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극저온 냉동에 이용되는 혼합냉매로써,R-218, R-14 및 아르곤(Ar)의 혼합물인 주혼합물과 질소(N2)가 혼합되어 형성되며,상기 주혼합물에서, 상기 R-218의 몰분율은 0
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청구항 1에 있어서,상기 주혼합물에서, 상기 아르곤의 몰분율은 0
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청구항 1에 있어서,상기 혼합냉매에서, 상기 주혼합물의 몰분율은 0
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청구항 1의 극저온용 비가연성 혼합냉매를 이용하는 극저온 냉동 장치에 있어서,상기 혼합냉매가 순환되는 냉각 사이클을 형성하는 주압축기, 주후냉각기, 주팽창밸브, 주증발기, 및 상기 주압축기로부터 상기 주팽창밸브로 유동하는 혼합냉매와 상기 주증발기로부터 상기 주압축기로 유동하는 혼합냉매 간 열교환시키는 주열교환기를 구비하는 주냉각모듈;예냉용냉매가 순환되는 냉각 사이클을 형성하는 예냉압축기, 예냉응축기, 예냉팽창밸브 및 예냉증발기를 구비하는 예냉모듈; 및내부에 상기 예냉증발기가 위치하고, 상기 주후냉각기로부터 상기 주열교환기로 유동하는 혼합냉매를 통과시켜, 상기 예냉증발기를 통과하는 예냉용냉매와 혼합냉매 간 열교환시키는 예냉용열교환기를 포함하는 극저온 냉동 장치
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청구항 4에 있어서,상기 예냉용열교환기로 유입되는 혼합냉매의 일부에 대한 건도를 측정함으로써, 상기 주압축기로 유입되는 혼합냉매의 조성 비율을 조절하는 것을 특징으로 하는 극저온 냉동 장치
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청구항 4에 있어서,상기 예냉용열교환기로 유입되는 혼합냉매의 건도는 0
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청구항 4에 있어서,상기 예냉용열교환기에서, 혼합냉매는 이슬점 온도로 예비 냉각되는 것을 특징으로 하는 극저온 냉동 장치
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청구항 4에 있어서,상기 주후냉각기로부터 상기 예냉용열교환기로 유동하는 혼합냉매의 일부를 전달 받아, 혼합냉매의 건도를 측정하는 건도측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 냉동 장치
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청구항 4에 있어서,내부에 상기 주증발기가 위치하고, 냉각대상을 통과하는 유체인 대상냉매를 통과시켜, 상기 주증발기를 통과하는 혼합냉매와 대상냉매 간 열교환시키는 대상열교환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 냉동 장치
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청구항 4에 있어서,내부에 상기 주후냉각기가 위치하고, 외부의 냉각수를 통과시켜, 상기 주후냉각기를 통과하는 혼합냉매와 냉각수 간 열교환시키는 주후냉각열교환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 냉동 장치
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11
청구항 4에 있어서,내부에 상기 예냉응축기가 위치하고, 외부의 냉각수를 통과시켜, 상기 예냉응축기를 통과하는 예냉용냉매와 냉각수 간 열교환시키는 예냉응축열교환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 냉동 장치
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청구항 4 내지 청구항 11 중 선택되는 어느 하나의 항에 의한 극저온 냉동 장치를 이용한 극저온 냉동 시스템
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