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진공펌프 성능 유지 장치에 있어서, 진공펌프 주입구에 설치되는 플라즈마 생성원; 상기 플라즈마 생성원 내에서 생성되는 플라즈마가 추출되는 추출 홀; 상기 진공펌프 주입구로 유입되는 배기 가스와 상기 추출 홀로부터 추출되는 플라즈마가 반응하여 상기 배기 가스 내의 오염물질을 변환하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 플라즈마 생성원은, 구형 또는 타원체형의 캐비티를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 플라즈마 생성원은, 상기 캐비티 내의 전자가 되튐공진하여 플라즈마가 생성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 캐비티에 플라즈마 생성 가스를 공급하기 위한 가스 공급홀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치
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진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 진공펌프에 있어서, 진공펌프 주입구에 설치되는 플라즈마 생성원; 상기 플라즈마 생성원 내에서 생성되는 플라즈마가 추출되는 추출 홀; 상기 진공펌프 주입구로 유입되는 배기 가스와 상기 추출 홀로부터 추출되는 플라즈마가 반응하여 상기 배기 가스 내의 오염물질을 변환하는 것을 특징으로 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 진공펌프
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제 5 항에 있어서, 상기 플라즈마 생성원은, 구형 또는 타원체형의 캐비티를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 진공펌프
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7
제 6 항에 있어서, 상기 플라즈마 생성원은, 상기 캐비티 내의 전자가 되튐공진하여 플라즈마가 생성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 진공펌프
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제 7 항에 있어서, 상기 캐비티에 플라즈마 생성 가스를 공급하기 위한 가스 공급홀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 진공펌프
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진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 플라즈마 공정 시스템에 있어서, 플라즈마 공정을 위한 진공챔버; 상기 진공챔버의 배기구에 진공펌프 주입구가 연결되어 상기 플라즈마 공정 후 상기 진공챔버의 배기 가스를 외부로 배출하는 진공펌프; 상기 진공펌프 주입구에 설치되는 플라즈마 생성원; 상기 플라즈마 생성원 내에서 생성되는 플라즈마가 추출되는 추출 홀; 상기 진공펌프 주입구로 유입되는 배기 가스와 상기 추출 홀로부터 추출되는 플라즈마가 반응하여 상기 배기 가스 내의 오염물질을 변환하는 것을 특징으로 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 플라즈마 공정 시스템
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제 9 항에 있어서, 상기 플라즈마 생성원은, 구형 또는 타원체형의 캐비티를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 플라즈마 공정 시스템
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제 10 항에 있어서, 상기 플라즈마 생성원은, 상기 캐비티 내의 전자가 되튐공진하여 플라즈마가 생성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 플라즈마 공정 시스템
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제 11 항에 있어서, 상기 캐비티에 플라즈마 생성 가스를 공급하기 위한 가스 공급홀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 플라즈마 공정 시스템
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진공펌프 성능 유지 장치에 있어서, 다단 진공펌프의 1 단 영역에 설치되는 플라즈마 생성원; 상기 플라즈마 생성원 내에서 생성되는 플라즈마가 추출되는 추출 홀; 상기 다단 진공펌프의 1 단 영역으로 유입되는 배기 가스와 상기 추출 홀로부터 추출되는 플라즈마가 반응하여 상기 배기 가스 내의 오염물질을 변환하는 것을 특징으로 하는 진공펌프 성능 유지 장치
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진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 다단 진공펌프에 있어서, 다단 진공펌프의 1 단 영역에 설치되는 플라즈마 생성원; 상기 플라즈마 생성원 내에서 생성되는 플라즈마가 추출되는 추출 홀; 상기 다단 진공펌프의 1 단 영역으로 유입되는 배기 가스와 상기 추출 홀로부터 추출되는 플라즈마가 반응하여 상기 배기 가스 내의 오염물질을 변환하는 것을 특징으로 진공펌프 성능 유지 장치를 구비하는 다단 진공펌프
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