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베이스기재;상기 베이스기재상에 적어도 하나 이상 형성된 센싱전극;상기 센싱전극이 노출되도록 상기 베이스 기재에 형성된 접착층;상기 접착층상에 형성되고, 상기 센싱전극에 마주보는 적어도 하나 이상의 저항체가 형성된 저항기판; 및싱기 베이스기재상에 형성되되, 상기 센싱전극과 절연되도록 형성된 열선을 포함하는 적어도 하나 이상의 히터부를 포함하는 압력센서모듈
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청구항 1에 있어서,상기 센싱전극은 평면상 모든 방향에 대칭을 이루도록 제1 센싱전극과 제2 센싱전극이 상호 절연되도록 결합된 압력센서모듈
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청구항 2에 있어서,상기 히터부는상기 베이스기재상에 상기 센싱전극에 인접하여 형성되며, 전기적 연결을 위한 열선을 포함하고,상기 센싱전극은상기 제1 센싱전극에 전기적 연결된 제1 전극배선; 및상기 제2 센싱전극에 전기적 연결된 제2 전극배선을 포함하며,상기 열선은 상기 제1 전극배선 또는 상기 제2 전극배선과 절연되도록 상기 베이스기재상에 형성된 압력센서모듈
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청구항 3에 있어서,상기 열선은 상기 베이스기재 일면 또는 타면에서 상기 제1 센싱전극 및 상기 제2 센싱전극과 상기 제1 전극배선 및 상기 제2 전극배선과 절연되도록 형성되는 압력센서모듈
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청구항 2에 있어서,상기 저항체는 상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극이 상호 통전되도록 상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극을 전기적으로 연결시키도록 접촉하는 각각 분리된 복수개의 저항패턴을 포함하는 압력센서모듈
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베이스기재;상기 베이스기재상에 적어도 하나 이상 형성된 센싱전극;상기 센싱전극이 노출되도록 상기 베이스기재에 형성된 절연층;상기 절연층상에 형성되고, 상기 센싱전극에 마주보는 적어도 하나 이상의 저항체가 형성된 저항기판; 및상기 절연층상에 형성되는 열선을 포함하는 적어도 하나 이상의 히터부를 포함하는 압력센서모듈
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7
청구항 6에 있어서,상기 센싱전극은 평면상 모든 방향에 대칭을 이루도록 제1 센싱전극과 제2 센싱전극이 상호 절연되도록 결합된 압력센서모듈
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청구항 7에 있어서,상기 열선은 상기 베이스기재 일면 또는 타면에 형성되어, 상기 제1 센싱전극 및 상기 제2 센싱전극, 상기 제1 센싱전극과 전기적 연결되는 제1 전극배선 및 상기 제2 센싱전극과 전기적 연결되는 제2 전극배선과 절연되도록 형성되는 압력센서모듈
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청구항 7에 있어서,상기 저항체는 상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극이 상호 통전되도록 상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극을 전기적으로 연결시키도록 접촉하는 각각 분리된 복수개의 저항패턴을 포함하는 압력센서모듈
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베이스기재;상기 베이스기재상에 적어도 하나 이상 형성된 센싱전극;상기 센싱전극이 노출되도록 상기 베이스 기재에 형성된 접착층;상기 절연층상에 형성되고, 상기 센싱전극에 마주보는 적어도 하나 이상의 저항체가 형성된 저항기판; 및싱기 저항기판상에 형성되되, 상기 저항체와 절연되도록 형성된 열선을 포함하는 적어도 하나 이상의 히터부를 포함하는 압력센서모듈
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청구항 10에 있어서,상기 센싱전극은 평면상 모든 방향에 대칭을 이루도록 제1 센싱전극과 제2 센싱전극이 상호 절연되도록 결합된 압력센서모듈
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청구항 11에 있어서,상기 열선은 상기 베이스기재 일면 또는 타면에 형성되어, 상기 제1 센싱전극 및 상기 제2 센싱전극, 상기 제1 센싱전극과 전기적 연결되는 제1 전극배선 및 상기 제2 센싱전극과 전기적 연결되는 제2 전극배선과 절연되도록 형성되는 압력센서모듈
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청구항 11에 있어서,상기 저항체는 상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극이 상호 통전되도록 상기 제1 센싱전극과 상기 제2 센싱전극을 전기적으로 연결시키도록 접촉하는 각각 분리된 복수개의 저항패턴을 포함하는 압력센서모듈
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베이스기재상에 복수개의 센싱전극이 포함된 압력센싱부에 의해 외부 압력을 센싱하는 단계;상기 압력센싱부에 의한 센싱값으로 압력값산출부가 압력감지의 위치 및 압력의 크기를 각각 산출하는 단계 및상기 압력값산출부에 의해 산출된 압력감지의 위치와 히터부의 히터영역 중 대응되는 위치의 히터영역을 선택하고, 상기 선택된 히터영역상에 상기 압력값산출부에 의해 산출된 압력값의 분포와 대응되는 히팅온도를 인가하도록 히팅제어부가 상기 히터부를 제어하는 단계;를 포함하는 압력센서모듈의 제어방법
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청구항 14에 있어서,상기 히팅제어부가 상기 히터부를 제어하는 단계는, 상기 압력값산출부에서 산출된 상기 압력감지 위치와 가장 가까운 위치의 최소 2개의 히터영역을 설정하고,상기 압력값산출부에서 산출된 압력값의 상대적 차이에 대응되도록 상기 2개의 히터영역상의 히팅온도가 분포될 수 있도록 설정하는 단계를 포함하는 압력센서모듈의 제어방법
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