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수증기 정량 주입 시스템에 있어서, 수조로부터 공급되는 물을 정량적으로 주입하는 마이크로 펌프; 상기 마이크로 펌프로부터 주입되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 증발기; 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 진공펌프로 전달되도록 하는 히팅라인;을 포함하고, 상기 히팅라인은 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 진공펌프로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 펌프는 1 ul/min 이하의 유량까지 정량 주입하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 증발기가 지속적으로 수증기를 생성하면서 소정의 압력 이상으로 내부 압력이 커지는 경우 수증기를 배출할 수 있도록 릴리프 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 히팅라인의 온도가 상기 증발기의 온도보다 더 높게 설정되어 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 더욱 더 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 진공펌프로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 히팅라인은 제 1 히팅라인과 제 2 히팅라인을 포함하고, 제 1 히팅라인으로 공급되는 수증기의 유량은 상기 마이크로 펌프에 의하여 공급되는 물의 유량을 기준으로 산출되는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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제 5 항에 있어서, 제 2 히팅라인에 질량 유량 제어기 또는 질량 유량 측정기를 연결하여 공급되는 수증기의 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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수증기 정량 주입 시스템에 있어서, 수조의 무게를 기록하고 상기 수조로부터 공급되는 물을 정량적으로 주입하는 마이크로 펌프; 상기 마이크로 펌프로부터 주입되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 증발기; 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 진공펌프로 전달되도록 하는 히팅라인;을 포함하고, 상기 히팅라인은 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 진공펌프로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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제 7 항에 있어서, 상기 마이크로 펌프는 1 ul/min 이하의 유량까지 정량 주입하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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제 7 항에 있어서, 상기 증발기가 지속적으로 수증기를 생성하면서 소정의 압력 이상으로 내부 압력이 커지는 경우 수증기를 배출할 수 있도록 릴리프 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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10
제 7 항에 있어서, 상기 히팅라인의 온도가 상기 증발기의 온도보다 더 높게 설정되어 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 더욱 더 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 진공펌프로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 시스템
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수증기 정량 주입 방법에 있어서, 수조로부터 마이크로 펌프로 물을 공급하는 단계; 상기 마이크로 펌프에서, 상기 수조로부터 공급되는 물을 정량적으로 증발기로 주입하는 단계; 상기 증발기에서, 상기 마이크로 펌프로부터 주입되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 단계; 히팅라인을 통하여 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 진공펌프로 전달되도록 하는 단계;를 포함하고, 상기 히팅라인은 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 상기 진공펌프로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 방법
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제 11항에 있어서, 상기 증발기로부터 상기 진공펌프로 공급되는 수증기의 유량은 상기 마이크로 펌프에 의하여 공급되는 물 유량으로부터 산출되는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 방법
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수증기 정량 주입 방법에 있어서, 수조로부터 마이크로 펌프로 물을 공급하는 단계; 상기 마이크로 펌프에서, 상기 수조로부터 공급되는 물을 정량적으로 증발기로 주입하는 단계; 상기 증발기에서, 상기 마이크로 펌프로부터 주입되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 단계; 히팅라인을 통하여 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 시험용기로 전달되도록 하는 단계; 상기 시험용기 내의 수증기를 진공펌프로 배기하는 단계;를 포함하고, 상기 히팅라인 및 상기 시험용기는 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 상기 진공펌프로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 방법
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수증기 정량 주입 방법에 있어서, 수조의 무게를 측정하는 단계; 상기 수조로부터 마이크로 펌프로 물을 공급하는 단계; 상기 마이크로 펌프에서, 상기 수조로부터 공급되는 물을 정량적으로 증발기로 주입하는 단계; 상기 증발기에서, 상기 마이크로 펌프로부터 주입되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 단계; 히팅라인을 통하여 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 진공펌프로 전달되도록 하는 단계;를 포함하고, 상기 히팅라인은 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 상기 진공펌프로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 방법
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제 14 항에 있어서, 상기 증발기로부터 상기 진공펌프로 공급되는 수증기의 유량은 상기 수조의 무게 변화로부터 산출되는 것을 특징으로 하는 수증기 정량 주입 방법
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제 11 항 내지 제 15 항 중 적어도 어느 한 항의 수증기 정량 주입 방법을 실행시키기 위하여 저장매체에 기록되는 컴퓨터프로그램
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