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원통형의 베이스부; 및상기 베이스부 상에 상기 베이스부와 동심으로 형성되고, 상기 베이스부의 직경보다 작은 직경을 가지는 원통형의 포스트부;를 포함하는,자가배열이 용이한 마이크로칩
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제1항에 있어서,상기 베이스부의 직경은 40 내지 50 μm이고, 상기 포스트부의 직경은 상기 베이스부 직경의 20 내지 30%인 것을 특징으로 하는,자가배열이 용이한 마이크로칩
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제1항에 있어서,상기 베이스부의 두께는 4 내지 6 μm이고, 상기 포스트부의 두께는 4 내지 6 μm인 것을 특징으로 하는,자가배열이 용이한 마이크로칩
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제1항에 있어서,상기 마이크로칩은,상기 베이스부의 원주 상에 상기 베이스부와 동심으로 형성된 고리형의 제1 전극; 및상기 포스트부 상에 상기 포스트부와 동심으로 형성된 원형의 제2 전극;을 더 포함하고,상기 제1 전극의 고리 너비는 상기 베이스부의 직경의 10 내지 15%이고,상기 제2 전극의 직경은 상기 포스트부의 직경의 50 내지 100%인 것을 특징으로 하는,자가배열이 용이한 마이크로칩
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제1항에 있어서,상기 베이스부는 질화 갈륨(GaN)을 포함하고, 상기 포스트부는 질화 갈륨 및 인듐 주석 산화물(Indium tin oxide; ITO)을 포함하는 것을 특징으로 하는,자가배열이 용이한 마이크로칩
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베이스 기판 및 상기 베이스 기판 상에 형성된 포스트 기판을 준비한 후, 상기 포스트 기판 상에 원형의 제1 마스크를 증착하는 제1 마스킹 단계;상기 포스트 기판을 에칭(etching)한 후 상기 제1 마스크를 제거하여 포스트부를 형성하는 제1 에칭 단계;상기 제1 마스크의 직경보다 더 큰 직경을 가지는 제2 마스크를 상기 베이스 기판 상에 상기 포스트부와 동심으로 증착하는 제2 마스킹 단계; 및상기 베이스 기판을 에칭한 후 상기 제2 마스크를 제거하여 베이스부를 형성하는 제2 에칭 단계;를 포함하는,자가배열이 용이한 마이크로칩 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 제1 마스크의 직경은 40 내지 50 μm이고, 상기 제2 마스크의 직경은 상기 제1 마스크의 직경의 20 내지 30%인 것을 특징으로 하는,자가배열이 용이한 마이크로칩 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 베이스 기판의 두께는 4 내지 6 μm이고, 상기 포스트 기판의 두께는 4 내지 6 μm인 것을 특징으로 하는,자가배열이 용이한 마이크로칩 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 베이스부의 원주 상에 상기 베이부와 동심으로 형성된 고리형의 제1 전극 및 상기 포스트부 상에 상기 포스트부와 동심으로 형성된 원형의 제2 전극을 증착 및 리프트-오프(lift-off) 공정을 통해 형성하는 전극 형성 단계를 더 포함하고,상기 전극 형성 단계는 상기 제1 전극의 고리 너비가 상기 베이스부의 직경의 10 내지 15%, 상기 제2 전극의 직경이 상기 포스트부의 직경의 50 내지 100%이 되도록 하는 것을 특징으로 하는,자가배열이 용이한 마이크로칩 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 베이스 기판은 질화 갈륨을 포함하고, 상기 포스트 기판은 질화 갈륨 및 인듐 주석 산화물을 포함하며, 상기 제1 마스크 및 제2 마스크는 이산화규소(SiO2)를 포함하는 것을 특징으로 하는,자가배열이 용이한 마이크로칩 제조 방법
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제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 마이크로칩을 포함하는 잉크를 상기 마이크로칩과 상보적인 형태를 가지는 하우징(housing)을 포함하는 카트리지(cartridge) 상에 도포하는 제1 단계; 및상기 마이크로칩이 상기 하우징의 상보적인 형태에 커플링(coupling)되도록 상기 카트리지에 음파를 적용하는 제2 단계;를 포함하고,상기 음파는 2개 이상의 서로 상이한 주파수를 가지는 음파의 조합인,마이크로칩 자가배열 방법
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마이크로칩과 상보적인 형태를 가지는 하우징을 포함하는 카트리지부;상기 카트리지에 2개 이상의 서로 상이한 주파수를 가지는 음파의 조합인 음파를 적용하여 상기 카트리지부 상에서 상기 마이크로칩을 이동할 수 있는 제너레이터부;상기 카트리지부 상에 도포된 상기 마이크로칩의 상하 배열 및 위치를 시각적으로 인식할 수 있는 감지부; 및상기 감지부로부터 상기 마이크로칩의 상하 배열 및 위치 정보를 전달받아, 상기 하우징과 커플링 될 수 있는 방향으로 마이크로칩의 상하 배열을 정위치하고, 상기 하우징에서 벗어난 마이크로칩을 상기 하우징으로 이동시키는 음파를 발생시키는 명령을 상기 제너레이터부에 전달하도록 정보를 학습 및 변환하는 제어부;를 포함하는,마이크로칩 자가배열 장치
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