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1
펄스 레이저 빔을 투과 및 반사하는 포물면 미러;상기 포물면 미러의 일측에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔을 분할하는 프리즘;상기 프리즘의 아래에 배치되고, 상기 프리즘으로부터 제 1 거리에 제공되어 상기 펄스 레이저 빔의 일부를 반사하는 제 1 하부 리트로반사기;상기 프리즘의 상부에 배치되고, 상기 프리즘으로부터 상기 제 1 거리와 다른 제 2 거리에 제공되고, 상기 펄스 레이저 빔의 다른 일부를 반사하여 상기 펄스 레이저 빔의 펄스의 제 1 시간 차이를 생성하는 제 1 상부 리트로반사기; 및상기 포물면 미러의 아래에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔을 수신하여 상기 펄스 레이저 빔의 펄스 폭을 검출시키는 제 1 센서를 포함하는 펄스 폭 측정기
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2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 센서는 이광자 센서를 포함하는 펄스 폭 측정기
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3
제 1 항에 있어서,상기 포물면 미러와 상기 제 1 센서 사이의 제 1 고조파 생성 플레이트를 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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4
제 1 항에 있어서,상기 프리즘은:하부 프리즘; 및상기 하부 프리즘 상에 배치되고, 상기 하부 프리즘의 굴절률과 다른 굴절률을 갖는 상부 프리즘을 포함하는 펄스 폭 측정기
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5
제 4 항에 있어서,상기 하부 프리즘은 글래스를 포함하고,상기 상부 프리즘은 실리카를 포함하는 펄스 폭 측정기
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6
제 4 항에 있어서,상기 포물면 미러에 대향하는 상기 하부 프리즘 및 상기 상부 프리즘의 타측에 제공되는 제 1 및 제 2 빔 스플리터들;상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들의 아래에 배치되고, 상기 제 1 빔 스플리터로부터 제 3 거리에 제공되어 상기 펄스 레이저 빔의 일부를 반사하는 제 2 하부 리트로반사기; 및상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들의 상부에 배치되고, 상기 제 2 빔 스플리터로부터 제 3 거리와 다른 제 4 거리에 제공되고, 상기 펄스 레이저 빔의 다른 일부를 반사하여 상기 펄스 레이저 빔의 상기 펄스의 제 2 시간 차이를 생성하는 제 2 상부 리트로반사기를 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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7
제 6 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들의 타측에 배치된 제 2 센서를 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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8
제 7 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들과 상기 제 2 센서 사이의 제 2 고조파 생성 플레이트를 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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9
제 8 항에 있어서,상기 제 2 고조파 생성 플레이트와 상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들 사이의 볼록 렌즈를 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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10
제 9 항에 있어서,상기 볼록 렌즈와 상기 제 2 빔 스플리터 사이의 편광 플레이트를 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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11
