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실리콘 기판 상에 실리콘 양자점을 포함하는 실리콘 카바이드 박막을 이용하여 광원 소자와 광 감지 소자를 제조하는 단계;상기 제조된 광원 소자와 광 감지 소자를 플렉시블 기판 상에 전사시키는 단계; 및상기 플렉시블 기판 상에 전사된 광원 소자와 광 감지 소자를 이용하여 플렉시블 생체신호 측정 장치를 제조하는 단계를 포함하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 광원 소자와 광 감지 소자를 제조하는 단계는,상기 실리콘 기판 상에 하부 캐리어 운반층을 형성하는 단계;상기 하부 캐리어 운반층 상부에 상기 실리콘 양자점을 포함하는 상기 실리콘 카바이드 박막을 형성하는 단계;상기 실리콘 카바이드 박막 상부에 상부 캐리어 운반층을 형성하는 단계; 및상기 상부 캐리어 운반층 상부에 투명 전도성 전극을 형성하는 단계를 포함하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 실리콘 카바이드 박막은,상기 광원 소자에 있어서 발광층에 해당하고, 상기 광 감지 소자에 있어서 광전변환층에 해당하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 실리콘 카바이드 박막을 형성하는 단계는,1nm 이상 10um 이하의 두께를 가지도록 상기 실리콘 카바이드 박막을 형성하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 실리콘 카바이드 박막을 형성하는 단계는,상기 실리콘 양자점의 크기가 상이한 복수의 실리콘 카바이드 박막들을 적층함으로써, 상기 실리콘 카바이드 박막을 형성하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 전사시키는 단계는, 상기 플렉시블 기판의 곡률 반경 및 상기 광원 소자와 상기 광 감지 소자 사이의 거리와 위치를 고려하여 상기 광원 소자와 광 감지 소자를 상기 플렉시블 기판 상에 전사시키는, 플렉시블 생체신호 측정 장치 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 광원 소자와 광 감지 소자를 제조하는 단계는,광의 파장에 따라 상기 실리콘 양자점의 크기를 조절하여 상기 광원 소자와 광 감지 소자를 제조하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘 양자점은,1nm 이상 10nm 이하의 크기를 가지는, 플렉시블 생체신호 측정 장치 제조 방법
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플렉시블 기판 상에 배치되며, 실리콘 양자점을 포함하는 실리콘 카바이드 박막을 포함하고, 서로 다른 파장의 광을 생성하여 대상체에 조사하는 복수의 광원 소자들;상기 플렉시블 기판 상에 배치되며, 상기 대상체를 통과하는 상기 서로 다른 파장의 광을 감지하는 광 감지 소자; 및상기 대상체를 통과하여 감지된 상기 서로 다른 파장의 광 각각에 대하여 광 흡수를 측정하고, 상기 서로 다른 파장에서의 상기 측정된 광 흡수의 변화에 기초하여 상기 대상체의 생체신호를 측정하는 측정부를 포함하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치
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제9항에 있어서,상기 측정부는,상기 서로 다른 파장에서의 상기 측정된 광 흡수의 변화에 기초하여 상기 대상체의 혈관 내 산소포화도를 측정하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치
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제9항에 있어서,상기 측정부는,상기 서로 다른 파장 각각에서, 산소가 결합된 헤모글로빈의 광 흡수와 상기 산소가 결합되지 않은 헤모글로빈의 광 흡수를 측정하고, 상기 서로 다른 파장에서 측정된 상기 산소가 결합된 헤모글로빈의 광 흡수의 변화와 상기 산소가 결합되지 않은 헤모글로빈의 광 흡수의 변화를 이용하여 상기 대상체의 혈관 내 산소포화도를 측정하는, 플렉시블 생체신호 측정 장치
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