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트렌치를 갖는 베이스 기판; 및상기 트렌치 내에 배치되며 정렬되고 서로 연결된 기공을 갖는 3차원 나노쉘 복합체를 포함하며,상기 3차원 나노쉘 복합체는, 3차원으로 연장된 박막에 의해 정의되는 3차원 나노쉘 지지체 및 상기 3차원 나노쉘 지지체의 표면을 따라 형성된 고분자층을 포함하는, 마이크로 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 3차원 나노쉘 복합체의 두께는 20㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 3차원 나노쉘 지지체의 쉘 두께는 10nm내지 50nm이고, 상기 고분자층의 두께는 50nm 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 3차원 나노쉘 지지체는 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 고분자층은 다공성 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 베이스 기판 아래에 배치된 가열 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기
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베이스 기판에 형성된 트렌치 내부에 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계;상기 3차원 다공성 주형의 표면을 따라 3차원 나노쉘 지지체를 형성하는 단계; 상기 3차원 다공성 주형을 제거하는 단계;상기 3차원 다공성 주형을 제거한 후, 커버 기판을 상기 베이스 기판과 결합하여 상기 트렌치를 커버하는 단계; 및상기 커버 기판과 상기 베이스 기판을 결합한 후, 상기 트렌치 내부로 고분자 용액을 주입하여 상기 3차원 나노쉘 지지체을 따라 3차원 구조를 갖는 고분자층을 형성하는 단계를 포함하는 마이크로 사전 농축기의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계는, 상기 트렌치 내부에 적어도 일부가 배치되는 접착막을 형성하는 단계;상기 트렌치 내부에 상기 접착막과 접촉하는 감광막을 형성하는 단계;위상 마스크를 통해 상기 감광막에 3차원 분포 광을 조사하는 단계; 및상기 감광막을 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 접착막은 상기 트렌치의 바닥면 전체를 커버하며, 상기 감광막은 상기 접착막 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 접착막은 상기 트렌치의 측면을 커버하며, 상기 감광막의 하면은 상기 트렌치의 바닥면과 접촉하고, 상기 감광막의 측면은 상기 접착막과 접촉하는 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 3차원 나노쉘 지지체는 증착을 통해 형성되며, 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 사전 농축기의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 고분자 용액은 0
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제7항에 있어서, 상기 접착막의 두께는 0
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