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패브리-패롯 필터 어레이층; 및 상기 패브리-패롯 필터 어레이층 상에 형성된 마이크로렌즈 어레이층; 을 포함하는, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,상기 패브리-패롯 필터 어레이층은,유전체 간섭층; 상기 유전체 간섭층의 일면에 형성된 제1 금속층; 및 반대면에 형성된 제2 금속층을 포함하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제2항에 있어서,상기 제1 금속층 및 상기 제2 금속층은, 동일하거나 또는 상이한 금속을 포함하고,상기 금속은, 은, 금 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 포함하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,상기 유전체 간섭층은, 일면이 단차 구조를 포함하고, 반대면이 평면이고,상기 단차 구조는, 점진적으로 높이가 낮아지거나 높아지는 계단형 단차 또는 랜덤한 높이로 배열된 단차 구조를 포함하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,상기 유전체 간섭층은, 투명 유전체 물질을 포함하고, 상기 투명 유전체 물질은, Si, Ti, Zr, Sn, Zn, Ce 및 La로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 포함하는 산화물을 포함하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제2항에 있어서,상기 제2 금속층은, 상기 유전체 간섭층의 단차 구조의 표면에 따라 컨포멀하게 형성된 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,상기 마이크로렌즈 어레이층은, 배열된 복수개의 렌즈를 포함하고, 상기 복수개의 렌즈는, 상기 유전체 간섭층의 각 단차에 상응하는 영역에서 1열 또는 2열 이상으로 배열되고, 상기 마이크로렌즈 어레이층은, 상기 유전체 간섭층의 각 단차에 따라 동일하거나 상이한 개별 이미지 정보를 제공하는 유닛을 형성하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,상기 제2 금속층을 덮는 투명 물질층;을 더 포함하고,상기 투명 물질층 상에 마이크로렌즈 어레이층이 형성된 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,상기 제2 금속층의 단차 구조의 표면에 따라 형성된 투명 물질층;을 더 포함하고,상기 투명 물질층 상에 마이크로렌즈 어레이층이 형성된 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,상기 투명 물질층은,투명 폴리머, Si, Ti, Nb, Zr, Sn, Zn, Ce 및 La로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 포함하는 산화물; 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 포함하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,상기 마이크로렌즈 어레이는, 500 μm 내지 2 mm 피치 간격으로 배열된 복수 개의 렌즈를 포함하고,상기 렌즈의 직경은, 2 mm 이하인 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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제1항에 있어서,이미지 센서를 더 포함하고,상기 마이크로렌즈 어레이층과 상기 이미지 센서의 이격 거리는, 5 mm 이하인 것인, 다중 형광 어레이 카메라
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투명 베이스 기판을 준비하는 단계;상기 베이스 기판의 일면에 패브리-패롯필터 어레이층을 형성하는 단계; 상기 패브리-패롯필터 어레이층 상에 투명 물질층을 형성하는 단계; 및상기 투명 물질층 상에 마이크로렌즈 어레이층을 형성하는 단계;를 포함하는, 다중 형광 어레이 카메라의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 패브리-패롯필터 어레이층을 형성하는 단계는,상기 베이스 기판의 일면에 제1 금속층을 형성하는 단계;상기 금속층 상에 유전체 간섭층을 형성하는 단계;상기 유전체 간섭층을 패터닝하는 단계;상기 패터닝된 유전체 간섭층 상에 제2 금속층을 형성하는 단계; 및상기 제2 금속층 상에 투명 물질층을 형성하는 단계;를 포함하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 마이크로렌즈 어레이층을 형성하는 단계는,상기 투명 물질층 상에 포토레지스트를 리프트 오프하여 패터닝된 광차단층을 형성하는 단계;상기 패터닝된 광차단층 상에 노출된 상기 투명 물질층 상에 패터닝된 투명 폴리머층을 형성하는 단계; 및 상기 투명 폴리머에 열을 가하여 리플로우(Thermal Reflow)하여 마이크로렌즈 어레이를 형성하는 단계; 를 포함하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 유전체 간섭층을 패터닝하는 단계는,포토리소그래피 및 반응성 이온 에칭 공정을 복수 회 진행하여 단차 구조로 패터닝하는 것인,다중 형광 어레이 카메라의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 패터닝된 투명 폴리머층을 형성하는 단계는,투명 폴리머층을 코팅하는 단계; 및 상기 투명 폴리머층을 포토리소그래피 방식으로 입체적 형태로 패터닝하는 단계; 를 포함하는 것인, 다중 형광 어레이 카메라의 제조방법
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