 대응되도록 상기 카운터 전극의 위치를 고정시키는,방법
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제10항에 있어서,상기 카운터 전극을 이동시키는 단계는,탄성체들을 이용하여 상기 카운터 전극을 이동시키는 단계를 포함하고,상기 탄성체들은,상기 질량체 구조물의 움직임에 대하여 복원력을 제공하는 제1 탄성체; 및상기 카운터 전극의 움직임에 대하여 복원력을 제공하는 제2 탄성체를 포함하는,방법
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제11항에 있어서,상기 앵커들은,제1 탄성체와 연결된 상기 제1 앵커; 및제2 탄성체와 연결된 상기 제2 앵커를 포함하는,방법
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제13항에 있어서,상기 제2 탄성체는,변위 방향에 따라 강성이 상이한 비등방성이고,제3 탄성체 및 제4 탄성체를 포함하는,방법
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제15항에 있어서,상기 제3 탄성체는,카운터 전극이, 카운터 전극과 질량체 전극 간의 간격이 좁아지는 방향으로 이동하는 경우에 이용되는,방법
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제15항에 있어서,상기 제4 탄성체는,카운터 전극이, 카운터 전극과 질량체 전극 간의 간격이 넓어지는 방향으로 이동하는 경우에 이용되고,상기 제3 탄성체의 강성은,상기 제4 탄성체의 강성보다 약한,방법
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제10항에 있어서,상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 사이에는,정전용량(capacitor)이 형성되는,방법
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제10항에 있어서,상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 간의 간격은,상기 질량체 전극과 상기 카운터 전극 사이에 발생한 정전용량의 크기와 반비례하고,상기 정전용량의 크기는,물리량 측정의 감도와 비례하는,방법
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제10항에 있어서,상기 최종 간격은,상기 초기 간격보다 좁은,방법
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