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내부에 증착 반응이 일어나는 챔버와 상기 챔버의 일측면에 구비되어 제1가스 및 제2가스가 공급되는 공급부와 상기 공급부에서 배출된 제1가스 및 제2가스가 증착되는 증착부와 상기 증착부에서 반응이 끝난 잔여가스가 배출되는 배출부를 포함하는 증착 장치에 있어서,상기 공급부는,챔버의 일측면에 형성된 챔버홀; 및상기 챔버홀 내부와 연통되어 연장배치되는 파이프 형태의 제1가스주입부;내부에 유로가 형성되고 상기 유로 내부에 상기 제1가스주입부가 배치되는 블록 형태의 제2가스주입부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제 1항에 있어서, 상기 제1가스주입부 및 상기 제2가스주입부는,상기 제2가스주입부 내부에 형성된 유로와 상기 제1가스주입부가 동심을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제 1항에 있어서, 상기 제2가스주입부는,상기 제2가스주입부의 블록이 상기 공급부의 바닥면에 배치되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제 1항에 있어서, 상기 제2가스주입부는,상기 제2가스주입부 블록이 상하로 구성된 복수개의 조각으로 분리된 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제 4항에 있어서, 상기 제2가스주입부는,상기 제2가스주입부 블록이 복수개의 조각이 결합된 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제 1항에 있어서, 상기 공급부는,상기 제1가스주입부 및 내부에 복수개의 유로가 형성된 블록 형태의 상기 제2가스주입부와 세트로 구성되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제 6항에 있어서, 상기 제2가스주입부는,복수개의 유로를 가지는 단일 블록으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제 6항에 있어서, 상기 제2가스주입부 블록에 형성된 유로는,상기 제1가스주입부의 유로보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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9
제 6항에 있어서, 상기 제1가스주입부 및 상기 제2가스주입부는,상기 제1가스주입부의 지름을 D1, 상기 제2가스주입부의 지름을 D2라 할 때,상기 제2가스주입부 지름은 상기 제1가스주입부 지름보다 10~80% 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치
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10
제 6항에 있어서, 상기 공급부는,공급부의 가로 길이를 W라 할 때, 복수개로 형성되는 동심원 중심 사이의 거리를 W1이라 하면, 동심원 중심 사이의 거리는 0
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11
증착장치를 이용해 증착을 하는 증착방법에 관한 것으로,제1가스가 제1가스주입부로 주입되는 단계;상기 제1가스주입부에 의해 주입된 상기 제1가스가 분사되어 기판에 증착되는 단계;상기 제1가스가 증착되고 상기 제1가스주입부로 퍼지가스가 주입되어 반응이 끝난 상기 제1가스의 잔여가스가 배출부로 배출되는 단계;제2가스가 제2가스주입부로 주입되는 단계;상기 제2가스주입부에 의해 주입된 상기 제2가스가 분사되어 기판에 증착되는 단계;상기 제2가스가 증착되고 상기 제2가스주입부로 퍼지가스가 주입되어 반응이 끝난 상기 제2가스의 잔여가스가 배출부로 배출되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치를 이용한 증착방법
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제 11항에 있어서, 상기 퍼지가스는,상기 제1가스주입부 및 상기 제2가스주입부에서 분사되는 것을 특징으로 하는 증착장치를 이용한 증착방법
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