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챔버, 상기 챔버 내에 배치되고 펠리클이 안착되는 펠리클 홀더, 및 상기 펠리클 홀더에 안착된 상기 펠리클의 온도를 측정하는 온도 측정 모듈을 포함하는 내구성 측정부; 및상기 펠리클 홀더에 안착된 상기 펠리클의 종류에 따라, 광의 강도(intensity)를 제어하여 상기 펠리클에 조사하는 광원부를 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치
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제1 항에 있어서, 상기 광은, 193 nm 이상의 파장대를 갖는 펠리클 열적 내구성 평가 장치
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제1 항에 있어서, 상기 펠리클이 흡수하는 열적 하중에 따른 상기 펠리클의 온도를 측정하여, 상기 펠리클의 열적 내구성을 평가하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치
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제1 항에 있어서, 상기 광원부는, 상기 광을 조사하는 광원, 상기 광원으로부터 조사된 광의 강도(intensity)를 제어하는 제1 광 제어 모듈, 상기 광원으로부터 조사된 광의 크기(size)를 제어하는 제2 광 제어 모듈, 및 상기 광원으로부터 조사된 광의 강도 분포를 제어하는 제3 광 제어 모듈을 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치
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제4 항에 있어서,상기 광원부는, 상기 제1 내지 제3 광 제어 모듈을 통해 제어된 상기 광을 반사시키는 제1 반사 모듈, 상기 제1 반사 모듈로부터 반사된 상기 광을 반사시키는 제2 반사 모듈, 및 상기 제2 반사 모듈로부터 반사된 상기 광을 제공받아 상기 광의 강도를 측정하는 광 측정 모듈을 더 포함하되, 상기 제1 반사 모듈로부터 반사된 상기 광의 일부는 상기 펠리클에 제공되고, 상기 제1 반사 모듈로부터 반사된 상기 광의 다른 일부는 상기 제2 반사 모듈로 제공되는 것을 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치
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제1 항에 있어서, 상기 챔버는, 수소(H2) 가스가 유입되는 유입구를 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치
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제1 항에 있어서, 상기 광원부는, 상기 펠리클에 조사되는 상기 광을 펄스(pulse) 형태로 제어하여, 상기 펠리클이 상기 광에 노출되는 시간을 제어하는 회전 슬릿(slit)을 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치
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8
제1 항에 있어서, 상기 펠리클 홀더는, 제1 방향, 및 상기 제1 방향과 직각 방향인 제2 방향으로 이동되는 것을 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치
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챔버 내에 배치된 펠리클 홀더에 펠리클을 안착시키는 단계; 상기 펠리클의 종류에 따라, 상기 펠리클에 조사되는 광의 강도를 산출하는 단계; 산출된 광의 강도로 상기 광의 강도를 제어하여, 제어된 상기 광을 상기 펠리클로 조사하는 단계; 및상기 펠리클의 온도를 측정하는 단계를 포함하는 펠리클의 열적 내구성 평가 방법
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제9 항에 있어서, 상기 광을 상기 펠리클로 조사하는 단계 이후 상기 펠리클의 온도를 측정하는 단계 이전, 상기 펠리클이 흡수하는 열적 하중을 산출하는 단계를 더 포함하되, 상기 펠리클의 온도를 측정하는 단계에서, 상기 펠리클의 온도는 상기 펠리클이 흡수하는 열적 하중에 따라 측정되는 것을 포함하는 펠리클의 열적 내구성 평가 방법
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제10 항에 있어서, 상기 펠리클의 온도를 측정하는 단계 이후, 상기 펠리클의 열 방사율을 도출하는 단계를 더 포함하되,상기 펠리클의 열 방사율은 상기 펠리클이 흡수하는 열적 하중을 이용하여 아래의 003c#수학식 3003e#을 통해 도출되는 것을 포함하는 펠리클의 열적 내구성 평가 방법
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제9 항에 있어서, 상기 펠리클에 조사되는 광의 강도를 산출하는 단계에서, EUV(Extreme UltraViolet)의 강도 데이터, 및 EUV에 대한 상기 펠리클의 흡수도 데이터를 포함하는 데이터 베이스에, 상기 광에 대한 상기 펠리클의 흡수도 데이터를 제공하여 상기 펠리클에 조사되는 상기 광의 강도가 산출되는 것을 포함하는 펠리클의 열적 내구성 평가 방법
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