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자속 감금부를 가지는 유도 결합 플라즈마 장치
- 기술번호 : KST2023008031
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| 요약 | 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법을 제공한다. 이 플라즈마 장치는 원통 형상의 유전체 방전 튜브; 상기 유전체 방전 튜브를 감싸도록 배치되어 상기 유전체 방전 튜브의 내부에 플라즈마를 발생시키도록 유도 전기장을 생성하는 유도 코일; 상기 유도 코일의 주위에 배치되어 상기 유도 코일에 의하여 생성된 자기장을 감금하는 자속 감금부; 및 상기 유도 코일에 전력을 공급하는 교류 전원부를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | H05H 1/24 (2006.01.01) H05H 1/46 (2006.01.01) |
| CPC | H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020150074888 (2015.05.28) |
| 출원인 | 인투코어테크놀로지 주식회사 |
| 등록번호/일자 | 10-1697680-0000 (2017.01.12) |
| 공개번호/일자 | 10-2016-0139642 (2016.12.07) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | |
| 심판사항 | |
| 구분 | 국내출원/신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2015.05.28) |
| 심사청구항수 | 8 |