펄스 레이저 빔을 투과 및 반사하는 포물면 미러;상기 포물면 미러의 일측에 배치되어 상기 펄스 레이저 빔을 분할하는 프리즘;상기 프리즘의 아래에 배치되고, 상기 프리즘으로부터 제 1 거리에 제공되어 상기 펄스 레이저 빔의 일부를 반사하는 제 1 하부 리트로반사기;상기 프리즘의 상부에 배치되고, 상기 프리즘으로부터 상기 제 1 거리와 다른 제 2 거리에 제공되고, 상기 펄스 레이저 빔의 다른 일부를 반사하여 상기 펄스 레이저 빔의 펄스의 제 1 시간차를 생성하는 제 1 상부 리트로반사기;상기 포물면 미러의 아래에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔을 수신하여 상기 펄스 레이저 빔의 펄스 폭을 검출시키는 제 1 센서;상기 포물면 미러에 대향하는 상기 프리즘의 타측에 제공되는 제 1 및 제 2 빔 스플리터들;상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들의 아래에 배치되고, 상기 제 1 빔 스플리터로부터 제 3 거리에 제공되어 상기 펄스 레이저 빔의 일부를 반사하는 제 2 하부 리트로반사기; 및상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들의 상부에 배치되고, 상기 제 2 빔 스플리터로부터 제 3 거리와 다른 제 4 거리에 제공되고, 상기 펄스 레이저 빔의 다른 일부를 반사하여 상기 펄스 레이저 빔의 상기 펄스의 제 2 시간차를 생성하는 제 2 상부 리트로반사기를 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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12
제 11 항에 있어서,상기 프리즘은:하부 프리즘; 및상기 하부 프리즘 상에 배치되고, 상기 하부 프리즘의 굴절률과 다른 굴절률을 갖는 상부 프리즘을 포함하는 펄스 폭 측정기
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13
제 12 항에 있어서,상기 제 1 하부 리트로반사기 및 상기 제 1 상부 리트로반사기에 인접하는 상기 하부 프리즘 및 상기 상부 프리즘의 일측들 상에 배치되는 부분 반사 코팅 층들을 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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14
제 12 항에 있어서,상기 제 2 하부 리트로반사기 및 상기 제 2 상부 리트로반사기에 인접하는 상기 하부 프리즘 및 상기 상부 프리즘의 타측들 상에 배치되는 비반사 코팅 층들을 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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15
제 12 항에 있어서,상기 하부 프리즘 및 상기 상부 프리즘의 바닥들 내에 제공되어 상기 펄스 레이저 빔에 평행한 방향으로 배열되는 고 반사 코팅 층들을 더 포함하는 펄스 폭 측정기
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16
펄스 레이저 빔의 펄스를 생성하는 펄스 발진기; 상기 펄스 발진기에 인접하여 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔의 펄스 폭을 확장하는 확대하는 확대기;상기 확대기에 인접하여 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔의 상기 펄스 폭을 압축하는 압축기; 및상기 압축기에 인접하여 배치되고, 상기 펄스 폭을 측정하여 상기 펄스 폭을 조절시키는 펄스 폭 측정기를 포함하되, 상기 펄스 폭 측정기는:상기 펄스 레이저 빔을 투과 및 반사하는 포물면 미러;상기 포물면 미러의 일측에 배치되어 상기 펄스 레이저 빔을 분할하는 프리즘;상기 프리즘의 아래에 배치되고, 상기 프리즘으로부터 제 1 거리에 제공되어 상기 펄스 레이저 빔의 일부를 반사하는 제 1 하부 리트로반사기;상기 프리즘의 상부에 배치되고, 상기 프리즘으로부터 상기 제 1 거리와 다른 제 2 거리에 제공되고, 상기 펄스 레이저 빔의 다른 일부를 반사하여 상기 펄스 레이저 빔의 펄스의 제 1 시간차를 생성하는 제 1 상부 리트로반사기; 및상기 포물면 미러의 아래에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔을 수신하여 상기 펄스 레이저 빔의 상기 펄스 폭을 검출시키는 제 1 센서를 포함하는 펄스 증폭 장치
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제 16 항에 있어서,상기 확대기와 상기 압축기 사이에 배치되고, 상기 펄스 레이저 빔의 세기를 증폭하는 증폭기를 더 포함하는 펄스 증폭 장치
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18
제 16 항에 있어서,상기 프리즘은:하부 프리즘; 및상기 하부 프리즘 상에 배치되고, 상기 하부 프리즘의 굴절률과 다른 굴절률을 갖는 상부 프리즘을 포함하는 펄스 증폭 장치
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19
제 18 항에 있어서,상기 하부 프리즘은 글래스를 포함하고,상기 상부 프리즘은 실리카를 포함하는 펄스 증폭 장치
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20
제 18 항에 있어서,상기 포물면 미러에 대향하는 상기 하부 프리즘 및 상기 상부 프리즘의 타측에 제공되는 제 1 및 제 2 빔 스플리터들;상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들의 아래에 배치되고, 상기 제 1 빔 스플리터로부터 제 3 거리에 제공되어 상기 펄스 레이저 빔의 일부를 반사하는 제 2 하부 리트로반사기; 및상기 제 1 및 제 2 빔 스플리터들의 상부에 배치되고, 상기 제 2 빔 스플리터로부터 제 3 거리와 다른 제 4 거리에 제공되고, 상기 펄스 레이저 빔의 다른 일부를 반사하여 상기 펄스 레이저 빔의 상기 펄스의 제 2 시간차를 생성하는 제 2 상부 리트로반사기를 더 포함하는 펄스 증폭 장치
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