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플라즈마가 발생하는 구조체의 표면에 탈부착이 가능하도록 부착되는 기판부; 상기 기판부 상에 형성되는 신호선부;상기 기판부 상에 형성되며, 상기 신호선부와 소정 간격 이격되거나 상기 신호선부로부터 연장되어, 인가되는 초고주파를 공진시키는 공진 패턴; 및상기 신호선부와 유선 또는 무선으로 연결되어 상기 초고주파를 인가하거나 검출하여 플라즈마를 분석하는 신호 분석부를 포함하는 플라즈마 진단장치
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제1항에 있어서, 상기 기판부는 유연성 유전체 기판이고, 상기 신호선부 및 상기 공진 패턴은 금속 박막(metal thin-film) 패턴인 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제2항에 있어서, 상기 신호선부 및 상기 공진 패턴이 형성된 상기 기판부는, 상기 구조체의 내면 상에 부착되거나, 상기 구조체의 벽면의 내부에 인입되며 부착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제1항에 있어서, 상기 신호선부는, 일 끝단에 형성되어, 상기 신호 분석부로부터 상기 초고주파가 인가되는 수신부; 타 끝단에 형성되어, 상기 신호 분석부로 상기 초고주파를 제공하는 송신부; 및상기 수신부와 상기 송신부 사이에 연결되고, 상기 인가된 초고주파가 통과하며 상기 공진 패턴과의 사이에서 공진이 유도되는 신호선을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제4항에 있어서, 상기 신호선부와 상기 신호 분석부가 유선으로 연결되는 경우, 상기 기판부는, 상기 수신부 및 상기 송신부가 상기 구조체를 관통하여 형성되는 전송 포트에 접촉하도록 상기 구조체에 부착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제5항에 있어서, 상기 신호 분석부는, 상기 수신부와 연결되는 제1 전달선, 및 상기 송신부와 연결되는 제2 전달선을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제4항에 있어서, 상기 신호선부와 상기 신호 분석부가 무선으로 연결되는 경우, 상기 기판부 상에는 무선 송수신부가 금속 박막(metal thin-film) 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제1항에 있어서, 상기 공진 패턴은, 상기 신호선부와 소정 간격 이격되도록 형성되고, 간극부를 가지는 사각형, 원형, 타원형 또는 다각형 형상을 가지는 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제1항에 있어서, 상기 공진 패턴은, 상기 신호선부의 연장방향에 교차하는 방향으로 상기 신호선부로부터 연장되며, 일직선, 나선형 또는 직교 나선형 형상을 가지는 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제1항에 있어서, 상기 공진 패턴은, 상기 신호선부를 분리시키고, 소정의 간극부를 가지며 서로 이격되도록 형성되는 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제1항에 있어서, 상기 공진 패턴은, 상기 신호선부에 인접하도록 복수개가 소정의 간격으로 서로 이격되며 배열되고, 상기 복수의 공진 패턴들은 서로 동일하거나 다른 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제1항에 있어서, 상기 기판부에서, 상기 신호선부 및 상기 공진 패턴이 형성되는 면의 반대면에 형성되는 접지부를 더 포함하고, 상기 접지부는 금속 박막(metal thin-film)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단장치
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제1항의 플라즈마 진단장치를 복수개 포함하는 플라즈마 진단모듈에서, 상기 복수의 플라즈마 진단장치들은 기 설정된 패턴으로 배열되며 챔버의 내면상에 부착되며, 상기 진단장치들 각각의 플라즈마 진단 결과를 바탕으로, 상기 챔버 내부공간의 플라즈마 발생 상태가 진단되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단모듈
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제1항의 플라즈마 진단장치를 복수개 포함하는 플라즈마 진단모듈에서, 상기 복수의 플라즈마 진단장치들은 기 설정된 패턴으로 배열되며 웨이퍼 척(chuck) 상에 부착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단모듈
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챔버의 내면 또는 웨이퍼 척 상에 기 설정된 패턴으로 배열되며 부착되는 기판부, 및 상기 기판부 상에 형성되며 인가되는 초고주파를 공진시키는 공진 패턴을 포함하는 플라즈마 진단장치; 상기 챔버의 중앙 또는 상기 웨이퍼 척의 중앙에 상기 공진 패턴으로 초고주파를 인가하는 신호선부; 및상기 신호선부와 유선 또는 무선으로 연결되어 상기 초고주파를 인가하거나 검출하여 플라즈마를 분석하는 신호 분석부를 포함하고, 상기 플라즈마 진단장치는, 상기 신호선부를 중심으로 복수개가 배열되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 진단모듈
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