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충격파의 영향을 측정할 수 있는 충격파관의 일측단에 배치되어 끝벽을 형성하고, 표면 열전달율을 측정하는 박막센서에 있어서,상기 박막센서는,표면이 설정된 거칠기로 연마 처리된 기판;상기 기판의 표면에 설정된 형태로 배치된 복수의 박막금속탭; 및상기 복수의 박막금속탭을 연결하는 금속 스트립;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막센서
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제1항에 있어서,상기 기판은,기 설정된 연마규격을 갖는 복수의 연마부재 중 적어도 하나를 사용하여 제1 내지 제4 표면연마등급 중 하나로 구분되는 거칠기 처리가 적용된 표면을 갖는 것을 특징으로 하는, 박막센서
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제2항에 있어서,제1 내지 제4 표면연마등급은,표면 거칠기 정도에 따라 순차적으로 거칠기가 증가하는 유형으로 설정된 것을 특징으로 하는, 박막센서
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원형 또는 다각형상의 단면을 갖는 관으로 형성되며, 충격파의 영향을 측정할 수 있는 충격파관을 포함하는 산소원자 발생장치;상기 충격파관에 설치되어 상기 충격파관 내부의 압력을 측정하는 압력센서; 및제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 박막센서;를 포함하는, 산소원자 발생시스템
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제4항에 있어서,상기 충격파관은,제1 관부, 전환부 및 제2 관부를 포함하되,상기 제1 관부는 상기 충격파관의 일측단에 배치되고, 다이어프램을 통해 상기 전환부와 구분되며,상기 전환부는 상기 제1 관부과 상기 제2 관부를 연결하고,상기 제2 관부는 상기 전환부에 연결되고, 상기 제1 관부 보다 길게 형성되는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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6
제5항에 있어서,상기 제2 관부는,상기 제1 관부보다 낮은 압력을 갖는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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7
제5항에 있어서,상기 산소원자 발생장치는,상기 제1 관부의 일측 단부에 연결되어 상기 제1 관부의 내부로 고압의 드라이버 가스를 주입하는 제1 기체주입장치; 및상기 전환부의 일측에 연결되어 상기 전환부의 내부로 테스트 가스를 주입하는 제2 기체주입장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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8
제7항에 있어서,상기 충격파관은,상기 제1 관부에 상기 드라이버 가스가 충진된 후 상기 다이어프램이 파열될 경우, 상기 드라이버 가스가 상기 제2 관부로 팽창하여 입사충격파를 생성한 후 일정한 열역학적 특성 영역을 형성하는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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9
제7항에 있어서,상기 제1 기체주입장치는,고압으로 가압된 용기로부터 헬륨을 포함하는 상기 드라이버 가스를 상기 제1 관부로 공급하는 레귤레이터인 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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10
제7항에 있어서,상기 제2 기체주입장치는,산소와 불활성 기체가 혼합된 상기 테스트 가스를 상기 전환부로 공급하는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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제4항에 있어서,상기 압력센서는,상기 충격파관에 설치되어 상기 제2 관부에서 발생되는 압력을 감지 및/또는 측정하되,반사충격파가 전파되는 것을 정성적으로 파악하기 위해 상기 박막센서로부터 복수개가 설정된 간격으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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제4항에 있어서,상기 박막센서는,박막 금속에 전류를 통과시키고, 상기 박막 금속의 저항값에 따라 상기 박막 금속에 입력되는 전압과, 상기 박막 금속에서 출력되는 전압 간의 차이에 따라 표면 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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제4항에 있어서,상기 산소원자 발생시스템은,상기 충격파관의 타단부에 배치되어 끝벽을 형성하고, 상기 박막센서를 고정시키는 끝벽모델을 더 포함하되,상기 끝벽모델은,상기 박막센서의 삽입을 위해 형성된 홀을 포함하고,접착부재를 이용하여 상기 끝벽모델의 일측 표면과 수평을 이룬 상태로 상기 박막센서를 고정시키는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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제4항에 있어서,상기 산소원자 발생시스템은,상기 충격파관에서 발생된 산소 원자를 포집하는 포집부를 더 포함하되,상기 포집부는,상기 충격파관에 연결된 포집관 및 배기관;상기 포집관 및 상기 배기관 각각에 설치된 포집밸브 및 배기밸브;상기 포집관에 연결되어 포집된 산소 원자를 저장하는 포집탱크; 및상기 포집관의 내부에 배치되어 산소 원자를 필터링하는 그래핀 멤브레인;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 산소원자 발생시스템
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(a) 석영 기판의 표면을 설정된 거칠기로 연마 처리하는 단계;(b) 상기 석영 기판의 표면에 박막금속을 증착하는 단계;(c) 복수의 박막금속탭을 연결하는 금속 스트립을 형성하는 단계; 및(d) 상기 복수의 박막금속탭에 도선을 연결하는 단계;를 포함하는, 박막센서 제조방법
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제15항에 있어서,상기 (a)에서는,자동 회전 평판 디스크를 사용하여 석영 기판의 표면에 설정된 거칠기를 도입하되, 표면 거칠기 정도에 따라 복수의 유형으로 설정된 거칠기 처리로 석영 기판의 표면을 연마 처리하는 것을 특징으로 하는, 박막센서 제조방법
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제16항에 있어서,상기 (a)에서는,기 설정된 연마규격을 갖는 복수의 연마부재 중 적어도 하나를 사용하여 제1 내지 제4 표면연마등급 중 하나로 구분되는 거칠기 처리로 표면 연마를 수행하는 것을 특징으로 하는, 박막센서 제조방법
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제17항에 있어서,제1 내지 제4 표면연마등급은,표면 거칠기 정도에 따라 순차적으로 거칠기가 증가하는 유형으로 설정된 것을 특징으로 하는, 박막센서 제조방법
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