요약 | 본 발명은 일실시예에 따른 4포인트 프로브를 구비한 표면저항 측정장치는 하나 이상의 탐침을 포함하는 4포인트 프로브(Four Point Probe); 실린더 형상이고 하단에 상기 4포인트 프로브가 장착되는 프로브 소켓; 상기 프로브 소켓의 상하이동을 제어하는 레버; 상기 프로브 소켓이 하단으로 이동하는 경우 상기 4포인트 프로브의 상기 하나 이상의 탐침과 상단이 접촉되고, 상기 상단에 표면저항 측정물질이 수용되는 베이스 플레이트를 포함한다. |
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Int. CL | G01R 27/02 (2006.01.01) G01R 1/04 (2006.01.01) G01R 1/067 (2006.01.01) G01R 1/073 (2006.01.01) |
CPC | G01R 27/02(2013.01) G01R 27/02(2013.01) G01R 27/02(2013.01) G01R 27/02(2013.01) G01R 27/02(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020140083096 (2014.07.03) |
출원인 | (주)다솔이엔지 |
등록번호/일자 | 10-1562278-0000 (2015.10.15) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | |
심판사항 | |
구분 | 국내출원/신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2014.07.03) |
심사청구항수 | 7 |