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일 면에 니들 홈들이 형성된 몰드를 준비하는 몰드 준비 단계;상기 몰드의 일 면에 조성물을 공급하는 조성물 공급 단계; 및상기 몰드의 상부에 위치한 노즐 유닛에서 공기를 분사하고, 상기 조성물을 상기 니들 홈에 채워 마이크로 구조체를 형성하는 마이크로 구조체 형성 단계; 상기 마이크로 구조체를 건조하는 마이크로 구조체 건조 단계; 및건조가 완료된 상기 마이크로 구조체를 상기 몰드로부터 분리하는 몰드 분리 단계를 포함하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로 구조체 형성 단계는 상기 노즐 유닛으로부터 상기 공기를 제1압력으로 분사하고,상기 마이크로 구조체 건조 단계는 상기 노즐 유닛으로부터 상기 공기를 상기 제1압력보다 낮은 제2압력으로 분사하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 노즐 유닛은,상기 몰드로부터 제1높이에 위치한 제1노즐; 및 상기 몰드로부터 상기 제1높이보다 낮은 제2높이에 위치하는 제2노즐을 포함하며,상기 마이크로 구조체 형성 단계는 상기 제1노즐로부터 상기 몰드의 중앙 영역을 향해 공기를 분사하고, 상기 제2노즐로부터 상기 몰드의 가장 자리 영역을 향해 공기를 분사하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 제2노즐은 복수 개가 상기 몰드의 가장 자리 영역을 따라 기 설정된 간격으로 배치되는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 제1노즐은 상기 몰드의 일 면에 수직하게 공기를 분사하고,상기 제2노즐은 상기 몰드의 일 면에 대해 기 설정된 각도로 기울어진 방향으로 공기를 분사하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 노즐 유닛은,상기 조성물이 흐르는 제1유로와, 상기 공기가 흐르는 제2유로, 그리고 상기 제1유로와 상기 제2유로가 만나는 토출 유로가 형성된 노즐; 및상기 제1유로와 상기 제2유로가 합류하는 지점에서 상기 노즐 내에 제공되며, 상기 제1유로와 상기 제2유로를 선택적으로 개폐하는 게이트 밸브를 포함하되,상기 조성물 공급 단계에서 상기 게이트 밸브는 상기 제1유로를 개방하고, 상기 제2유로를 닫고,상기 마이크로 구조체 형성 단계에서 상기 게이트 밸브는 상기 제1유로를 닫고, 상기 제2유로를 개방하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 노즐 유닛은,저면이 개방되고, 내부에 상기 몰드가 수용되는 공간이 형성된 노즐 챔버; 및상기 노즐 챔버와 결합하며, 상기 노즐 챔버 내부로 공기를 분사하는 공기 분사 유로가 형성된 노즐을 포함하되,상기 마이크로 구조체 형성 단계는 상기 노즐 챔버 내에 상기 몰드가 위치한 상태에서 상기 공기 분사 유로를 통해 공기를 분사하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 노즐 챔버의 내부 공간은 하부에서 상부로 갈수록 너비가 점차 감소하는 깔때기 형상을 갖는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 노즐에는 상기 조성물을 토출하는 조성물 토출 유로가 더 형성되고,상기 조성물 공급 단계는 상기 조성물 토출 유로를 통해 상기 조성물을 공급하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 노즐 유닛에는 상기 조성물을 토출하는 조성물 토출 유로와, 상기 공기를 토출하는 제1공기 분사 유로가 형성되며,상기 조성물 공급 단계는 상기 조성물 토출 유로를 통해 상기 조성물을 상기 몰드에 공급하고,상기 마이크로 구조체 형성 단계는 상기 제1공기 분사 유로를 통해 상기 공기를 분사하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 노즐 유닛에는 상기 제1공기 분사 유로가 형성된 영역의 둘레를 따라 링 형상으로 제2공기 분사 유로가 형성되며,상기 조성물 공급 단계는 상기 조성물 토출 유로를 통해 상기 조성물이 토출되는 동안 상기 제2공기 분사 유로를 통해 공기를 분사하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 제2공기 분사 유로에서 분사되는 공기는 상기 몰드의 가장자리영역을 따라 링 형상의 에어 커튼을 형성하고,상기 조성물 토출 유로는 상기 에어 커튼의 내부로 상기 조성물을 토출하는 마이크로 구조체의 제조 방법
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마이크로 구조체 제조용 노즐 유닛에 있어서,조성물을 토출하는 조성물 토출 유로가 형성되고, 상기 조성물 토출 유로가 형성된 영역의 주변을 따라 공기를 분사하는 제1공기 분사 유로가 형성된 노즐을 포함하는 마이크로 구조체 제조용 노즐 유닛
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제 13 항에 있어서,상기 노즐에는 상기 제1공기 분사 유로가 형성된 영역의 주변을 따라 공기를 분사하는 제2공기 분사 유로들이 형성된 마이크로 구조체 제조용 노즐 유닛
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제 13 항에 있어서,상기 노즐 바디와 결합하고, 저면이 개방되며 내부에 몰드가 위치하는 공간이 형성된 노즐 챔버를 더 포함하되,상기 노즐 챔버의 내부 공간은 하부에서 상부로 갈수록 너비가 점차 감소하는 깔때기 형상을 갖는 마이크로 구조체 제조용 노즐 유닛
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