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광섬유 기반의 수소 센서에 있어서,광섬유의 코어 단면에 금속 나노 입자가 형성되고,상기 금속 나노 입자의 표면에 수소가 흡착될 수 있는 팔라듐이 캡핑된 수소 센서
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제1항에 있어서,상기 금속 나노 입자는,상기 광섬유의 코어 단면에 형성된 수산화기를 통해 고정되는 수소 센서
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제1항에 있어서,상기 팔라듐은,상기 금속 나노 입자의 코팅된 시트레이트 이온을 통해 금속 나노 입자에 캡핑되는 수소 센서
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제1항에 있어서,상기 팔라듐은, 수소와 흡착되고,상기 광섬유의 코어 내부에 전반사되어 입력되는 입사광이 팔라듐에 의해 반사되는 산란광의 세기 또는 파장을 통해 수소의 농도가 결정되는 수소 센서
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광섬유 기반의 수소 센서에 있어서,광섬유의 코어 단면에 금속 나노 디스크가 형성되고,상기 금속 나노 디스크의 상단에 수소가 흡착될 수 있는 팔라듐이 증착된 수소 센서
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제5항에 있어서,상기 금속 나노 디스크는,상기 광섬유의 코어 단면에 증착된 나노 사이즈의 금속 상단의 비드들 사이를 식각함으로써 형성되는 수소 센서
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제5항에 있어서,상기 팔라듐은, 수소와 흡착되고,상기 광섬유의 코어 내부에 전반사되어 입력되는 입사광이 팔라듐에 의해 반사되는 산란광의 세기 또는 파장을 통해 수소의 농도가 결정되는 수소 센서
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광섬유의 코어 단면에 수산화기를 부착하는 단계;상기 수산화기를 통해 금속 나노 입자를 연결하는 단계;상기 금속 나노 입자의 표면에 시트레이트 이온을 코팅하는 단계;상기 시트레이트 이온을 통해 금속 나노 입자에 팔라듐을 캡핑하는 단계를 포함하는 수소 센서의 제작 방법
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광섬유의 코어 단면에 제1 금속을 증착하는 단계;상기 증착된 제1 금속의 표면에 일정한 간격으로 비드를 배치하는 단계;상기 비드들 사이에 배치된 제1 금속을 식각하여 비드들 하단에 위치한 제1 금속의 금속 나노 디스크를 형성하는 단계;상기 금속 나노 디스크의 상단에 위치한 비드를 제거하는 단계;상기 금속 나노 디스크 상단에 제1 금속과 다른 제2 금속을 배치하는 단계를 포함하고,상기 제2 금속은, 수소와 흡착할 수 있는 팔라듐인 수소 센서
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수소 가스가 유입될 수 있는 인렛과 수소 가스가 유출되는 아웃렛 사이에 형성되는 미세 유체 채널;상기 미세 유체 채널의 특정 영역에 연결된 광섬유 기반의 수소 센서;상기 광섬유에 입사광을 입력시키기 위한 광원;상기 광섬유의 단면으로부터 반사된 산란광을 측정하는 광 디텍터를 포함하고,상기 수소 센서는,상기 광섬유의 단면에 금속 나노 입자 또는 금속 나노 디스크가 배치되고,상기 금속 나노 입자의 표면에 팔라듐이 캡핑되거나 또는 금속 나노 디스크의 상단에 팔라듐이 증착되는 수소 농도 측정 장치
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제10항에 있어서,상기 인렛을 통해 유입된 수소 가스는 상기 수소 센서의 팔라듐과 흡착되고,상기 광원으로부터 입력된 입사광은 팔라듐에 의해 반사되어 산란광이 광 디텍터로 입력되는 수소 농도 측정 장치
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제10항에 있어서,팔라듐이 존재하지 않을 때의 산란광의 세기 또는 파장과 팔라듐이 존재할 때의 산란광의 세기 또는 파장을 비교함으로써 수소의 농도가 결정되는 수소 농도 측정 장치
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